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1. 发明专利

JP5994271B2 電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および製造方法有权
标题翻译：电子束发生器，电子束照射装置，电子束曝光装置，以及制造方法
公开(公告)号：JP5994271B2
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：JP2012027488
申请日：2012-02-10
申请人：国立大学法人東北大学 , 国立大学法人東京農工大学 , 株式会社クレステック
发明人：江刺正喜 , 池上尚克 , 小島明
IPC分类号： H01J37/063 , H01J37/073 , H01J37/305 , H01J1/312 , H01J9/02 , H01J37/06

2. 发明专利

JP6018386B2 電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および電子ビーム照射方法有权
标题翻译：电子束照射装置，一个多电子束照射装置，电子束曝光装置，以及电子束照射方法
公开(公告)号：JP6018386B2
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：JP2012027499
申请日：2012-02-10
申请人：国立大学法人東北大学 , 国立大学法人東京農工大学 , 株式会社クレステック
发明人：江刺正喜 , 池上尚克 , 小島明
IPC分类号： H01J37/305 , H01J37/06 , H01L21/027 , G03F7/20 , H01J1/312

3. 发明专利

JP6738067B2 電子ビーム発生装置、電子ビーム露光装置、および製造方法有权
公开(公告)号：JP6738067B2
公开(公告)日：2020-08-12
申请号：JP2017037623
申请日：2017-02-28
申请人：国立大学法人東北大学 , 国立大学法人東京農工大学
发明人：小島明 , 宮口裕 , 池上尚克 , 江刺正喜 , 越田信義 , 須田隆太郎
IPC分类号： H01J37/305 , H01J37/073 , G03F7/20 , H01J1/308 , H01J1/48 , H01L21/027

4. 发明专利

JP2018142679A 電子ビーム発生装置、電子ビーム露光装置、および製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018142679A
公开(公告)日：2018-09-13
申请号：JP2017037623
申请日：2017-02-28
申请人：国立大学法人東北大学 , 国立大学法人東京農工大学
发明人：小島明 , 宮口裕 , 池上尚克 , 江刺正喜 , 越田信義 , 須田隆太郎
IPC分类号： H01J37/305 , H01J37/073 , G03F7/20 , H01J1/308 , H01J1/48 , H01L21/027
摘要：【課題】複数の電子ビームを精度よく簡便に出力できる電子ビーム発生源。【解決手段】第1面から電子を放出する電子放出部と、電子放出部の第1面側に設けられ、電子放出部から放出された電子を通過させるグラフェン層とを備える電子ビーム発生装置および電子ビーム発生装置の製造方法を提供する。グラフェン層は、電子放出部から放出された電子の回折波を出力してよい。グラフェン層は、単原子層のグラフェンを1または複数重ねて形成されてよい。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2016032277A 映像通信システム及び映像通信方法审中-公开
标题翻译：视频通信系统和视频通信方法
公开(公告)号：JP2016032277A
公开(公告)日：2016-03-07
申请号：JP2014155404
申请日：2014-07-30
申请人：日本電信電話株式会社 , 国立大学法人東北大学
发明人：三枝知史 , 小澤史朗 , 伊達宗和 , 高田英明 , 小島明 , 北村喜文 , 高嶋和毅
IPC分类号： H04M3/56 , H04N7/15
摘要：【課題】主拠点の利用者と従拠点の利用者との間に自由な距離や位置関係を保ったコミュニケーション環境を実現する。【解決手段】主拠点装置1は、撮像した映像を用いて主拠点内の空間形状情報を取得する手段11と、撮像した映像を用いて主拠点内の人物位置情報を取得する手段12と、空間形状情報と人物位置情報とを用いて、従拠点から主拠点のコミュニケーションの場に参加する利用者の映像を提示すべき位置を算出する手段13と、送信された映像と、提示位置情報とを用いて映像を生成し、主拠点内に投影して映し出す手段14と、撮像した映像を用いて、従拠点の利用者の位置から見た際の映像を生成し、生成した映像を送信する手段15とを備えた。従拠点装置2は、従拠点の利用者を撮像した映像を取得し、取得した映像を主拠点装置に対して送信する手段21と、主拠点装置から送信された映像を従拠点の利用者に対して提示する手段22とを備えた。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：构建保持主基座中的用户与子基座中的用户之间的空闲距离和位置关系的通信环境。解决方案：主基站设备1包括：用于获取空间形状信息的装置11 使用通过成像获得的视频的主要基础; 用于使用通过成像获得的视频来获取主基座中的人位置信息的装置12; 用于计算使用空间形状信息和人物位置信息来呈现从基地参与主基地中的通信场所的用户的视频的位置的装置13; 用于通过使用传输的视频和呈现位置信息产生视频的装置14，并将其投影在主基座中以显示它; 以及用于使用通过成像获得的图像来生成从子基座中的用户的位置观看的视频并且用于发送所生成的视频的装置15。子基站装置2包括：用于获取通过使用户在子基站中成像而获得的视频的装置21，并用于将所获取的视频发送到主基站装置; 以及用于将由主基站设备发送的视频呈现给子基站中的用户的装置22

6. 发明专利

JP2016105428A 電子ビーム照射装置、マルチ電子ビーム照射装置、調整方法、および電子ビーム露光装置审中-公开
标题翻译：电子束辐射装置，多电子束辐射装置，调整方法和电子束曝光装置
公开(公告)号：JP2016105428A
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：JP2013047066
申请日：2013-03-08
申请人：株式会社クレステック
发明人：小島明
IPC分类号： H01J37/305 , H01J37/153 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/153 , H01J37/073 , H01J37/305 , H01J37/3177 , H01J2237/06375 , H01J2237/065 , H01J2237/1205 , H01J2237/1534 , H01J2237/31781
摘要：【課題】面電子ビーム源からの電子ビームが描画する像の像面湾曲を低減し、かつ、歪曲収差を補正する。【解決手段】複数の電子ビーム発生源が配列された面電子ビーム源と、複数の電子ビーム発生源のそれぞれに対応してそれぞれ設けられた複数のコンデンサレンズを有するコンデンサレンズアレイと、複数の電子ビーム発生源からの複数の電子ビームがコンデンサレンズアレイを介して入射され、複数の電子ビームによる像を縮小する電子レンズと、を備え、複数の電子ビーム発生源のうち、中心から遠い第1電子ビーム発生源は中心から近い第2電子ビーム発生源と比較して高いエネルギーで電子を放出し、複数のコンデンサレンズのうち、第1電子ビーム発生源に対応する第1コンデンサレンズは、第2電子ビーム発生源に対応する第2コンデンサレンズと比較して焦点距離を長くする電子ビーム照射装置を提供する。【選択図】図6
摘要翻译：要解决的问题：减少由电子束从表面电子束源引起的图像的场曲率，并校正失真像差。电子束照射装置包括：表面电子束源，其中多个电子光束发生源排列; 一个电容透镜阵列，包括多个电容透镜，它们被设置为对应于多个电子束产生源; 以及电子透镜，多个电子束产生源的多个电子束经由电容透镜阵列入射到该电子透镜上，并且减小了由多个电子束形成的图像的尺寸。在多个电子束产生源中，距离中心更远的第一电子束发生源相对于靠近中心的第二电子束产生源发射具有较高能量的电子。在多个电容透镜中，对应于第一电子束产生源的第一电容透镜相对于与第二电子束产生源对应的第二电容透镜相比焦距更长。图6

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