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    • 4. 发明公开
    • 반도체검사장치의 로딩부 적층 안내 장치
    • 半导体检测装置装载指南装置
    • KR1020070012001A
    • 2007-01-25
    • KR1020050066777
    • 2005-07-22
    • (주) 인텍플러스
    • 김윤수강민구최호근이상윤임쌍근
    • H01L21/68H01L21/66
    • A loading guide apparatus of a semiconductor inspection apparatus is provided to accurately and rapidly adjust a position of a slant mount with respect to a tray by using a fastening unit, when an operation error is detected during a vision inspection process. A semiconductor inspection apparatus includes a loading unit having a normal guide unit and a slant guide unit(5). The normal guide corresponds to rectangular edges of a tray, such that trays are mounted on the loading unit in the same direction. The slant guide unit corresponds to one of slant edges of the tray. The slant guide unit is configured, such that a slant mount(52) is horizontally moved when a fastening unit(53) is fastened or released. The slant mount covers a cut portion of the tray according to a cut size of the tray, which is loaded on the loading unit. The slant guide unit includes a vertical unit, a slant unit, and a fastening unit.
    • 半导体检查装置的装载引导装​​置被设置成当在视觉检查过程中检测到操作错误时,通过使用紧固单元来准确地并且快速地调整倾斜安装件相对于托盘的位置。 半导体检查装置包括具有正常导向单元和倾斜导向单元(5)的装载单元。 正常引导件对应于托盘的矩形边缘,使得托盘沿着相同的方向安装在加载单元上。 倾斜导向单元对应于托盘的一个倾斜边缘。 倾斜导向单元构造成使得当紧固单元(53)被紧固或释放时,倾斜安装件(52)水平移动。 根据装载在装载单元上的托盘的切割尺寸,倾斜安装件覆盖托盘的切割部分。 倾斜导向单元包括垂直单元,倾斜单元和紧固单元。
    • 6. 发明授权
    • 반도체검사장치의 로딩부 적층 안내 장치
    • 装载半导体检查装置的引导装置
    • KR100675860B1
    • 2007-01-30
    • KR1020050066777
    • 2005-07-22
    • (주) 인텍플러스
    • 김윤수강민구최호근이상윤임쌍근
    • H01L21/68H01L21/66
    • 본 발명은 반도체패키지의 불량 유무를 검사하는 반도체검사장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 검사 장치의 로딩부에 트레이가 정상적으로 탑재되도록 하는 반도체검사장치의 로딩부 적층 안내 장치에 관한 것이다.
      본 발명에 따른 반도체검사장치의 로딩부 적층 안내 장치는 반도체 검사를 수행하기 위해 검사 장치로 공급되는 트레이들이 동일 방향으로 탑재되게 상기 트레이의 모서리 중 하나의 경사 모서리에 대응하는 경사 가이드부와 상기 트레이의 직각 모서리에 대응하는 직각 가이드부로 이루어진 가이드 수단이 구비된 로딩부를 포함하는 반도체 검사 장치에 있어서, 상기 경사 가이드부는 상기 로딩부에 탑재되는 트레이의 경사 모서리의 모 따진 크기에 따라 트레이의 모 따진 부분을 커버하는 경사대가 조임 수단의 조임 또는 풀림에 의해 수평 이동되게 구성됨을 특징으로 한다.
      반도체검사장치, 트레이, 적층, 탑재, 모 따기