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热词
    • 1. 发明申请
    • 半導体センシング用電界効果型トランジスタ、半導体センシングデバイス、半導体センサチップ及び半導体センシング装置
    • 半导体感测场效应晶体管,半导体感测器件,半导体传感器芯片和半导体感测器件
    • WO2006038324A1
    • 2006-04-13
    • PCT/JP2005/004288
    • 2005-03-11
    • 学校法人早稲田大学丹羽 大介小岩 一郎逢坂 哲彌
    • 丹羽 大介小岩 一郎逢坂 哲彌
    • G01N27/414
    • G01N27/414
    •  ゲート絶縁層上に、有機単分子膜を形成して用いる半導体センシングデバイス用の電界効果型トランジスタであって、ゲート絶縁層が、第1のシリコン酸化物層上にシリコン窒化物層を介して第2のシリコン酸化物層が積層されてなる積層構造を具備する半導体センシング用電界効果型トランジスタ及び半導体センシングデバイス、並びにゲート絶縁層、ソース電極及びドレイン電極がシリコン基板上に集積された電界効果型トランジスタチップと、ソース電極と接続されたソース電極端子配線と、ドレイン電極と接続されたドレイン電極端子配線とを備え、トランジスタチップ、ソース電極端子配線及びドレイン電極端子配線が、トランジスタチップのゲート絶縁層、ソース電極端子配線のソース電極と接続されていない端部及びドレイン電極端子配線のドレイン電極と接続されていない端部が露呈するように封止されている半導体センサチップ及び半導体センシング装置。
    • 半导体感测场效应晶体管使用形成在栅极绝缘层上的有机单分子膜。 在半导体感测场效应晶体管和半导体感测装置中,栅极绝缘层具有堆叠结构,其中第二氧化硅层通过氮化硅层堆叠在第一氧化硅层上。 半导体传感器芯片和半导体感测装置设置有场效应晶体管芯片,其中栅极绝缘层,源电极和漏电极集成在硅板上,源极端子布线与源极连接,以及 漏极端子布线与漏电极连接。 在半导体传感器芯片和半导体感测装置中,晶体管芯片,源极端子布线和漏极端子布线被密封,以暴露未与晶体管芯片的栅极绝缘层连接的边缘部分和 源电极端子配线的源电极以及未与漏电极端子配线的漏电极连接的边缘部。
    • 9. 发明申请
    • 蒸着装置、蒸着方法、光学素子及びキラルセンサ
    • 蒸气沉积装置,蒸气沉积方法,光学元件和手套传感器
    • WO2007029735A1
    • 2007-03-15
    • PCT/JP2006/317644
    • 2006-09-06
    • 学校法人早稲田大学朝日 透逢坂 哲彌田中 真人鈴木 俊哉
    • 朝日 透逢坂 哲彌田中 真人鈴木 俊哉
    • C23C14/12C30B29/54G01N1/28
    • C30B29/54C30B23/002
    • ドライプロセスを用いて、膜厚を高精度に制御しながら、高純度のL-イソロイシン結晶を基板上に作製し得る蒸着装置、蒸着方法、光学素子及びキラルセンサを提供する。 真空チャンバー4内において所定の基板距離及び基板角度θで基板2を保持し、当該真空チャンバー4内の真空度と、印加手段7からの電圧とを所定値に設定することで、蒸着原料加熱部6によって加熱した蒸着原料10を気化させて、当該気化した蒸着原料10を基板2まで到達させることができ、かくしてドライプロセスを用いて、膜厚を高精度に制御しながら、高純度のL-イソロイシン結晶を基板2上に作製し得る。
    • 本发明提供一种气相沉积装置,其可以通过干法在基板上制备高纯度L-异亮氨酸晶体,同时以高精度控制膜厚度,气相沉积法,光学元件和手性传感器。 基板(2)被保持在预定的基板距离处,基板角度θ 在真空室(4)内,真空室(4)内的真空度和施加装置(7)的电压各自被设定为预定值。 根据上述结构,通过用于气相沉积原料的加热部(6)加热蒸镀原料(10)可以被汽化,可蒸发气相沉积原料(10) 基板(2)。 因此,可以通过干法在基板(2)上制备高纯度L-异亮氨酸晶体,同时以高精度控制膜厚度。