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    • 2. 发明专利
    • 高周波回路及びアンテナ装置
    • 高频电路和天线装置
    • JP2015133485A
    • 2015-07-23
    • JP2014250999
    • 2014-12-11
    • 三菱電機株式会社
    • 森本 康夫大和田 哲湯浅 健田原 志浩森本 卓男
    • H01Q21/06H01Q1/38H01Q1/52H01L23/12
    • H01L2224/18H01L2224/48091
    • 【課題】アレーアンテナ特性の劣化を招くことなく、大規模なフェーズドアレーアンテナの構築を実現することができるようにする。 【解決手段】半導体ウェハ2と、絶縁膜と導体パターンのうち、少なくとも1つを含んでいる再配線層6と、その再配線層6に形成され、外部高周波回路1と接続される入出力端子7とを備え、その再配線層6は半導体ウェハ2の上に形成され、その半導体ウェハ2は半導体プロセスにおける露光単位で形成されるレティクル5を複数備え、複数のレティクル5の中のいずれか1つのレティクル5と入出力端子7を接続する配線9を再配線層6に備える。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供能够构成大规模相控阵天线的高频电路,而不会引起阵列天线的任何劣化。解决方案:高频电路包括:半导体晶片2; 包括绝缘体膜和导体图案中的至少一种的再布线层6; 形成在再布线层6上并连接到外部高频电路1的输入/输出端子7.重新布线层6形成在半导体晶片2上。半导体晶片2包括多个标线5, 在半导体工艺中形成有曝光单元。 再布线层6包括:多个标线片5中的任一个掩模版5; 以及连接到输入/输出端子7的布线9。
    • 3. 发明专利
    • 出力電力制御装置
    • JPWO2019013062A1
    • 2019-07-11
    • JP2018025319
    • 2018-07-04
    • 三菱電機株式会社
    • 西原 淳森本 卓男野々村 博之湯之上 則弘
    • H03G3/30
    • 出力電力制御装置は、発振器から出力された高周波信号の電力を減衰させて出力する減衰器と、減衰器から出力された高周波信号の電力を増幅させて出力する高周波電力増幅器と、高周波電力増幅器から出力された高周波信号の電力をモニタしモニタ信号を出力するモニタ回路と、モニタ回路から出力されたモニタ信号に基づいて又はデータ部からの減衰量設定データに基づいて減衰器の減衰量を制御する制御部と、を備え、発振器はトリガ信号に同期した高周波信号を生成すると共に、制御部はトリガ信号に同期して、減衰量設定データに基づいて生成した減衰量制御信号を用いて減衰器の減衰量の制御を開始し、モニタ信号が入力した後はモニタ信号に基づいて生成した減衰量制御信号を用いて減衰器の減衰量を制御する。このようにして、高周波電力増幅器の出力電力の立上り時から、安定した出力電力を出力する出力電力制御装置を得る。
    • 8. 发明专利
    • ウィルキンソン型分配器及び高周波回路
    • 威尔逊分频器和高频电路
    • JP2015220727A
    • 2015-12-07
    • JP2014105398
    • 2014-05-21
    • 三菱電機株式会社
    • 森本 康夫大和田 哲田原 志浩森本 卓男
    • H01L23/12H01P5/19
    • 【課題】サイズの小形化、挿入損失の低減化及び高周波特性の安定化を図ることができるウィルキンソン型分配器及び高周波回路を得ることを目的とする。 【解決手段】外部回路接続端子11と出力端子25aの間に接続される4分の1波長の長さを有する伝送線路14aと、外部回路接続端子11と出力端子25bの間に接続される4分の1波長の長さを有する伝送線路14bと、出力端子25aと出力端子25bの間に接続される抵抗体23とを備え、抵抗体23が集積回路1に形成され、伝送線路14a,14bが再配線層4に形成されるように構成する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:获得能够减小尺寸,降低插入损耗并稳定在高频特性中的Wilkinson分离器; 和高频电路。解决方案:Wilkinson分压器包括:连接在外部电路连接端子11和输出端子25a之间并具有1/4波长的长度的传输线14a; 连接在外部电路连接端子11和输出端子25b之间并具有1/4波长长度的传输线14b; 连接在输出端子25a和输出端子25b之间的电阻器23。 电阻器23形成在集成电路1中,传输线14a,14b形成在再布线层4中。