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    • 2. 发明专利
    • 真空チャック部材および真空チャック部材の製造方法。
    • 真空泵组件和制造真空泵的方法
    • JP2015211099A
    • 2015-11-24
    • JP2014090959
    • 2014-04-25
    • 京セラ株式会社株式会社オクテック
    • 前田 岳志田中 万平奥村 勝弥
    • H01L21/683
    • 【課題】 載置面に載置した対象体の表面位置の精度を高精度に制御する。 【解決手段】 平面状の載置面を有する多孔質セラミック体と、前記多孔質セラミック体の外周面を囲んだ、前記外周面と対向する内周面を備える外壁部、および前記多孔質セラミック体の前記載置面と反対側の面と当接するベース面を有する緻密質セラミック体とを備え、前記載置面に載置した対象体を前記多孔質セラミック体を介して真空吸着するための真空チャック部材であって、前記外周面と前記内周面とが、直接当接していることを特徴とする真空チャック部材を提供する。 【選択図】 図1
    • 要解决的问题:控制安装在安装表面上的物体的表面位置的精度。解决方案:真空吸盘构件包括具有平坦安装表面的多孔陶瓷体和具有外壁的致密陶瓷体,外壁包括内部 围绕多孔陶瓷体的外周面的周面,并且面向外周面,以及与安装面相反的一侧与多孔陶瓷体的表面抵接的基面,真空吸附安装在多孔陶瓷体上的物体 通过多孔陶瓷体安装表面。 外周面和内周面直接抵接。
    • 3. 发明专利
    • 半導体装置及び半導体装置の製造方法
    • 半导体器件和半导体器件制造方法
    • JP2014199955A
    • 2014-10-23
    • JP2014153274
    • 2014-07-28
    • 株式会社オクテックOkutekku:Kk富士電機株式会社Fuji Electric Co Ltd
    • OKUMURA KATSUYATAKAHASHI YOSHIKAZUIKEDA YOSHINARI
    • H01L25/07H01L25/18
    • H01L24/01H01L2224/01H01L2224/48091H01L2224/73265H01L2924/13055H01L2924/13091H01L2924/181H01L2924/19107H01L2924/00014H01L2924/00
    • 【課題】半導体装置の信頼性を向上させる。【解決手段】半導体装置1では、絶縁板10aの第1の主面に金属箔10bが形成され、絶縁板10aの第2の主面に、少なくとも一つの金属箔10c,10dが形成される。また、金属箔10c,10d上に少なくとも一つの半導体素子20が接合され、半導体素子20が配置された絶縁板10aの主面に対向するようにプリント基板30が配置される。そして、プリント基板30に設けられたスルーホール30dに注入され、固定された複数のポスト電極30eにより、プリント基板30の第1の主面に形成された金属箔30bと、金属箔30bに対応するようにプリント基板30の第2の主面に形成された金属箔30cと、半導体素子20の主電極とが電気的に接続される。これにより、高信頼性で、優れた動作特性を有し、且つ高い生産性を有する半導体装置1が実現する。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提高半导体器件的可靠性。解决方案:半导体器件1包括:形成在绝缘板10a的第一主表面上的金属箔10b; 形成在绝缘板10a的第二主表面上的金属箔10c,10d中的至少一个; 键合在金属箔10c,10d上的至少一个半导体元件20; 布置成面对其上布置有半导体元件20的绝缘板10a的主表面的印刷板30; 以及植入设置在印刷电路板30上的通孔30d中的多个柱状电极30e,用于电连接形成在印刷电路板30的第一主表面上的金属箔30b,形成在印刷电路板30的第二主表面上的金属箔30c 板30,以对应于金属箔30b和半导体元件20的主电极。因此,可以实现具有高可靠性,高性能特性和高生产率的半导体器件1。