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1. 发明申请

WO2007029735A1 蒸着装置、蒸着方法、光学素子及びキラルセンサ审中-公开
标题翻译：蒸气沉积装置，蒸气沉积方法，光学元件和手套传感器
公开(公告)号：WO2007029735A1
公开(公告)日：2007-03-15
申请号：PCT/JP2006/317644
申请日：2006-09-06
申请人：学校法人早稲田大学 , 朝日透 , 逢坂哲彌 , 田中真人 , 鈴木俊哉
发明人：朝日透 , 逢坂哲彌 , 田中真人 , 鈴木俊哉
IPC分类号： C23C14/12 , C30B29/54 , G01N1/28
CPC分类号： C30B29/54 , C30B23/002
摘要：ドライプロセスを用いて、膜厚を高精度に制御しながら、高純度のＬ-イソロイシン結晶を基板上に作製し得る蒸着装置、蒸着方法、光学素子及びキラルセンサを提供する。真空チャンバー４内において所定の基板距離及び基板角度θで基板２を保持し、当該真空チャンバー４内の真空度と、印加手段７からの電圧とを所定値に設定することで、蒸着原料加熱部６によって加熱した蒸着原料10を気化させて、当該気化した蒸着原料10を基板２まで到達させることができ、かくしてドライプロセスを用いて、膜厚を高精度に制御しながら、高純度のＬ-イソロイシン結晶を基板２上に作製し得る。
摘要翻译：本发明提供一种气相沉积装置，其可以通过干法在基板上制备高纯度L-异亮氨酸晶体，同时以高精度控制膜厚度，气相沉积法，光学元件和手性传感器。基板（2）被保持在预定的基板距离处，基板角度θ 在真空室（4）内，真空室（4）内的真空度和施加装置（7）的电压各自被设定为预定值。根据上述结构，通过用于气相沉积原料的加热部（6）加热蒸镀原料（10）可以被汽化，可蒸发气相沉积原料（10）基板（2）。因此，可以通过干法在基板（2）上制备高纯度L-异亮氨酸晶体，同时以高精度控制膜厚度。

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