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1. 发明专利

TW201403037A 化學氣相沉積反應器中輻射測量偏誤的縮減审中-公开
简体标题：化学气相沉积反应器中辐射测量偏误的缩减
公开(公告)号：TW201403037A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：TW102121844
申请日：2013-06-20
申请人：威科精密儀器公司 , VEECO INSTRUMENTS, INC.
发明人：塔斯古瑞 , TAS, GURAY , 周進 , ZHOU, JING , 權大元 , KWON, DAEWON
IPC分类号： G01J5/00 , G01J5/02 , H01L21/67 , C23C16/52
CPC分类号： C23C16/481 , C23C16/52
摘要：一種在例如CVD反應器之外殼中用以減少輻射測溫(量)偏誤之設備。在一實施例中，輻射測溫計利用焦外遠心透鏡裝置，焦外遠心透鏡裝置聚焦於無限遠處，但卻被用於捕獲來自於焦點外之相對接近之目標物(例如在數公尺內)之輻射；捕獲來自目標物之準直的輻射減少了雜散輻射之貢獻。在另一實施例中，源自於周圍加熱元件之指定部分之散射輻射，可藉由若干機制其中一者而局部地減少，包含減少指定部分之發射(例如操作溫度)、或者捕獲源自於該指定部分之輻射之一部分或使其偏斜。固定於接近由晶圓載具之中心延伸之軸線並橫跨該指定部分的輻射測溫計承受較少的雜散輻射，藉此可提供更可靠之溫度讀數。
简体摘要：一种在例如CVD反应器之外壳中用以减少辐射测温(量)偏误之设备。在一实施例中，辐射测温计利用焦外远心透镜设备，焦外远心透镜设备聚焦于无限远处，但却被用于捕获来自于焦点外之相对接近之目标物(例如在数公尺内)之辐射；捕获来自目标物之准直的辐射减少了杂散辐射之贡献。在另一实施例中，源自于周围加热组件之指定部分之散射辐射，可借由若干机制其中一者而局部地减少，包含减少指定部分之发射(例如操作温度)、或者捕获源自于该指定部分之辐射之一部分或使其偏斜。固定于接近由晶圆载具之中心延伸之轴线并横跨该指定部分的辐射测温计承受较少的杂散辐射，借此可提供更可靠之温度读数。

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