基本信息:
- 专利标题: 用於調諧匹配網路之方法與裝置
- 专利标题(英):Methods and apparatus for tuning matching networks
- 专利标题(中):用于调谐匹配网络之方法与设备
- 申请号:TW099134936 申请日:2010-10-13
- 公开(公告)号:TWI538569B 公开(公告)日:2016-06-11
- 发明人: 張春雷 , ZHANG, CHUNLEI , 修吉瑟吉歐F , SHOJI, SERGIO F. , 席孟尼安德烈 , SEMENIN, ANDREY , 拉馬斯瓦米卡提克 , RAMASWAMY, KARTIK , 克魯斯詹姆士P , CRUSE, JAMES P. , 廖布萊恩 , LIAO, BRYAN
- 申请人: 應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
- 专利权人: 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 当前专利权人: 應用材料股份有限公司,APPLIED MATERIALS, INC.
- 代理人: 蔡坤財; 李世章
- 优先权: 61/253,727 20091021;12/899,048 20101006
- 主分类号: H05H1/46
- IPC分类号: H05H1/46 ; H03H7/40