专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP5964959B2 ナノパターン化及び超広帯域電磁特性測定システム有权
标题翻译：纳米图形化和超宽带电磁特性测量系统
公开(公告)号：JP5964959B2
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：JP2014521921
申请日：2012-07-17
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京匯徳信科技有限公司
发明人：韓秀峰 , 馬勤礼 , 于国強 , 劉厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孫曉玉
IPC分类号： H01J37/28 , H01L21/027 , G01R29/00 , G01R33/12 , H01J37/305 , H01J37/16 , H01J37/244
CPC分类号： H01J37/26 , H01J37/3174 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12

2. 发明专利

JP2014529839A ナノパターン化及び超広帯域電磁特性測定システム有权
标题翻译：纳米图形化和超宽带电磁特性测量系统
公开(公告)号：JP2014529839A
公开(公告)日：2014-11-13
申请号：JP2014521921
申请日：2012-07-17
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京匯徳信科技有限公司
发明人：韓秀峰 , 馬勤礼 , 于国強 , 劉厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孫曉玉
IPC分类号： H01J37/28 , G01R29/00 , G01R33/12 , H01J37/244 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/26 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J37/3174 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12
摘要：本発明は、電源1と、制御装置2と、測定装置3とを備え、前記制御装置2は前記測定装置3に接続され、前記制御装置2と前記測定装置3は、それぞれ前記電源1に接続されており、前記測定装置3は、SEM結像又はEBLパターン化機能を有する結像装置31と、真空チャンバー32と、真空システム33と、試料ステージ34と、磁場応答特性測定装置35とを備え、前記真空システム33は前記真空チャンバー32に接続され、前記結像装置31、前記試料ステージ34及び前記磁場応答特性測定装置35は、いずれも前記真空チャンバー32内に設置され、前記結像装置31と前記磁場応答特性測定装置35は前記試料ステージ34に応じて設置されている、ナノパターン化及び超広帯域電磁特性測定システムを提供する。本発明によれば、高速で効率よくナノ材料とデバイス、及びそのアレイ試料の測定と研究を行うことができ、幅広い応用分野を有している。
摘要翻译：本发明连接在电源1，一个控制单元2，和一个测量装置3中，控制单元2被连接到测量装置3，所述的控制装置2测量装置3中，分别对电源1的是，测量装置3设置有成像装置具有SEM成像或EBL图案化功能，真空室32，真空系统33，试样台34和磁场响应特性的测量装置31 35 真空系统33连接到真空室32，成像装置31中，样品台34和磁场响应特性的测量装置35都位于真空室32内，成像设备31 其中，所述磁场响应特性的测量装置35是安装在根据样品台34，以提供纳米图案化和超宽带电磁特性测量系统。根据本发明，可以进行快速和有效的纳米材料和设备，并且阵列样本研究的测定中，具有广泛的应用范围。

3. 发明授权

CN103365101B 一种纳米图形化系统及其磁场施加装置有权
公开(公告)号：CN103365101B
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201210096470.3
申请日：2012-04-01
申请人：中国科学院物理研究所
发明人：于国强 , 郭鹏 , 韩秀峰 , 郭朝晖 , 孙晓玉 , 周向前
IPC分类号： G03F7/20 , G01R31/00
CPC分类号： H01J37/09 , G01R33/093 , G01R33/096 , H01F7/202 , H01F7/204 , H01F41/00 , H01J37/141 , H01J2237/0262 , H01J2237/0264 , H01J2237/28 , H01J2237/31754 , H01L43/12
摘要：一种纳米图形化系统及其磁场施加装置，该纳米图形化系统包括真空腔、样品台和磁场施加装置，该磁场施加装置包括电源、磁场产生装置和一对磁极，所述磁场产生装置包括线圈和导磁软铁芯，所述电源与所述线圈连接，所述线圈缠绕在所述导磁软铁芯上以产生磁场，所述导磁软铁芯为半闭合框形结构，所述磁极分别安装在所述半闭合框形结构的两末端，所述纳米图形化系统的真空腔内设置有样品台，所述磁极相对于所述样品台设置在所述真空腔内，所述线圈和所述导磁软铁芯设置在所述真空腔外，所述导磁软铁芯将所述线圈产生的磁场引导进入所述真空腔内，所述磁极用以对所述样品台上的样品进行定位以及局域磁场的施加。

4. 发明公开

CN103529643A 一种纳米图形化系统及其光响应特性检测装置有权
公开(公告)号：CN103529643A
公开(公告)日：2014-01-22
申请号：CN201210231008.X
申请日：2012-07-05
申请人：中国科学院物理研究所
发明人：刘盼 , 郭鹏 , 于国强 , 韩秀峰 , 孙晓玉 , 周向前
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/20 , G01R31/00 , G01M11/02
CPC分类号： G01N21/47 , G01R31/2635
摘要：一种纳米图形化系统及其光响应特性检测装置，该纳米图形化系统包括电源、控制装置和测量装置，该测量装置包括电子束枪、真空腔、真空系统、样品台和光响应特性检测装置，该光响应特性检测装置包括光发射器、导入光纤、光探测器、CCD成像设备和精密传导光纤，该光发射器通过该精密传导光纤与该导入光纤连接，该光探测器通过该精密传导光纤与该CCD成像设备连接，该导入光纤及该光探测器均对应于该纳米图形化系统的样品台设置于该纳米图形化系统的真空腔内，该导入光纤用于将该光发射器发出的光束导入至该样品台的样品上，该光探测器用于采集该样品的反射光，该光探测器相对于该导入光纤设置以采集该样品的反射光。

5. 发明授权

CN103529643B 一种纳米图形化系统及其光响应特性检测装置有权
公开(公告)号：CN103529643B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201210231008.X
申请日：2012-07-05
申请人：中国科学院物理研究所
发明人：刘盼 , 郭鹏 , 于国强 , 韩秀峰 , 孙晓玉 , 周向前
IPC分类号： G03F7/00 , G03F7/20 , G01R31/00 , G01M11/02
CPC分类号： G01N21/47 , G01R31/2635
摘要：一种纳米图形化系统及其光响应特性检测装置，该纳米图形化系统包括电源、控制装置和测量装置，该测量装置包括电子束枪、真空腔、真空系统、样品台和光响应特性检测装置，该光响应特性检测装置包括光发射器、导入光纤、光探测器、CCD成像设备和精密传导光纤，该光发射器通过该精密传导光纤与该导入光纤连接，该光探测器通过该精密传导光纤与该CCD成像设备连接，该导入光纤及该光探测器均对应于该纳米图形化系统的样品台设置于该纳米图形化系统的真空腔内，该导入光纤用于将该光发射器发出的光束导入至该样品台的样品上，该光探测器用于采集该样品的反射光，该光探测器相对于该导入光纤设置以采集该样品的反射光。

6. 发明授权

CN102901471B 纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统有权
公开(公告)号：CN102901471B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201110209908.X
申请日：2011-07-26
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京汇德信科技有限公司
发明人：韩秀峰 , 马勤礼 , 于国强 , 刘厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孙晓玉
IPC分类号： G01B15/04 , G01R29/08
CPC分类号： H01J37/26 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J37/3174 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12
摘要：一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置。本发明可以快速高效地进行纳米材料和器件及其阵列样品的测试与研究，具有广泛的应用领域和市场需求。

7. 发明公开

CN102901471A 纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统有权
公开(公告)号：CN102901471A
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201110209908.X
申请日：2011-07-26
申请人：中国科学院物理研究所 , 北京汇德信科技有限公司
发明人：韩秀峰 , 马勤礼 , 于国强 , 刘厚方 , 余天 , 周向前 , 艾金虎 , 孙晓玉
IPC分类号： G01B15/04 , G01R29/08
CPC分类号： H01J37/26 , G01R31/2822 , G01R31/315 , H01J37/3174 , H01J2237/24564 , H01J2237/28 , H01L22/12
摘要：一种纳米图形化和超宽频电磁特性测量系统，包括电源、控制装置和测量装置，所述控制装置与所述测量装置连接，所述控制装置和所述测量装置分别与所述电源连接，所述测量装置包括具有SEM成像或EBL图形化功能的成像装置、真空腔、真空系统、样品台和磁场响应特性测试装置，所述真空系统与所述真空腔连接，所述成像装置、所述样品台及所述磁场响应特性测试装置均设置在所述真空腔内，所述成像装置及所述磁场响应特性测试装置对应于所述样品台设置。本发明可以快速高效地进行纳米材料和器件及其阵列样品的测试与研究，具有广泛的应用领域和市场需求。

8. 发明公开

CN103365101A 一种纳米图形化系统及其磁场施加装置有权
公开(公告)号：CN103365101A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201210096470.3
申请日：2012-04-01
申请人：中国科学院物理研究所
发明人：于国强 , 郭鹏 , 韩秀峰 , 郭朝晖 , 孙晓玉 , 周向前
IPC分类号： G03F7/20 , G01R31/00
CPC分类号： H01J37/09 , G01R33/093 , G01R33/096 , H01F7/202 , H01F7/204 , H01F41/00 , H01J37/141 , H01J2237/0262 , H01J2237/0264 , H01J2237/28 , H01J2237/31754 , H01L43/12
摘要：一种纳米图形化系统及其磁场施加装置，该纳米图形化系统包括真空腔、样品台和磁场施加装置，该磁场施加装置包括电源、磁场产生装置和一对磁极，所述磁场产生装置包括线圈和导磁软铁芯，所述电源与所述线圈连接，所述线圈缠绕在所述导磁软铁芯上以产生磁场，所述导磁软铁芯为半闭合框形结构，所述磁极分别安装在所述半闭合框形结构的两末端，所述纳米图形化系统的真空腔内设置有样品台，所述磁极相对于所述样品台设置在所述真空腔内，所述线圈和所述导磁软铁芯设置在所述真空腔外，所述导磁软铁芯将所述线圈产生的磁场引导进入所述真空腔内，所述磁极用以对所述样品台上的样品进行定位以及局域磁场的施加。

9. 实用新型

CN202710465U 一种纳米图形化系统及其光响应特性检测装置有权
公开(公告)号：CN202710465U
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN201220322833.6
申请日：2012-07-05
申请人：中国科学院物理研究所
发明人：刘盼 , 郭鹏 , 于国强 , 韩秀峰 , 孙晓玉 , 周向前
IPC分类号： G01N21/25 , G01R31/00
摘要：一种纳米图形化系统及其光响应特性检测装置，该纳米图形化系统包括电源、控制装置和测量装置，该测量装置包括电子束枪、真空腔、真空系统、样品台和光响应特性检测装置，该光响应特性检测装置包括光发射器、导入光纤、光探测器、CCD成像设备和精密传导光纤，该光发射器通过该精密传导光纤与该导入光纤连接，该光探测器通过该精密传导光纤与该CCD成像设备连接，该导入光纤及该光探测器均对应于该纳米图形化系统的样品台设置于该纳米图形化系统的真空腔内，该导入光纤用于将该光发射器发出的光束导入至该样品台的样品上，该光探测器用于采集该样品的反射光，该光探测器相对于该导入光纤设置以采集该样品的反射光。

10. 实用新型

CN202533709U 一种纳米图形化系统及其磁场施加装置失效
公开(公告)号：CN202533709U
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201220138269.2
申请日：2012-04-01
申请人：中国科学院物理研究所
发明人：于国强 , 郭鹏 , 韩秀峰 , 郭朝晖 , 孙晓玉 , 周向前
IPC分类号： G03F7/20 , G01R31/00
CPC分类号： H01F7/20 , B82Y40/00 , H01F3/00 , H01J37/147 , H01J2237/152
摘要：一种纳米图形化系统及其磁场施加装置，该纳米图形化系统包括真空腔、样品台和磁场施加装置，该磁场施加装置包括电源、磁场产生装置和一对磁极，所述磁场产生装置包括线圈和导磁软铁芯，所述电源与所述线圈连接，所述线圈缠绕在所述导磁软铁芯上以产生磁场，所述导磁软铁芯为半闭合框形结构，所述磁极分别安装在所述半闭合框形结构的两末端，所述纳米图形化系统的真空腔内设置有样品台，所述磁极相对于所述样品台设置在所述真空腔内，所述线圈和所述导磁软铁芯设置在所述真空腔外，所述导磁软铁芯将所述线圈产生的磁场引导进入所述真空腔内，所述磁极用以对所述样品台上的样品进行定位以及局域磁场的施加。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式