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    • 3. 发明专利
    • 安裝次級電池之晶片的製造方法
    • 安装次级电池之芯片的制造方法
    • TW201721805A
    • 2017-06-16
    • TW105120308
    • 2016-06-28
    • 日本麥克隆尼股份有限公司KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS
    • 津國和之TSUNOKUNI, KAZUYUKI井上龍雄INOUE, TATSUO齋藤友和SAITOH, TOMOKAZU殿川孝司TONOKAWA, TAKASHI小笠原樹里OGASAWARA, JURI工藤拓夫KUDOH, TAKUO
    • H01L21/8234H01L27/04
    • H01L21/822H01L21/8234H01L27/04H01L27/06
    • 〔主題〕 提供一種用於在複數個晶片上同時及均勻地製造氧化物半導體次級電池的方法。 〔解決方案〕 提供一種用於製造氧化物半導體次級電池安裝於其上之晶片的方法,該氧化物半導體次級電池係藉由層疊第一電極(52)、充電功能層(54、56、58)、及層疊在電路上的第二電極(60)而形成。該方法包括層疊處理,以將該等氧化物半導體次級電池積集地層疊及形成在對應於形成在晶圓(20)上的複數個晶片(22)的區域,而非將該等氧化物半導體次級電池分別形成在對應於該等個別晶片(22)的區域;及分割處理,藉由在該等積集形成的氧化物半導體次級電池上實施圖案蝕刻以消除對應於該等個別晶片(22)的區域以外之未對應於該等個別晶片的區域而實施對應於該等個別晶片(22)之獨立氧化物半導體次級電池(50-1、50-2)的分割。
    • 〔主题〕 提供一种用于在复数个芯片上同时及均匀地制造氧化物半导体次级电池的方法。 〔解决方案〕 提供一种用于制造氧化物半导体次级电池安装于其上之芯片的方法,该氧化物半导体次级电池系借由层叠第一电极(52)、充电功能层(54、56、58)、及层叠在电路上的第二电极(60)而形成。该方法包括层叠处理,以将该等氧化物半导体次级电池积集地层叠及形成在对应于形成在晶圆(20)上的复数个芯片(22)的区域,而非将该等氧化物半导体次级电池分别形成在对应于该等个别芯片(22)的区域;及分割处理,借由在该等积集形成的氧化物半导体次级电池上实施图案蚀刻以消除对应于该等个别芯片(22)的区域以外之未对应于该等个别芯片的区域而实施对应于该等个别芯片(22)之独立氧化物半导体次级电池(50-1、50-2)的分割。