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1. 发明专利

TW201608660A 包含光纖加熱的基板溫度控制裝置、基板溫度控制系統、電子裝置處理系統及其方法审中-公开
简体标题：包含光纤加热的基板温度控制设备、基板温度控制系统、电子设备处理系统及其方法
公开(公告)号：TW201608660A
公开(公告)日：2016-03-01
申请号：TW104117206
申请日：2015-05-28
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：布薛馬修 , BUSCHE, MATTHEW , 包伊德二世溫德爾 , BOYD JR., WENDELL , 帕克維傑D , PARKHE, VIJAY D. , 萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68714 , H01L21/67103 , H01L21/67109 , H01L21/67115 , H01L21/67248
摘要：本文說明了包括光纖溫度控制之基板溫度控制裝置。基板溫度控制裝置包括一基部、在該基部近處之一熱接觸元件、及側向延伸於該基部與該熱接觸元件之間且用以提供以光為基礎之加熱的複數個光纖。本文也以其他數種構想說明了基板溫度控制系統與電子裝置處理系統、及包括光纖溫度控制的方法。
简体摘要：本文说明了包括光纤温度控制之基板温度控制设备。基板温度控制设备包括一基部、在该基部近处之一热接触组件、及侧向延伸于该基部与该热接触组件之间且用以提供以光为基础之加热的复数个光纤。本文也以其他数种构想说明了基板温度控制系统与电子设备处理系统、及包括光纤温度控制的方法。

2. 发明专利

TW201515145A 具有溫度分佈控制的基板支架审中-公开
简体标题：具有温度分布控制的基板支架
公开(公告)号：TW201515145A
公开(公告)日：2015-04-16
申请号：TW103131407
申请日：2014-09-11
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：梅利尼爾 , MERRY, NIR , 沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L23/34 , H01L21/67103 , H01L21/67248 , H01L21/683 , H01L21/68792 , H01L2924/0002 , H05B3/283 , Y10T29/49083 , H01L2924/00
摘要：係於本文中提供具有溫度分佈控制之基板支架的方法及裝置。在某些實施例中，基板支架包括：一板部，具有一基板接收表面及相對的一底表面；及一軸，具有一第一端及第二端，該第一端包括一軸加熱器，其中該第一端耦合至該底表面。亦提供了製造具有溫度分佈控制之基板支架的方法。
简体摘要：系于本文中提供具有温度分布控制之基板支架的方法及设备。在某些实施例中，基板支架包括：一板部，具有一基板接收表面及相对的一底表面；及一轴，具有一第一端及第二端，该第一端包括一轴加热器，其中该第一端耦合至该底表面。亦提供了制造具有温度分布控制之基板支架的方法。

3. 发明专利

TW201434106A 具有可切換多區域加熱器的基板支撐件审中-公开
简体标题：具有可切换多区域加热器的基板支撑件
公开(公告)号：TW201434106A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW103101178
申请日：2014-01-13
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 古卡霖梅尤G , KULKARNI, MAYUR G. , 明柯維奇艾力克斯 , MINKOVICH, ALEX , 萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R.
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/324 , H05B3/20
CPC分类号： H05B3/26 , H01L21/67103 , H05B1/0233
摘要：本文提供具有加熱器的基板支撐件之實施例。在某些實施例中，基板支撐件可包含第一構件、第二構件、第三構件及第四構件。第一構件用以當基板存在於第一構件之第一平坦表面上方時將熱分佈至基板；第二構件設置於第一構件下，第二構件包含複數個電阻性加熱元件，其中該複數個電阻性加熱元件提供局部溫度補償予第一構件，用以當基板存在時加熱基板；第三構件設置於第二構件下，第三構件包含一或更多個基礎加熱區域，用以提供基礎溫度輪廓予第一構件；第四構件設置於第三構件下，第四構件包含第一組電導體，第一組電導體耦合至該等電阻性加熱元件中之各者。
简体摘要：本文提供具有加热器的基板支撑件之实施例。在某些实施例中，基板支撑件可包含第一构件、第二构件、第三构件及第四构件。第一构件用以当基板存在于第一构件之第一平坦表面上方时将热分布至基板；第二构件设置于第一构件下，第二构件包含复数个电阻性加热组件，其中该复数个电阻性加热组件提供局部温度补偿予第一构件，用以当基板存在时加热基板；第三构件设置于第二构件下，第三构件包含一或更多个基础加热区域，用以提供基础温度轮廓予第一构件；第四构件设置于第三构件下，第四构件包含第一组电导体，第一组电导体耦合至该等电阻性加热组件中之各者。

4. 发明专利

TW201347080A 具有饋通結構的基材支撐件审中-公开
简体标题：具有馈通结构的基材支撑件
公开(公告)号：TW201347080A
公开(公告)日：2013-11-16
申请号：TW102110082
申请日：2013-03-21
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 古卡霖梅尤 , KULKARNI, MAYUR
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H05B3/26 , H01L21/67103 , H01L21/68792
摘要：在此提供用以提供電流的設備與利用此設備的基材支撐件。在一些實施例中，一種饋通結構可包括：一主體，該主體具有定義一或更多個開口的一壁，該一或更多個開口設置成從該主體之一第一端穿過該主體至該主體之一第二端；一或更多個第一導體與一或更多個第二導體，各個導體設置在該壁中而從該第一端至該第二端；及複數個導電網篩，該些網篩設置在該壁中，至少一導電網篩圍繞該壁的一第一區域，該壁的該第一區域包括該一或更多個第一導體，及至少一導電網篩圍繞該壁的一第二區域，該壁的該第二區域包括該一或更多個第二導體，其中該複數個導電網篩將該第一和第二區域與設置在該第一和第二區域外面的個別的第一和第二外部電磁場實質上電絕緣。
简体摘要：在此提供用以提供电流的设备与利用此设备的基材支撑件。在一些实施例中，一种馈通结构可包括：一主体，该主体具有定义一或更多个开口的一壁，该一或更多个开口设置成从该主体之一第一端穿过该主体至该主体之一第二端；一或更多个第一导体与一或更多个第二导体，各个导体设置在该壁中而从该第一端至该第二端；及复数个导电网筛，该些网筛设置在该壁中，至少一导电网筛围绕该壁的一第一区域，该壁的该第一区域包括该一或更多个第一导体，及至少一导电网筛围绕该壁的一第二区域，该壁的该第二区域包括该一或更多个第二导体，其中该复数个导电网筛将该第一和第二区域与设置在该第一和第二区域外面的个别的第一和第二外部电磁场实质上电绝缘。

5. 发明专利

TWI639862B 用於使用嵌入光纖光學器件及環氧樹脂光學漫射器的基板溫度控制的設備、系統與方法有权
简体标题：用于使用嵌入光纤光学器件及环氧树脂光学漫射器的基板温度控制的设备、系统与方法
公开(公告)号：TWI639862B
公开(公告)日：2018-11-01
申请号：TW104120017
申请日：2015-06-22
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：布薛馬修 , BUSCHE, MATTHEW , 包伊德二世溫德爾 , BOYD JR., WENDELL , 伊根陶德J , EGAN, TODD J. , 柯克格雷戈里L , KIRK, GREGORY L. , 帕克維傑D , PARKHE, VIJAY D. , 萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON
IPC分类号： G02B6/13 , G02B6/26

6. 发明专利

TWI624901B 具有饋通結構的基材支撐件有权
简体标题：具有馈通结构的基材支撑件
公开(公告)号：TWI624901B
公开(公告)日：2018-05-21
申请号：TW102110082
申请日：2013-03-21
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 古卡霖梅尤 , KULKARNI, MAYUR
IPC分类号： H01L21/683

7. 发明专利

TWI610396B 具有加熱器與快速溫度變化的基板支撐件有权
简体标题：具有加热器与快速温度变化的基板支撑件
公开(公告)号：TWI610396B
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW101102875
申请日：2012-01-30
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 古卡霖梅尤G , KULKARNI, MAYUR G. , 明柯維奇艾力克斯 , MINKOVICH, ALEX
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6875 , H01L21/67109

8. 发明专利

TWI598988B 具有可切換多區域加熱器的基板支撐件有权
简体标题：具有可切换多区域加热器的基板支撑件
公开(公告)号：TWI598988B
公开(公告)日：2017-09-11
申请号：TW103101178
申请日：2014-01-13
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 古卡霖梅尤G , KULKARNI, MAYUR G. , 明柯維奇艾力克斯 , MINKOVICH, ALEX , 萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R.
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/324 , H05B3/20
CPC分类号： H05B3/26 , H01L21/67103 , H05B1/0233

9. 发明专利

TWI617369B 用於基板邊緣清理的裝置有权
简体标题：用于基板边缘清理的设备
公开(公告)号：TWI617369B
公开(公告)日：2018-03-11
申请号：TW103106534
申请日：2014-02-26
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：荷登詹姆士馬修 , HOLDEN, JAMES MATTHEW , 徐宋文 , SUH, SONG-MOON , 伊根陶德 , EGAN, TODD , 葛許卡亞吉特 , GHOSH, KALYANJIT , 沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 萊斯麥可R , RICE, MICHAEL R. , 吉爾金李察 , GILJUM, RICHARD
IPC分类号： B08B5/02 , B08B11/02
CPC分类号： H01L21/67028 , B01D39/12 , B08B5/00 , B08B7/00 , H01L21/02076 , H01L21/02087 , H01L21/0209 , H01L21/67051

10. 发明专利

TWI560802B 具有加熱器之基板支撐座有权
简体标题：具有加热器之基板支撑座
公开(公告)号：TWI560802B
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW101127756
申请日：2012-08-01
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：沃福斯基里昂 , VOLFOVSKI, LEON , 古卡霖梅尤G , KULKARNI, MAYUR G.
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67109 , H01L21/6875 , H05B3/145 , H05B3/265 , H05B2203/005 , H05B2203/007 , H05B2203/037

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