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1. 发明专利

JP2015031795A パターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及び、レジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイス有权
标题翻译：图案形成方法，抗紫外线敏感性或辐射敏感性树脂组合物，电阻膜，使用其制造电子器件的方法和电子器件
公开(公告)号：JP2015031795A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：JP2013160615
申请日：2013-08-01
申请人：富士フイルム株式会社 , Fujifilm Corp
发明人： TAKIZAWA HIROO , FUJIMORI TORU , FUTAHASHI WATARU , HIRANO SHUJI , YOKOGAWA NATSUMI
IPC分类号： G03F7/004 , C08F212/14 , C08F220/30 , C08F220/58 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/32 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/325 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/038 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/20 , G03F7/2004 , G03F7/2065
摘要：【課題】本発明は、超微細領域(例えば線幅50nm以下の領域)において、高感度、高解像性(高解像力など)、高いラフネス性能、膜べり低減性能、高い露光ラチチュード、及び、高いドライエッチング耐性を極めて高次元で同時に満足するパターン形成方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、及び、レジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイスを提供する。【解決手段】(1)感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、(2)前記膜を活性光線又は放射線で露光することと、(3)有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することと、を含んだパターン形成方法、これに供せられる感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物及びレジスト膜、並びに、これらを用いた電子デバイスの製造方法、及び、電子デバイスであって、前記感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物が、芳香環を有する特定構造の繰り返し単位と、酸分解性基を有する特定構造の繰り返し単位とを有する樹脂、及び、(C)架橋剤を含有する。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：提供一种图案形成方法，光化学敏感或辐射敏感性树脂组合物和抗蚀剂膜，其同时满足极高的灵敏度，高分辨率（分辨率或分辨率）类似物），高粗糙度性能，降低膜的降低性能，高曝光宽容度和超细区域（例如，线宽度为50nm以下的区域）的高干蚀刻耐久性，并且提供一种方法用于制造使用上述方法和组合物的电子设备和电子设备。解决方案：图案形成方法包括：（1）通过使用光化射线敏感或辐射敏感树脂组合物形成膜; （2）将膜暴露于光化射线或辐射; 和（3）通过使用含有有机溶剂的显影剂显影曝光的薄膜。光化射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物和抗蚀剂膜用于图案形成方法。电子装置的制造方法通过使用上述图案形成方法等进行; 并且由此制造电子设备。光化射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物包括：具有具有芳环的特定结构的重复单元的树脂和具有酸分解性基团的特定结构的重复单元; 和（C）交联剂。

2. 发明专利

JP2013092798A Black color hardening composition, light shielding color filter for solid imaging element, antireflection film for solid imaging element, manufacturing method of light shielding color filter for solid imaging element, and solid imaging element 有权
标题翻译：黑色颜料硬化组合物，固体成像元件的光泽颜色过滤器，固体成像元件的抗反射膜，固体成像元件的光泽颜色过滤器和固体成像元件的制造方法
公开(公告)号：JP2013092798A
公开(公告)日：2013-05-16
申请号：JP2013004594
申请日：2013-01-15
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： KANEKO YUJI , MARUYAMA YOICHI , FUJIMORI TORU , ENAGA HIROYUKI , SHIMADA KAZUTO , TSUCHIMURA TOMOTAKA
IPC分类号： G03F7/033 , C08K3/08 , C08L101/00 , G02B5/20 , G03F7/004 , G03F7/031 , H01L27/14
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a black color hardening composition achieving satisfactory close adhesiveness onto a substrate, high sensitivity, and forming a fine pattern, to provide a light shielding color filter achieving high light shielding performance in an infrared region and its manufacturing method by use of the black color hardening composition, and to provide a solid imaging element preventing the occurrence of noise and improving quality of picture image.SOLUTION: This black color hardening composition contains (A) titanium black, (B) alkali soluble resin having weight-average molecular weight in a scope of 20,000 to 31,000 and an acid value in a scope of 80 to 100 mgKOH/g, (C) solvent, (D) photopolymerization initiator, and (E) compound containing ethylene unsaturated double bond.
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种在基板上获得令人满意的紧密粘合性，高灵敏度和形成精细图案的黑色硬化组合物，以提供在红外区域中实现高的遮光性能的遮光滤色器及其通过使用黑色硬化组合物制造方法，并且提供一种能够防止噪声的产生和提高图像质量的固体成像元件。解决方案：该黑色硬化组合物含有（A）钛黑，（B）重均分子量在20,000〜31,000范围内，酸值在80〜100mgKOH / g范围内的碱溶性树脂，（C）溶剂，（D）光聚合引发剂和（E）含有乙烯不饱和双键的化合物。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2012141618A Compound and tautomer thereof, metal complex compound, photosensitive colored curable composition, color filter, and method for manufacturing the same 有权
标题翻译：化合物及其衍生物，金属复合化合物，感光着色可固化组合物，彩色滤光片及其制造方法
公开(公告)号：JP2012141618A
公开(公告)日：2012-07-26
申请号：JP2012011574
申请日：2012-01-23
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： MIZUKAWA HIROKI , GOTO RYOJI , TAKAKUWA HIDEKI , OGIYAMA KATSUSHI , FUJIMORI TORU
IPC分类号： G02B5/20 , C07D207/44 , C07D401/14 , C07D487/04 , C07D487/22 , C07D519/00 , C07F1/08 , C07F3/06 , C07F15/06 , C09B23/00 , C09B47/24 , C09B57/10 , C09B67/20 , C09B67/22 , G02B5/22 , G03F7/004
CPC分类号： G03C1/735 , C07D207/335 , C09B23/0008 , C09B23/04 , C09B47/0671 , C09B47/0673 , C09B47/0675 , C09B47/0676 , C09B47/0678 , C09B55/003 , C09B63/005 , C09B67/0033 , G03F7/0007
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive colored curable composition with high molar absorption constant and excellent color purity and fastness, useful for primary color filters disposed for blue, green and red.SOLUTION: The photosensitive colored curable composition contains a dipyrromethene-based metal complex compound obtained from a metal or metallic compound and a dipyrromethene-based compound represented by the general formula (I).
摘要翻译：要解决的问题：提供具有高摩尔吸收常数和优异的色纯度和牢度的光敏着色固化性组合物，其用于蓝色，绿色和红色的原色滤色器。光敏着色固化性组合物含有由金属或金属化合物得到的二吡咯亚甲基金属络合物和由通式（I）表示的二吡咯亚甲基系化合物。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2012123402A Compound and tautomer thereof, metal complex compound, photosensitive coloring curable composition, color filter and method for manufacturing the same 有权
标题翻译：化合物及其衍生物，金属复合化合物，感光着色可固化组合物，彩色滤光片及其制造方法
公开(公告)号：JP2012123402A
公开(公告)日：2012-06-28
申请号：JP2012011573
申请日：2012-01-23
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： MIZUKAWA HIROKI , GOTO RYOJI , TAKAKUWA HIDEKI , OGIYAMA KATSUSHI , FUJIMORI TORU
IPC分类号： G03F7/004 , C07D207/44 , C07D401/14 , C07D487/04 , C07D519/00 , C07F1/08 , C07F3/06 , C07F15/06 , C09B23/00 , C09B47/20 , C09B47/24 , C09B55/00 , C09B57/10 , C09B67/20 , C09B67/22 , C09B67/46 , G02B5/20 , G02B5/22
CPC分类号： G03C1/735 , C07D207/335 , C09B23/0008 , C09B23/04 , C09B47/0671 , C09B47/0673 , C09B47/0675 , C09B47/0676 , C09B47/0678 , C09B55/003 , C09B63/005 , C09B67/0033 , G03F7/0007
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive coloring curable composition that is useful for an elementary color filter having blue, green and red arranged thereon, has an excellent color purity, has a molar absorption coefficient sufficiently high for thinning and is good at fastness.SOLUTION: A photosensitive coloring curable compound comprises, as a coloring agent, a dipyrromethene-based metal complex compound obtained from: a dipyrromethene-based compound that is represented by a specific general structural formula and may have a substituent; and a metal or a metal compound.
摘要翻译：要解决的问题：为了提供可用于其上布置有蓝色，绿色和红色的基本滤色器的光敏着色固化性组合物，具有优异的色纯度，其稀释摩尔吸光系数足够高，良好坚牢。光敏着色固化性化合物包含作为着色剂的二吡咯亚甲基金属络合物，由二吡咯亚甲基系化合物得到，所述二吡咯亚甲基系化合物由具体的一般结构式表示，可以具有取代基; 和金属或金属化合物。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2010176089A Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and method for forming pattern using the composition 审中-公开
标题翻译：化学敏感性或辐射敏感性树脂组合物，以及使用组合物形成图案的方法
公开(公告)号：JP2010176089A
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：JP2009021697
申请日：2009-02-02
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： TOMIGA TAKAMITSU , FUJIMORI TORU , HIRANO SHUJI , MIZUTANI KAZUYOSHI
IPC分类号： G03F7/039 , C08F8/12 , G03F7/004 , H01L21/027
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, giving a wide exposure latitude, a broad defocus latitude and a good pattern shape, and also to provide a method for forming a pattern by using the composition. SOLUTION: The actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition contains: (A) a resin containing each repeating unit expressed by formulae (I), (II) and (III), the resin to be changed into soluble with an alkali developing solution by an action of an acid; and (B) a compound generating an acid by irradiation with actinic rays or radiation, wherein the composition contains at least two kinds of compounds as the compounds of the component (B), the compounds including a nonionic compound generating at least a carboxylic acid. In the formulae, R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group; R 2 represents a halogen atom or an alkyl, cycloalkyl, aryl or aralkyl group; n is an integer of 0 to 50; and when n is 2 or larger, a plurality of R 2 may be identical or different from each other. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供光化学敏感或辐射敏感的树脂组合物，赋予宽的曝光宽容度，宽的散焦纬度和良好的图案形状，并且还提供了通过使用形成图案的方法组成。光解射线敏感性或辐射敏感性树脂组合物含有：（A）含有式（I），（II）和（III）表示的各重复单元的树脂，将变为可溶于通过酸的作用产生碱显影液; 和（B）通过用光化射线或辐射照射产生酸的化合物，其中所述组合物含有至少两种作为组分（B）的化合物的化合物，所述化合物包括产生至少一种羧酸的非离子化合物。在式中，R SB 1表示氢原子或甲基; R 2表示卤素原子或烷基，环烷基，芳基或芳烷基; n为0〜50的整数。当n为2以上时，多个R SB 2可以相同或不同。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2010008656A Black color hardening composition, light shielding color filter for solid imaging element, its manufacturing method, and solid imaging element 有权
标题翻译：黑色硬化组合物，固体成像元件的光泽颜色过滤器，其制造方法和固体成像元件
公开(公告)号：JP2010008656A
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：JP2008167065
申请日：2008-06-26
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： KANEKO YUJI , MARUYAMA YOICHI , FUJIMORI TORU , ENAGA HIROYUKI , SHIMADA KAZUTO , TSUCHIMURA TOMOTAKA
IPC分类号： G03F7/032 , G02B5/20 , G03F7/004 , G03F7/028
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a black color hardening composition achieving satisfactory close adhesiveness onto a substrate, high sensitivity, and forming a fine pattern, to provide a light shielding color filter achieving high light shielding performance in an infrared region and its manufacturing method by use of the black color hardening composition, and to provide a solid imaging element preventing the occurrence of noise and improving quality of picture image. SOLUTION: This black color hardening composition contains (A) titanium black, (B) alkali soluble resin having weight-average molecular weight in a scope of 20,000 to 100,000, (C) solvent, (D) photopolymerization initiator, and (E) the compound containing ethylene unsaturated double bond. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种在基板上获得令人满意的紧密粘合性，高灵敏度和形成精细图案的黑色硬化组合物，以提供在红外区域中实现高的遮光性能的遮光滤色器及其通过使用黑色硬化组合物制造方法，并且提供一种能够防止噪声的产生和提高图像质量的固体成像元件。该黑色硬化组合物含有（A）钛黑，（B）重均分子量为20,000〜100,000的碱溶性树脂，（C）溶剂，（D）光聚合引发剂和（D） E）含有乙烯不饱和双键的化合物。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2010008655A Black color curable composition, light shielding color filter for solid imaging element and its manufacturing method, and solid imaging element 有权
标题翻译：黑色可固化组合物，固体成像元件的光泽颜色过滤器及其制造方法和固体成像元件
公开(公告)号：JP2010008655A
公开(公告)日：2010-01-14
申请号：JP2008167063
申请日：2008-06-26
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： KANEKO YUJI , MARUYAMA YOICHI , FUJIMORI TORU , ENAGA HIROYUKI , SHIMADA KAZUTO , TSUCHIMURA TOMOTAKA
IPC分类号： G02B5/20
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a black color curable composition capable of being easily hardened with high sensitivity by even small amount of exposure and forming a light shielding color filter for a solid imaging element for preventing the occurrence of residue in a developing part and improving a pattern shape and to provide the light shielding color filter for the solid imaging element capable of achieving excellent light shielding performance in a wide wavelength region, its manufacturing method, and the solid imaging element. SOLUTION: This black color curable composition contains (A) titanium black, (B) alkali soluble resin having weight-average molecular weight of 2,000 or more and less than 20,000, (C) solvent, (D) photopolymerization initiator, and (E) the compound having ethylene unsaturated double bond. Preferably, (B) component has weight-average molecular weight/average numerical molecular weight (distribution of molecular weight) of less than 3.0 and acid value is 50 mgKOH/g to 200 mgKOH/g. The black color curable composition is suitable for the manufacture of the color filter for the solid imaging element and the solid imaging element. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种黑色可固化组合物，其能够通过甚至少量的曝光容易地以高灵敏度硬化，并且形成用于固体成像元件的遮光滤色器，用于防止发展中的残留物的发生改善图形形状并提供能够在宽波长范围内实现优异的遮光性能的固体成像元件的遮光滤色器，其制造方法和固体成像元件。该黑色可固化组合物含有（A）钛黑，（B）重均分子量为2,000以上且小于20,000的碱溶性树脂，（C）溶剂，（D）光聚合引发剂和（E）具有乙烯不饱和双键的化合物。优选地，（B）成分的重均分子量/平均数均分子量（分子量分布）小于3.0，酸值为50mgKOH / g至200mgKOH / g。黑色可固化组合物适用于制造用于固体成像元件和固体成像元件的滤色器。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

8. 发明专利

JP2009265609A Actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition and method of forming pattern therewith 有权
标题翻译：丙酸敏感或辐射敏感性树脂组合物及其形成方法
公开(公告)号：JP2009265609A
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：JP2008331732
申请日：2008-12-26
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： TOMIGA TAKAMITSU , FUJII KANA , DOBASHI TORU , MIZUTANI KAZUYOSHI , YOKOYAMA SHIGEO , SUGIYAMA SHINICHI , HIRANO SHUJI , FUJIMORI TORU
IPC分类号： G03F7/039 , C08F212/14 , C08F220/10 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0392 , C08F8/12 , C08F12/22 , C08F214/18 , C08F220/18 , C08F220/22 , C08F220/32 , C08F2220/282 , C08K5/375 , C08K5/42 , C08L33/068 , C08L51/04 , C08L67/02 , C09D125/14 , C09D125/18 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , C08F212/14 , C08F2220/1825 , C08F2220/185 , C08F220/14
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a positive resist composition satisfying the requirements of wide exposure latitude, reduction in line edge roughness, a desirable pattern configuration and dry etching resistance and giving a pattern with few defects after development, and to provide a method for forming a pattern by use of the above composition. SOLUTION: An actinic ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition is disclosed, comprising: (A) a resin containing repeating units of formulae (I), (II) and (III) that when acted on by an acid, becomes soluble in an alkali developer, and (B) a compound that when irradiated with actinic rays or radiation, generates a fluorine-containing acid. In the formulae, each of R 1 independently represents a hydrogen atom or an optionally substituted methyl group; R 2 represents a halogen atom, an optionally substituted alkyl group, an optionally substituted cycloalkyl group, an optionally substituted aryl group or an optionally substituted aralkyl group; and n is an integer of 0 to 5; provided that when n is ≥2, multiple R 2 s may be identical to or different from each other. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供满足宽曝光宽容度要求的正型抗蚀剂组合物，线边缘粗糙度的减小，期望的图案构造和耐干蚀刻性，并且在显影后给出少量缺陷的图案，并提供通过使用上述组合物形成图案的方法。解决方案：公开了光化射线敏感或辐射敏感性树脂组合物，其包含：（A）含有式（I），（II）和（III）的重复单元的树脂，当被酸作用时，变得可溶于碱性显影剂，（B）当用光化射线或辐射照射时产生含氟酸的化合物。在该式中，R SB 1 各自独立地表示氢原子或任选取代的甲基; R SB 2表示卤素原子，任选取代的烷基，任选取代的环烷基，任选取代的芳基或任选取代的芳烷基; n为0〜5的整数。条件是当n≥2时，多个R SB 2可以彼此相同或不同。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

9. 发明专利

JP2009244741A Photosensitive resin composition, light-shielding color filter and method of producing the same, and solid-state image sensor 有权
标题翻译：光敏性树脂组合物，遮光颜料过滤器及其制造方法和固态图像传感器
公开(公告)号：JP2009244741A
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：JP2008093297
申请日：2008-03-31
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： MARUYAMA YOICHI , FUJIMORI TORU , ENAGA HIROYUKI , SHIMADA KAZUTO , TSUCHIMURA TOMOTAKA , KANEKO YUJI
IPC分类号： G03F7/004 , G02B5/20 , G02B5/22 , G03F7/028
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition having less production of residue upon forming a pattern and exhibiting excellent linearity of thin lines in a formed pattern, to provide a light-shielding color filter formed from the above photosensitive resin composition and a method of producing the same, and to provide a solid-state image sensor. SOLUTION: The resin composition contains at least (A) titanium black, (B) a photopolymerization initiator, (C) a polymerizable compound, (D) a resin and (E) an organic solvent, wherein a weight ratio (W C /W A ) of the total weight W C of the polymerizable compound to the total weight W A of the titanium black ranges from 0.02 to 0.4. The light-shielding color filter formed from the above photosensitive resin composition and the method of producing the same, and the solid-state image sensor having the light-shielding color filter are also provided. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种在形成图案时具有较少残留量的感光性树脂组合物，并且在成形图案中显示出细线的线性优良，从而提供由上述感光性树脂组合物形成的遮光性滤色片及其制造方法，提供固态图像传感器。解决方案：树脂组合物至少含有（A）钛黑，（B）光聚合引发剂，（C）可聚合化合物，（D）树脂和（E）有机溶剂，其中重量比可聚合化合物的总重量W C 与总重量W A 之比钛黑的范围为0.02至0.4。还提供了由上述感光树脂组合物形成的遮光滤色器及其制造方法，以及具有遮光滤色器的固态图像传感器。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

10. 发明专利

JP2009244692A Photosensitive resin composition, light-shielding color filter and method of producing the same, and solid-state image sensor 有权
标题翻译：光敏性树脂组合物，遮光颜料过滤器及其制造方法和固态图像传感器
公开(公告)号：JP2009244692A
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：JP2008092582
申请日：2008-03-31
申请人： Fujifilm Corp , 富士フイルム株式会社
发明人： MARUYAMA YOICHI , ENAGA HIROYUKI , FUJIMORI TORU , SHIMADA KAZUTO , TSUCHIMURA TOMOTAKA , KANEKO YUJI
IPC分类号： G03F7/032 , G02B5/20 , G03F7/004 , G03F7/031
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive resin composition excellent in stability with lapse of time, from which a fine pattern with a reduced amount of development residue can be formed. SOLUTION: The resin composition contains at least titanium black, a photopolymerizable compound, a resin (A) having an acid value of ≥70 mgKOH/g and ≤250 mgKOH/g, a resin (B) having an acid value of ≥26 mgKOH/g and ≤65 mgKOH/g, a photopolymerization initiator, and a solvent. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

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