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    • 1. 发明专利
    • 真空チャック部材および真空チャック部材の製造方法。
    • 真空泵组件和制造真空泵的方法
    • JP2015211099A
    • 2015-11-24
    • JP2014090959
    • 2014-04-25
    • 京セラ株式会社株式会社オクテック
    • 前田 岳志田中 万平奥村 勝弥
    • H01L21/683
    • 【課題】 載置面に載置した対象体の表面位置の精度を高精度に制御する。 【解決手段】 平面状の載置面を有する多孔質セラミック体と、前記多孔質セラミック体の外周面を囲んだ、前記外周面と対向する内周面を備える外壁部、および前記多孔質セラミック体の前記載置面と反対側の面と当接するベース面を有する緻密質セラミック体とを備え、前記載置面に載置した対象体を前記多孔質セラミック体を介して真空吸着するための真空チャック部材であって、前記外周面と前記内周面とが、直接当接していることを特徴とする真空チャック部材を提供する。 【選択図】 図1
    • 要解决的问题:控制安装在安装表面上的物体的表面位置的精度。解决方案:真空吸盘构件包括具有平坦安装表面的多孔陶瓷体和具有外壁的致密陶瓷体,外壁包括内部 围绕多孔陶瓷体的外周面的周面,并且面向外周面,以及与安装面相反的一侧与多孔陶瓷体的表面抵接的基面,真空吸附安装在多孔陶瓷体上的物体 通过多孔陶瓷体安装表面。 外周面和内周面直接抵接。