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    • 10. 发明专利
    • 畫素結構及其製作方法
    • 像素结构及其制作方法
    • TW201322342A
    • 2013-06-01
    • TW100143135
    • 2011-11-24
    • 友達光電股份有限公司AU OPTRONICS CORPORATION
    • 高逸群KAO, YIH CHYUN邱皓麟CHIU, HAO LIN林俊男LIN, CHUN NAN
    • H01L21/336H01L21/28
    • H01L27/124H01L27/1288H01L29/66742H01L29/78603
    • 本發明提出一種畫素結構的製作方法。首先,於基板上形成第一圖案化金屬層,包括掃描線以及閘極。再於第一圖案化金屬層上依序形成第一絕緣層、半導體層、蝕刻阻擋圖案以及金屬層。接著,圖案化此金屬層和半導體層以形成第二圖案化金屬層和圖案化半導體層。第二圖案化金屬層包括資料線、源極與汲極。圖案化半導體層包括完全重疊於第二圖案化金屬層的第一半導體圖案以及不重疊於第二圖案化金屬層的第二半導體圖案,其中第二半導體圖案包括位於源極與汲極之間的通道圖案以及包圍第一半導體圖案的邊緣圖案。
    • 本发明提出一种像素结构的制作方法。首先,于基板上形成第一图案化金属层,包括扫描线以及闸极。再于第一图案化金属层上依序形成第一绝缘层、半导体层、蚀刻阻挡图案以及金属层。接着,图案化此金属层和半导体层以形成第二图案化金属层和图案化半导体层。第二图案化金属层包括数据线、源极与汲极。图案化半导体层包括完全重叠于第二图案化金属层的第一半导体图案以及不重叠于第二图案化金属层的第二半导体图案,其中第二半导体图案包括位于源极与汲极之间的信道图案以及包围第一半导体图案的边缘图案。