专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

TW201527712A 光學位置測量裝置审中-公开
简体标题：光学位置测量设备
公开(公告)号：TW201527712A
公开(公告)日：2015-07-16
申请号：TW103130408
申请日：2014-09-03
申请人：強那斯海登翰博士有限公司 , DR. JOHANNES HEIDENHAIN GMBH
发明人：何塞菲沃夫崗 , HOLZAPFEL, WOLFGANG , 德瑞斯契裘格 , DRESCHER, JOERG , 凱歐納羅伯特 , KELLNER, ROBERT , 曼斯納馬克思 , MEISSNER, MARKUS
IPC分类号： G01B11/14 , G01D5/26 , G01J1/04
CPC分类号： G01B11/14 , G01B9/02049 , G01B9/02083 , G01D5/38
摘要：本發明關於用來偵測可彼此相對移動的二物體之位置的位置測量裝置，其具有接合於二物體中的一者的測量標準，以及用於掃描測量標準的掃描系統，該掃描系統係接合於二物體中的另一者。掃描系統允許同時決定物體之沿著第一側向位移方向和沿著垂直位移方向的位置。為此，在部分的掃描系統上，形成二條掃描束路徑，其中能夠在各情形下從干涉部分射線束而在輸出端產生一組相位移訊號。附帶而言，經由掃描系統，形成至少第三條掃描束路徑，藉此有可能決定物體之沿著第二側向位移方向的位置。來自光源的束能夠經由用於所有三條掃描束路徑之共同的第一光導和耦入光學器材而供應給掃描系統。三條掃描束路徑中所產生的干涉部分射線束能夠經由共同的耦出光學器材而耦合到供應這些射線束給偵測器系統的第二光導中。
简体摘要：本发明关于用来侦测可彼此相对移动的二物体之位置的位置测量设备，其具有接合于二物体中的一者的测量标准，以及用于扫描测量标准的扫描系统，该扫描系统系接合于二物体中的另一者。扫描系统允许同时决定物体之沿着第一侧向位移方向和沿着垂直位移方向的位置。为此，在部分的扫描系统上，形成二条扫描束路径，其中能够在各情形下从干涉部分射线束而在输出端产生一组相位移信号。附带而言，经由扫描系统，形成至少第三条扫描束路径，借此有可能决定物体之沿着第二侧向位移方向的位置。来自光源的束能够经由用于所有三条扫描束路径之共同的第一光导和耦入光学器材而供应给扫描系统。三条扫描束路径中所产生的干涉部分射线束能够经由共同的耦出光学器材而耦合到供应这些射线束给侦测器系统的第二光导中。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式