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    • 4. 发明专利
    • 熱處理方法及熱處理裝置
    • 热处理方法及热处理设备
    • TW201535526A
    • 2015-09-16
    • TW104105453
    • 2015-02-17
    • 斯克林集團公司SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
    • 藤田浩FUJITA, HIROSHI木村貴弘KIMURA, TAKAHIRO
    • H01L21/324H01L21/67
    • 本發明提供一種熱處理方法及熱處理裝置,可以在不對基材造成損傷的情况下將形成在基材上的加熱對象物升溫到目標溫度。藉由送出輥及捲取輥,以輥對輥方式來搬送樹脂的基材。在基材的表面的一部分上形成有功能層。對基材中包含必須抑制升溫的升溫抑制區域的供給區域,由噴出頭噴出並供給純水的液滴。若從閃光燈對基材的表面照射閃光,則將功能層升溫到升溫目標溫度,另一方面,在基材的升溫抑制區域中,水蒸發時吸收蒸發熱,因此超過水的沸點的升溫得到抑制。結果,可以在不對基材造成損傷的情况下將形成在基材上的功能層升溫到目標溫度。
    • 本发明提供一种热处理方法及热处理设备,可以在不对基材造成损伤的情况下将形成在基材上的加热对象物升温到目标温度。借由送出辊及卷取辊,以辊对辊方式来搬送树脂的基材。在基材的表面的一部分上形成有功能层。对基材中包含必须抑制升温的升温抑制区域的供给区域,由喷出头喷出并供给纯水的液滴。若从闪光灯对基材的表面照射闪光,则将功能层升温到升温目标温度,另一方面,在基材的升温抑制区域中,水蒸发时吸收蒸发热,因此超过水的沸点的升温得到抑制。结果,可以在不对基材造成损伤的情况下将形成在基材上的功能层升温到目标温度。