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    • 8. 发明专利
    • 半導體裝置之製造方法及半導體裝置
    • 半导体设备之制造方法及半导体设备
    • TW201717292A
    • 2017-05-16
    • TW105124544
    • 2016-08-03
    • 住友電木股份有限公司SUMITOMO BAKELITE CO., LTD.
    • 光田昌也KODA, MASAYA渡部格WATANABE, ITARU
    • H01L21/56H01L21/60H01L23/28H01L21/301
    • 本發明包含以下步驟:在將第1黏接構件(20)貼附於半導體晶圓(1)中與設有焊接凸塊(2)之電路形成面成為反向側之面之狀態下,沿著半導體晶圓(1)的切割區域,對於半導體晶圓(1)之電路形成面形成複數個具有既定寬度之切口之步驟;在將第1黏接構件(20)貼附於已形成切口之半導體晶圓(1)之狀態下,將第2黏接構件(30)貼附於半導體晶圓(1)之電路形成面之步驟;在將第2黏接構件(30)貼附於半導體晶圓(1)之電路形成面之狀態下,將第1黏接構件(20)予以剝離之步驟;在貼附著第2黏接構件(30)之狀態下,進行半導體晶圓(1)之分片化,以使具備第2黏接構件(30)與貼附於第2黏接構件(30)之黏接面之複數個半導體晶片(5),且將複數個半導體晶片以彼此保有既定間隔之方式而配置,並將形成於複數個半導體晶片(5)之電路形成面之焊接凸塊(2)的一部分,貼附於第2黏接構件之黏接面,以得到使電路形成面外露之構造體7之步驟;使流動狀態之半導體封裝用樹脂組成物(40)接觸於複數個半導體晶片(5),以將半導體封裝用樹脂組成物(40)充填於複數個該半導體晶片間之間隙,且使半導體晶片(5)之電路形成面、與電路形成面成為反向側之面、及側面,被半導體封裝用樹脂組成物(40)所覆蓋封裝之步驟;及,使半導體封裝用樹脂組成物(40)硬化之步驟。
    • 本发明包含以下步骤:在将第1黏接构件(20)贴附于半导体晶圆(1)中与设有焊接凸块(2)之电路形成面成为反向侧之面之状态下,沿着半导体晶圆(1)的切割区域,对于半导体晶圆(1)之电路形成面形成复数个具有既定宽度之切口之步骤;在将第1黏接构件(20)贴附于已形成切口之半导体晶圆(1)之状态下,将第2黏接构件(30)贴附于半导体晶圆(1)之电路形成面之步骤;在将第2黏接构件(30)贴附于半导体晶圆(1)之电路形成面之状态下,将第1黏接构件(20)予以剥离之步骤;在贴附着第2黏接构件(30)之状态下,进行半导体晶圆(1)之分片化,以使具备第2黏接构件(30)与贴附于第2黏接构件(30)之黏接面之复数个半导体芯片(5),且将复数个半导体芯片以彼此保有既定间隔之方式而配置,并将形成于复数个半导体芯片(5)之电路形成面之焊接凸块(2)的一部分,贴附于第2黏接构件之黏接面,以得到使电路形成面外露之构造体7之步骤;使流动状态之半导体封装用树脂组成物(40)接触于复数个半导体芯片(5),以将半导体封装用树脂组成物(40)充填于复数个该半导体芯片间之间隙,且使半导体芯片(5)之电路形成面、与电路形成面成为反向侧之面、及侧面,被半导体封装用树脂组成物(40)所覆盖封装之步骤;及,使半导体封装用树脂组成物(40)硬化之步骤。