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1. 发明专利

TW201425363A 光微影術用樹脂之精製方法审中-公开
简体标题：光微影术用树脂之精制方法
公开(公告)号：TW201425363A
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW102141265
申请日：2013-11-13
申请人：丸善石油化學股份有限公司 , MARUZEN PETROCHEMICAL CO., LTD.
发明人：及川知 , OIKAWA, TOMO
IPC分类号： C08F6/12 , G03F7/26
CPC分类号： C08F220/10 , C08F6/28 , C08F232/08
摘要：本發明之課題在於提供一種光微影術用樹脂之精製方法，其可更有效地去除：在光微影術中成為導致光阻圖型的顯影缺陷或光微影術用樹脂的保存穩定性降低之要因之光微影術用樹脂中所含有之未反應單體或聚合起始劑等之低分子量雜質。本發明之解決手段如下：本發明之光微影術用樹脂之精製方法，其特徵為包含：操作(a)：將使樹脂分散於含有良溶劑與不良溶劑之溶液中之漿液予以攪拌之操作；接著操作(b)：將不良溶劑追加於該漿液以降低良溶劑相對於不良溶劑之比率後，使樹脂與溶液分離之操作。
简体摘要：本发明之课题在于提供一种光微影术用树脂之精制方法，其可更有效地去除：在光微影术中成为导致光阻图型的显影缺陷或光微影术用树脂的保存稳定性降低之要因之光微影术用树脂中所含有之未反应单体或聚合起始剂等之低分子量杂质。本发明之解决手段如下：本发明之光微影术用树脂之精制方法，其特征为包含：操作(a)：将使树脂分散于含有良溶剂与不良溶剂之溶液中之浆液予以搅拌之操作；接着操作(b)：将不良溶剂追加于该浆液以降低良溶剂相对于不良溶剂之比率后，使树脂与溶液分离之操作。

2. 发明专利

TWI454486B 光阻用共聚物的製造方法有权
简体标题：光阻用共聚物的制造方法
公开(公告)号：TWI454486B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：TW098134962
申请日：2009-10-15
申请人：丸善石油化學股份有限公司 , MARUZEN PETROCHEMICAL CO., LTD.
发明人：及川知 , OIKAWA, TOMO , 伊川英市 , IKAWA, EIICHI
IPC分类号： C08F2/06 , C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/004 , G03F7/039
CPC分类号： C08F2/06 , C08F2/00 , C08F220/28

3. 发明专利

TWI583712B 光微影術用樹脂之精製方法有权
简体标题：光微影术用树脂之精制方法
公开(公告)号：TWI583712B
公开(公告)日：2017-05-21
申请号：TW102141265
申请日：2013-11-13
申请人：丸善石油化學股份有限公司 , MARUZEN PETROCHEMICAL CO., LTD.
发明人：及川知 , OIKAWA, TOMO
IPC分类号： C08F6/12 , G03F7/26
CPC分类号： C08F220/10 , C08F6/28 , C08F232/08

4. 发明专利

TWI400253B 濕浸式微影用共聚物及組合物有权
简体标题：湿浸式微影用共聚物及组合物
公开(公告)号：TWI400253B
公开(公告)日：2013-07-01
申请号：TW096141736
申请日：2007-11-05
申请人：丸善石油化學股份有限公司 , MARUZEN PETROCHEMICAL CO., LTD.
发明人：山岸孝則 , YAMAGISHI, TAKANORI , 及川知 , OIKAWA, TOMO , 岡田剛宜 , OKADA, TAKAYOSHI
IPC分类号： C08F220/10 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0397 , C08F220/18 , C08F220/28 , G03F7/2041 , Y10S430/111 , Y10S430/115

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