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2. 发明专利

TW201141317A 用於調諧匹配網路之方法與裝置 METHODS AND APPARATUS FOR TUNING MATCHING NETWORKS 审中-公开
简体标题：用于调谐匹配网络之方法与设备 METHODS AND APPARATUS FOR TUNING MATCHING NETWORKS
公开(公告)号：TW201141317A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：TW099134936
申请日：2010-10-13
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：張春雷 , 修吉瑟吉歐F , 席孟尼安德烈 , 拉馬斯瓦米卡提克 , 克魯斯詹姆士P , 廖布萊恩
IPC分类号： H05H , H03H
CPC分类号： H03H7/40 , H01J37/32183 , H01J37/32935 , H05H1/46
摘要：本發明在此提供用以調諧匹配網路的方法和裝置。調諧一匹配網路的方法包含以下步驟：提供一耦合一RF電源至一負載的匹配網路，該匹配網路具有設置於一第一設定點的一調諧元件；藉由在該第一設定點之上的一第一步驟增加該調諧元件的值；感測一反射RF功率的一第一調整值；藉由在該第一設定點之下的該第一步驟減少該調諧元件的值；感測該反射RF功率的一第二調整值；比較該反射RF功率的該第一和該第二調整值；及移動該調諧元件至一第二設定點，該第二設定點對應於具有該反射RF功率的一最小調整值之一位置。可重複此方法直到該反射RF功率落入一可接受的反射RF功率範圍。
简体摘要：本发明在此提供用以调谐匹配网络的方法和设备。调谐一匹配网络的方法包含以下步骤：提供一耦合一RF电源至一负载的匹配网络，该匹配网络具有设置于一第一设置点的一调谐组件；借由在该第一设置点之上的一第一步骤增加该调谐组件的值；传感一反射RF功率的一第一调整值；借由在该第一设置点之下的该第一步骤减少该调谐组件的值；传感该反射RF功率的一第二调整值；比较该反射RF功率的该第一和该第二调整值；及移动该调谐组件至一第二设置点，该第二设置点对应于具有该反射RF功率的一最小调整值之一位置。可重复此方法直到该反射RF功率落入一可接受的反射RF功率范围。

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