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1. 发明专利

TWI646620B 基板把持手及具備其之基板搬送裝置有权
简体标题：基板把持手及具备其之基板搬送设备
公开(公告)号：TWI646620B
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：TW106136353
申请日：2017-10-23
申请人：日商川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI , 吉田哲也 , YOSHIDA, TETSUYA , 木下真也 , KINOSHITA, SHINYA
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683 , B65G49/07 , B25J15/00

2. 发明专利

TWI566323B 晶圓搬送方法及裝置有权
简体标题：晶圆搬送方法及设备
公开(公告)号：TWI566323B
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：TW104132071
申请日：2015-09-30
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI , 金丸亮介 , KANAMARU, RYOSUKE
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/687
CPC分类号： B25J9/16 , B25J15/08 , H01L21/677

3. 发明专利

TWI561351B 末端執行器及基板搬送機器人有权
简体标题：末端运行器及基板搬送机器人
公开(公告)号：TWI561351B
公开(公告)日：2016-12-11
申请号：TW103145329
申请日：2014-12-24
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI , 宮川大輝 , MIYAGAWA, DAIKI
IPC分类号： B25J15/08 , H01L21/687 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67781 , H01L21/67766 , H01L21/68707

4. 发明专利

TWI538789B 末端效應器裝置及具備該末端效應器裝置之基板搬送用機器人有权
简体标题：末端效应器设备及具备该末端效应器设备之基板搬送用机器人
公开(公告)号：TWI538789B
公开(公告)日：2016-06-21
申请号：TW101128742
申请日：2012-08-09
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：橋本康彥 , HASHIMOTO, YASUHIKO , 小野茂樹 , ONO, SHIGEKI , 福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI
IPC分类号： B25J15/00 , B25J9/08
CPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/67781 , H01L21/68707

5. 发明专利

TW201532763A 末端執行器及基板搬送機器人审中-公开
简体标题：末端运行器及基板搬送机器人
公开(公告)号：TW201532763A
公开(公告)日：2015-09-01
申请号：TW103145329
申请日：2014-12-24
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI , 宮川大輝 , MIYAGAWA, DAIKI
IPC分类号： B25J15/08 , H01L21/687 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67781 , H01L21/67766 , H01L21/68707
摘要：本發明之末端執行器(2)包括：複數個托板本體(5)；及基板保持機構(6)，其設置於複數個托板本體(5)各自之托板基端側。基板保持機構(6)包含：基板載置部，其載置基板之背面緣部；及基板抵接部，其自基板載置部之托板基端側朝上方延伸，並供上述基板之側端部抵接。以不使基板進入至下側之托板本體(5)之基板抵接部之上端與上側之托板本體5之背面之間的方式設定基板抵接部之高度。於具備可變更上下方向間距之複數個托板之末端執行器中，可順暢地保持高密度搭載之基板。
简体摘要：本发明之末端运行器(2)包括：复数个托板本体(5)；及基板保持机构(6)，其设置于复数个托板本体(5)各自之托板基端侧。基板保持机构(6)包含：基板载置部，其载置基板之背面缘部；及基板抵接部，其自基板载置部之托板基端侧朝上方延伸，并供上述基板之侧端部抵接。以不使基板进入至下侧之托板本体(5)之基板抵接部之上端与上侧之托板本体5之背面之间的方式设置基板抵接部之高度。于具备可变更上下方向间距之复数个托板之末端运行器中，可顺畅地保持高密度搭载之基板。

6. 发明专利

TWI681493B 基板搬送裝置有权
简体标题：基板搬送设备
公开(公告)号：TWI681493B
公开(公告)日：2020-01-01
申请号：TW107129066
申请日：2018-08-21
申请人：日商川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI
IPC分类号： H01L21/677 , B25J15/08

7. 发明专利

TW201742723A 基板把持手及基板搬送裝置审中-公开
简体标题：基板把持手及基板搬送设备
公开(公告)号：TW201742723A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW106106144
申请日：2017-02-23
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI
IPC分类号： B25J15/08 , B65G49/07 , H01L21/677
CPC分类号： B25J15/08 , B65G49/07 , H01L21/677
摘要：基板把持手，具備：基座板，規定有從基端側往前端側延伸之中心線、基板之中心位於該中心線上之把持位置；設置於前述基座板之前述前端側之至少一個固定爪，可與位於前述把持位置之前述基板之邊緣卡合；可動爪，具有可對位於前述把持位置之前述基板之邊緣作用之作用部，且於比前述把持位置更靠近前述基端側處於前述中心線上往返移動；推動器，具有可對比垂直姿勢之前述基板之中心更下方之邊緣作用之作用部，且於比前述把持位置更靠近前述基端側處與前述中心線平行地往返移動；致動器，使前述可動爪及前述推動器一體地往返移動。以藉由朝向前述前端側進行往動之前述推動器對垂直姿勢之前述基板作用而前述基板抬高至前述把持位置後，藉由進行往動之前述可動爪對前述基板作用而藉由前述可動爪及前述固定爪之協動把持前述基板之方式，前述推動器之作用部位於比前述可動爪之作用部更靠近前述前端側處。
简体摘要：基板把持手，具备：基座板，规定有从基端侧往前端侧延伸之中心线、基板之中心位于该中心在线之把持位置；设置于前述基座板之前述前端侧之至少一个固定爪，可与位于前述把持位置之前述基板之边缘卡合；可动爪，具有可对位于前述把持位置之前述基板之边缘作用之作用部，且于比前述把持位置更靠近前述基端侧处于前述中心在线往返移动；推动器，具有可对比垂直姿势之前述基板之中心更下方之边缘作用之作用部，且于比前述把持位置更靠近前述基端侧处与前述中心线平行地往返移动；致动器，使前述可动爪及前述推动器一体地往返移动。以借由朝向前述前端侧进行往动之前述推动器对垂直姿势之前述基板作用而前述基板抬高至前述把持位置后，借由进行往动之前述可动爪对前述基板作用而借由前述可动爪及前述固定爪之协动把持前述基板之方式，前述推动器之作用部位于比前述可动爪之作用部更靠近前述前端侧处。

8. 发明专利

TWI582891B 末端執行器及基板搬送機器人有权
简体标题：末端运行器及基板搬送机器人
公开(公告)号：TWI582891B
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：TW103135086
申请日：2014-10-08
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：橋本康彥 , HASHIMOTO, YASUHIKO , 福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI , 金丸亮介 , KANAMARU, RYOSUKE , 木下真也 , KINOSHITA, SHINYA , 宮川大輝 , MIYAGAWA, DAIKI
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/67766 , H01L21/67207 , H01L21/67265 , H01L21/67781 , H01L21/68707

9. 发明专利

TWI576950B 基板對準裝置及基板對準裝置之控制方法有权
简体标题：基板对准设备及基板对准设备之控制方法
公开(公告)号：TWI576950B
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW103143801
申请日：2014-12-16
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI
IPC分类号： H01L21/68
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/68 , H01L21/68707 , H01L21/68742 , H01L21/68764 , H01L21/68792 , H01L23/544 , H01L2223/54426 , H01L2223/54486

10. 发明专利

TWI543854B 機械臂有权
简体标题：机械臂
公开(公告)号：TWI543854B
公开(公告)日：2016-08-01
申请号：TW103130739
申请日：2014-09-05
申请人：川崎重工業股份有限公司 , KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
发明人：稻田隆浩 , INADA, TAKAHIRO , 後藤博彦 , GOTO, HIROHIKO , 斎藤雅行 , SAITO, MASAYUKI , 芝田武士 , SHIBATA, TAKESHI , 福島崇行 , FUKUSHIMA, TAKAYUKI
IPC分类号： B25J19/00 , B65G49/07
CPC分类号： H01L21/68707 , B25J9/0021 , B25J19/0079 , F16C29/02 , F16C29/088 , H01L21/67766

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