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    • 1. 发明公开
    • 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치
    • 光学尺寸/形状/表面粗糙度测量装置
    • KR1019990007666A
    • 1999-01-25
    • KR1019980043687
    • 1998-10-19
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근정창진김승우강민구박민철
    • G01B11/00
    • 본 발명은 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정과 3차원 형상/표면조도측정기능이 일체적으로 구비된 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치에 관한 것으로, 측정유니트(30)의 구성요소인 광학계는 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 제 1광학계(50)와 3차원 형상/표면조도측정을 위한 Z축방향의 미세변위를 위한 PZT액츄에이터(52a)를 포함하는 제 2광학계(52b)가 회동가능한 터렛(48)상에 일체로 구성되고, 측정/제어유니트(10)에는 상기 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정/3차원 치수측정의 방식의 선택과 그 선택된 측정방식에 대응하는 측정결과연산을 행하는 물체측정연산부(120)와, 상기 측정방식의 과정을 설정하기 위한 화면데이터와 측정결과가 저장되는 데이터메모리(122), 상기 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 프로그램이 저장된 2차원 치수측정프로그램저장부(124) 및, 상기 측정대상물체(P)에 대한 3차원 형상/표면조도의 측정을 위한 측정프로그램등록부(126)가 통합적으로 구성되어, 상기 측정대상물체(P)에 대해 2차원 치수측정 또는 3차원 형상/표면조도측정이 선택적으로 또는 호환적으로 실행될 수 있도록 된 것이다.
    • 2. 发明授权
    • 모아레무늬 발생기를 적용한 위상천이 영사식 모아레방법및 장치
    • 모아레무늬발생기를적용한위상천이영사식모아레방법및장
    • KR100389017B1
    • 2003-06-25
    • KR1020000069549
    • 2000-11-22
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근김승우이상윤정창진최이배조영식박경근
    • H04N13/00
    • G01B11/2527
    • An apparatus and method for measuring a three-dimensional shape of an object using a projection moiré device. The method comprises the steps of obtaining a grid pattern image projected on a reference plane of a moving table and applying a buckets algorithm thereto, thereby achieving a reference phase, obtaining a grid pattern image projected on the object set on the moving table and applying a buckets algorithm thereto, thereby achieving an object phase, calculating a difference phase between the object phase and the reference phase, thereby achieving a moiré phase, and unwrapping the moiré phase, thereby achieving a level information of the object. The apparatus and method measure the three-dimensional shape using a projection grid without a reference grid, thereby achieving compactness of equipment, simplicity in usage and manufacturing cost reduction.
    • 一种用于使用投影莫尔条纹来测量物体的三维形状的设备和方法; 设备。 该方法包括以下步骤:获得投影在移动台的参考平面上的网格图案图像,并对其应用分块算法,从而实现参考相位;获得投影在设置在移动台上的对象上的网格图案图像, 从而实现目标相位,计算目标相位和参考相位之间的差分相位,从而实现云纹; 阶段,并解开moiré 阶段,从而实现对象的等级信息。 该装置和方法使用没有参考栅格的投影栅格来测量三维形状,由此实现设备的紧凑性,使用简单性和制造成本降低。
    • 3. 发明授权
    • 반사거울과 슬릿빔을 이용한 임의 표면형상 계측장치
    • 一种使用反射镜和狭缝光束的任意表面形状测量装置
    • KR100344244B1
    • 2002-07-24
    • KR1020000024231
    • 2000-05-06
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근이상윤김승우오정택정창진
    • G01B11/24
    • 본 발명은 슬릿빔과 영상획득장치를 이용하여 피측정물의 3차원 형상을 추출하는 계측기기에 관한 것으로, 특히 하나의 슬릿빔과 한 대의 영상획득장치, 반사거울을 이용하여 피측정물의 전체 표면형상을 추출하는 계측기기에 관한 것이다.
      본 계측기기는 피측정물의 앞면 방향에 설치된 슬릿빔 발생기에서 슬릿빔을 피측정물의 윗쪽면에 주사하면, 주사된 슬릿빔은 피측정물의 표면형상에 따라 변형을 일으키고, 이것을 피측정물의 일정각도 위쪽에 설치된 영상획득장치로 상기 슬릿빔의 변형형상을 영상으로 획득한 후, 슬릿빔 발생기와 영상획득장치의 각도, 슬릿빔의 변형정보등을 이용하여 피측정물의 표면형상을 추출한다. 본 계측기기의 특징은 하나의 슬릿빔 발생기와 한 대의 영상획득장치를 이용하여 피측정물의 형상을 추출하되, 피측정물의 앞면에 놓인 슬릿빔 발생기에서 슬릿빔을 주사할 때, 상기 슬릿빔이 주사될 수 없는 영역인 피측정물 옆면의 표면형상을 추출하기 위해 반사거울을 채용함으로써, 반사된 상을 형상추출에 이용한다. 상기 방식은 일직선의 슬릿빔이 반사거울에 입사된 후, 상기 입사된 슬릿빔이 반사되어 피측정물의 옆면에 주사되고, 피측정물의 옆면에 표면형상에 따라 변형된 슬릿빔은, 피측정물의 상과 함께 반사거울에 나타난다.
    • 4. 发明公开
    • 모아레무늬 발생기를 적용한 위상천이 영사식 모아레방법및 장치
    • 测量适用于轮廓图发生器的相位移位型投射型光纤的方法及其装置
    • KR1020020039583A
    • 2002-05-27
    • KR1020000069549
    • 2000-11-22
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근김승우이상윤정창진최이배조영식박경근
    • H04N13/00
    • G01B11/2527
    • PURPOSE: A method of measuring phase shift projection-type moire applying a moire pattern generator is provided to obtain a reference phase of a reference surface and an object phase of a measured material by using a projective lattice only, and to obtain a moire phase by operating the measured object phase and the reference phase. CONSTITUTION: A step of obtaining a reference phase comprises as follows. A projective lattice is irradiated on a reference surface(S100). As moving the projective lattice, an image is obtained(S110). A bucket algorithm applies the image of the projective lattice(S120). By applying the bucket algorithm, the reference phase is obtained(S130). A step of obtaining an object phase comprises as follows. The projective lattice is irradiated on a measured material(S150). As moving the projective lattice, an image is obtained(S160). A bucket algorithm applies the image(S170). By applying the bucket algorithm, the object phase is gained(S180). A step of calculating height of the measured material comprises as follows. A difference between the object phase and the reference phase is gained(S200). A moire phase is gained from the difference(S210). The moire phase is unlapped(S220). The height of the measured material is calculated by using the unlapped result(S230).
    • 目的:提供一种测量施加莫尔图案发生器的相移投影型莫尔条纹的方法,以通过仅使用投影格以获得测量材料的参考表面和物体相位的参考相位,并通过 操作测量的物体相位和参考相位。 构成:获得参考阶段的步骤包括如下。 将投影格子照射在基准面上(S100)。 移动投影格,得到图像(S110)。 桶算法应用投影格的图像(S120)。 通过应用桶算法,获得参考相位(S130)。 获得目标阶段的步骤包括如下。 将投射晶格照射在测量材料上(S150)。 移动投影格,得到图像(S160)。 桶算法应用图像(S170)。 通过应用桶算法,获得对象阶段(S180)。 测量材料的计算高度的步骤如下。 获得目标相位和参考相位之间的差异(S200)。 从差异中获得莫尔相(S210)。 莫尔相是松散的(S220)。 通过使用未打开的结果计算测量材料的高度(S230)。
    • 5. 发明公开
    • 반사거울과 슬릿빔을 이용한 임의 표면형상 계측장치
    • 用MIRRORS和SLIT BEAMS测量某些表面形状的装置
    • KR1020000053900A
    • 2000-09-05
    • KR1020000024231
    • 2000-05-06
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근이상윤김승우오정택정창진
    • G01B11/24
    • PURPOSE: An apparatus for measuring a certain surface shape with mirrors and slit beams is provided to obtain a foot shape by scanning slit beams to the front and side surfaces of a foot with a single slit beam generator and mirrors and gaining the transformed shape of slit beams with the mirrors. CONSTITUTION: A couple of mirrors(4,5) on both sides of an object(1) show left/right shapes(1') of the object(1). A part of slit beams of a slit beam generator is projected(10a,10f) into the mirrors(4,5) and another part is displayed in a straight line(10b,10d) as the original form. The other part is projected into the front face of the object(1) to be shown in a transformed form(10c) having a surface shape data. The (10a) and (10f) show that the slit beams of a single straight line form are changed into various forms depending on each surface shape. The (10a) and (10f) are projected into the side surfaces of the object(1) and shown as transformed forms(11a,11b) including the surface shape data. The transformed slit beams are formed as phases on the mirrors(4,5) together with slit beam phases(11a',11b').
    • 目的:提供一种用反射镜和狭缝光束测量某种表面形状的装置,通过用单个狭缝光束发生器和反射镜将狭缝光束扫描到脚的前侧和侧面以获得脚形,并获得狭缝的变形形状 梁与镜子。 构成:物体(1)两侧的几个反射镜(4,5)显示物体(1)的左/右形状(1')。 狭缝梁发生器的狭缝梁的一部分(10a,10f)投射到反射镜(4,5)中,另一部分以直线(10b,10d)作为原始形式显示。 另一部分投影到物体(1)的前表面,以具有表面形状数据的变换形式(10c)示出。 (10a)和(10f)示出了根据每个表面形状将单个直线形式的狭缝光束变成各种形式。 (10a)和(10f)投影到物体(1)的侧表面,并且被示出为包括表面形状数据的变形形式(11a,11b)。 变换的狭缝光束与狭缝光束相(11a',11b')一起形成在反射镜(4,5)上的相位。
    • 7. 发明公开
    • 마이크로 머신기술로 제작된 멀티미러 어레이의 평가계측장비
    • 微型多镜阵列的评估测量设备
    • KR1020010100724A
    • 2001-11-14
    • KR1020000024233
    • 2000-05-06
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근이상윤김승우정창진강민구
    • G01N21/01
    • G01N21/01G01N2201/0612G01N2201/0636
    • 본 발명은 프로젝션 텔레비전의 핵심부품인 마이크로 멀티미러 어레이(Micro multi-mirror array)를 평가하는 기기에 관한 것으로, 특히 마이크로 멀티미러 어레이의 각 미러소자가 정확히 작동하는지를 검사하기 위해 여러 각도에서 레이저를 입사시킨 후, 각 미러소자가 반사하는 빛을 CCD 카메라로 획득하여 그 결과를 분석함으로써, 각 미러소자가 정상적으로 작동하는지 여부를 판단하고, 결과로서 멀티미러의 사용여부를 결정하는 멀티미러 어레이 계측장치에 관한 것이다. 마이크로 멀티미러 어레이는 프로젝션 텔레비전에 있어서, 광량의 손실이 많은 투과형의 단점을 개선하기 위해 반사형의 형태로 개발된 것으로 밝고 선명한 화질을 기대할 수 있다. 영상정보를 포함하는 빛을 멀티미러에 입사시키고 각 멀티미러의 소자로부터 반사되는 빛을 이용하여 영상을 만들면, 빛의 손실이 거의 없기 때문에 밝고 선명한 화질을 기대할 수 있다. 이때 각 멀티미러의 소자는 하나의 화소에 대응되고 각 화소의 밝기는 각 멀티미러 소자의 반사각도 혹은, 일정시간당 반사횟수를 제어하여 결정되는데, 만약 하나의 미러소자라도 제어가 불가능하면 그에 대응하는 화소는 정확한 영상을 구현할 수 없어 사용할 수 없게 된다. 따라서 각 미러소자가 정확히 작동하는지 여부를 확인하는 작업은 필수적이다.
    • 8. 发明授权
    • 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치
    • KR100284080B1
    • 2001-03-02
    • KR1019980043687
    • 1998-10-19
    • (주) 인텍플러스
    • 임쌍근정창진김승우강민구박민철
    • G01B11/00
    • 본 발명은 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정과 3차원 형상/표면조도측정기능이 일체적으로 구비된 광학식 치수/형상/표면조도 측정장치에 관한 것으로, 측정유니트(30)의 구성요소인 광학계는 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 제 1광학계(50)와 3차원 형상/표면조도측정을 위한 Z축방향의 미세변위를 위한 PZT액츄에이터(52a)를 포함하는 제 2광학계(52b)가 회동가능한 터렛(48)상에 일체로 구성되고, 측정/제어유니트(10)에는 상기 측정대상물체에 대한 2차원 치수측정/3차원 치수측정의 방식의 선택과 그 선택된 측정방식에 대응하는 측정결과연산을 행하는 물체측정연산부(120)와, 상기 측정방식의 과정을 설정하기 위한 화면데이터와 측정결과가 저장되는 데이터메모리(122), 상기 측정대상물체(P)의 2차원 치수측정을 위한 프로그램이 저장된 2차원 치수측정프로그램저장부(124) 및, 상기 측정대상물체(P)에 대한 3차원 형상/표면조도의 측정을 위한 측정프로그램등록부(126)가 통합적으로 구성되어, 상기 측정대상물체(P)에 대해 2차원 치수측정 또는 3차원 형상/표면조도측정이 선택적으로 또는 호환적으로 실행될 수 있도록 된 것이다.