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1. 发明申请

WO2011036033A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNGEN ZUR BESTIMMUNG VON ORIENTIERUNG UND POSITION EINES OBJEKTS 审中-公开
标题翻译：方法和设备对象的厘定方向和位置
公开(公告)号：WO2011036033A1
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：PCT/EP2010/062636
申请日：2010-08-30
申请人： CARL ZEISS AG , CARL ZEISS INDUSTRIELLE MESSTECHNIK GMBH , HOELLER, Frank , TREMONT, Marc , SCHMIDT, Oliver , WAGENER, Marc , KOOS, Christian
发明人： HOELLER, Frank , TREMONT, Marc , SCHMIDT, Oliver , WAGENER, Marc , KOOS, Christian
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B11/002
摘要： Es werden Verfahren und Vorrichtungen bereitgestellt, bei denen eine Position an einem Abschnitt (31) einer Mehrachskinematik (2) durch eine optische Messung bestimmt wird und die Orientierung des Abschnitts (31) basierend auf Steuerdaten der Mehrachskinematik (2) erhalten wird. Bei anderen Ausführungsbeispielen können Position und Orientierung von anderen Objekten bestimmt werden und/oder andere Daten als Steuerdaten zur Bestimmung der Orientierung verwendet werden.
摘要翻译：它在其中一个位置是在通过光学测量一个Mehrachskinematik（2）的部分（31），以及基于（2）获得的所提供的方法和装置的Mehrachskinematik的控制数据的部分（31）的方位来确定。在其它实施方案中，其它对象的位置和取向可以被确定和/或其它数据被用作控制数据，用于确定方位。

2. 发明申请

WO2010025845A3 DEVICE AND METHOD FOR DETERMINING AN OBJECT POSITION 审中-公开
标题翻译：设备和方法确定财产地位
公开(公告)号：WO2010025845A3
公开(公告)日：2010-05-27
申请号：PCT/EP2009006106
申请日：2009-08-22
申请人： ZEISS CARL AG , ALVAREZ DIEZ CRISTINA , HOELLER FRANK , SPRUCK BERND , TREMONT MARC
发明人： ALVAREZ DIEZ CRISTINA , HOELLER FRANK , SPRUCK BERND , TREMONT MARC
IPC分类号： G01S17/10
CPC分类号： G01B11/14 , G01S5/16 , G01S7/486 , G01S17/10 , G01S2013/466
摘要： The invention relates to a device for determining a position of an object (25) in a spatial area (28), comprising a light source (3), a light guiding device (4-9), at least one reference signal detector (11, 12) and a detector system (13, 14). The light source (3) generates a sequence of light pulses having a repetition rate. The light guiding device (4-9) guides the sequence of light pulses into the spatial area (28) and, as a reference signal (20), towards the at least one reference signal detector (11, 12). The detector system (13, 14) detects a plurality of light signals (23, 24) which are reflected and/or scattered by the object (25) in the spatial area (28) in a plurality of different directions by reflection and/or scattering of the sequence of light pulses. The evaluation circuit (15) is coupled to the detector system (13, 14) and the at least one reference signal detector (11, 12) and determines a phase difference (67) between the reference signal (20) and a signal component of at least one light signal (23, 24). The phase difference is determined based on the signal component having a frequency that corresponds to a multiple of the repetition rate.
摘要翻译：一种用于在空间（28）确定对象（25）的位置的装置包括：一个光源（3），一个光导向设备（4-9），至少一个参考信号检测器（11，12）和一个检测器装置（13，14）。所述光源（3）产生具有重复频率的光脉冲序列。光引导装置（4-9）引导光脉冲序列到所述空间（28）和参考信号（20）到所述至少一个参考信号检测器（11，12）。探测器装置（13，14）检测通过的光脉冲序列的反射和/或散射的物体（25）的空间区域（28）中的多个光信号（23，24）反映在多个不同的方向和/或散。评估电路（15）被连接到所述检测器装置（13，14）以及耦合到所述至少一个参考信号检测器（11，12），并检测基准信号（20）和至少一个光信号（23，24）的信号分量之间的相位差（67）。相位差是基于具有对应于所述重复频率的倍数的频率上的信号分量来确定。

3. 发明申请

WO2010025847A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM VERMESSEN EINER OBERFLÄCHE 审中-公开
标题翻译：装置和方法用于测量表面
公开(公告)号：WO2010025847A2
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：PCT/EP2009/006108
申请日：2009-08-22
申请人： CARL ZEISS AG , ALVAREZ DIEZ, Cristina , HÖLLER, Frank , SPRUCK, Bernd , TREMONT, Marc
发明人： ALVAREZ DIEZ, Cristina , HÖLLER, Frank , SPRUCK, Bernd , TREMONT, Marc
IPC分类号： G01B11/00
CPC分类号： G01B11/002 , G01B11/24 , G01S7/4817 , G01S17/10 , G01S2013/466
摘要： Eine Vorrichtung zum Vermessen einer Oberfläche (2) umfasst eine Lichtquelle (3), eine Lichtlenkeinrichtung (4-6), eine Detektoranordnung (10) und eine Auswerte- Schaltung (15). Die Lichtquelle (3) erzeugt eine Folge von Lichtpulsen mit einer Repetitionsrate. Die Lichtlenkeinrichtung (4-6) ist kontrollierbar, um die Folge von Lichtpulsen auf einen Oberflächenbereich (25) der Oberfläche (2) zu lenken. Der Oberflächenbereich kann aus mehreren Oberflächenbereichen (25, 27) ausgewählt werden. Die Detektoranordnung ist eingerichtet, um wenigstens ein von dem Oberflächenbereich (25) gestreutes und/oder reflektiertes Lichtsignal (21 -24) zu empfangen. Die Auswerteschaltung (15) ist mit der Detektoranordnung (10) gekoppelt und eingerichtet, um zum Bestimmen einer Position des Oberflächenbereichs (25) eine Phasendifferenz zwischen einem aus der Folge von Lichtpulsen abgeleiteten Referenzsignal (19) und einer Signalkomponente des wenigstens einen Lichtsignals (21 -24) zu ermittein. Dabei wird die Phasendifferenz für die Signalkomponente ermittelt, die eine Frequenz aufweist, die einem Vielfachen der Repetitionsrate entspricht.
摘要翻译：用于测量表面（2）的装置，包括一个光源（3），一个光导向设备（4-6），一个检测器装置（10）和分析电路（15）。所述光源（3）产生具有重复频率的光脉冲序列。光引导装置（4-6）是可控的，以光脉冲的序列引导至表面（2）的表面积（25）。表面积可以由（25，27）被选择几个表面部分。检测器阵列被布置为接收（25）的表面区域中的至少一个散射和/或反射的光信号（21 -24）。耦合到所述检测器阵列（10）和布置成用于确定表面区域（25）之间的距离的光脉冲序列的参考信号（19）和的信号分量的相位差的位置处的评估电路（15）至少（一个光信号21 - ermittein〜24）。对于具有对应于所述重复频率的倍数的频率上的信号分量被检测到的相位差。

4. 发明申请

WO2010025845A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESTIMMEN EINER OBJEKTPOSITION 审中-公开
标题翻译：用于确定对象位置的装置和方法
公开(公告)号：WO2010025845A2
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：PCT/EP2009/006106
申请日：2009-08-22
申请人： CARL ZEISS AG , ALVAREZ DIEZ, Cristina , HÖLLER, Frank , SPRUCK, Bernd , TREMONT, Marc
发明人： ALVAREZ DIEZ, Cristina , HÖLLER, Frank , SPRUCK, Bernd , TREMONT, Marc
IPC分类号： G01S17/10
CPC分类号： G01B11/14 , G01S5/16 , G01S7/486 , G01S17/10 , G01S2013/466
摘要： Eine Vorrichtung zum Bestimmen einer Position eines Objekts (25) in einem Raumbereich (28) umfasst eine Lichtquelle (3), eine Lichtlenkeinrichtung (4-9), wenigstens einen Referenzsignaldetektor (11, 12) und eine Detektoranordnung (13, 14). Die Lichtquelle (3) erzeugt eine Folge von Lichtpulsen mit einer Repetitionsrate. Die Lichtlenkeinrichtung (4-9) lenkt die Folge von Lichtpulsen in den Raumbereich (28) und als Referenzsignal (20) zu dem wenigstens einen Referenzsignaldetektor (11, 12). Die Detektoranordnung (13, 14) erfasst eine Mehrzahl von Lichtsignalen (23, 24), die in dem Raumbereich (28) von dem Objekt (25) durch Reflexion und/oder Streuung der Folge von Lichtpulsen in eine Mehrzahl unterschiedlicher Richtungen reflektiert und/oder gestreut werden. Die Auswerteschaltung (15) ist mit der Detektoranordnung (13, 14) und dem wenigstens einen Referenzsignaldetektor (11, 12) gekoppelt und ermittelt eine Phasendifferenz (67) zwischen dem Referenzsignal (20) und einer Signalkomponente wenigstens eines Lichtsignals (23, 24). Die Phasendifferenz wird basierend auf der Signalkomponente bestimmt, die eine Frequenz aufweist, die einem Vielfachen der Repetitionsrate entspricht.
摘要翻译：
一种用于在空间确定对象（25）的定位装置（28）包括光源（3），一个光导向设备（4-9），至少一个参考信号检测器（11，12）和一个检测器装置（13,14）。光源（3）以重复频率产生一系列光脉冲。光引导装置（4-9）引导光脉冲序列到所述空间（28）和参考信号（20）到所述至少一个参考信号检测器（11，12）。探测器装置（13，14）检测通过的光脉冲序列的反射和/或散射的物体（25）的空间区域（28）中的多个光信号（23，24）反映在多个不同的方向和/或散乱。评估电路（15）被连接到所述检测器装置（13，14）以及耦合到所述至少一个参考信号检测器（11，12），并检测基准信号（20）和至少一个光信号（23，24）的信号分量之间的相位差（67）。根据频率为重复频率倍数的信号分量确定相位差。

5. 发明申请

WO2010025847A3 DEVICE AND METHOD FOR MEASURING A SURFACE 审中-公开
标题翻译：用于测量表面的装置和方法
公开(公告)号：WO2010025847A3
公开(公告)日：2010-10-28
申请号：PCT/EP2009006108
申请日：2009-08-22
申请人： ZEISS CARL AG , ALVAREZ DIEZ CRISTINA , HOELLER FRANK , SPRUCK BERND , TREMONT MARC
发明人： ALVAREZ DIEZ CRISTINA , HOELLER FRANK , SPRUCK BERND , TREMONT MARC
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/24 , G01S17/89
CPC分类号： G01B11/002 , G01B11/24 , G01S7/4817 , G01S17/10 , G01S2013/466
摘要： A device for measuring surface (2) comprises a light source (3), a light guiding device (4-6), a detector system (10) and an evaluation circuit (15). The light source (3) generates a sequence of light pulses having a repetition rate. The light guiding device (4-6) can be controlled to guide the sequence of light pulses onto a surface area (25) of the surface (2). The surface area can be selected from a plurality of surface areas (25, 27). The detector system is adapted to receive at least one light signal (21-24) which is scattered and/or reflected by the surface area (25). The evaluation circuit (15) is coupled to the detector system (10) and is adapted to determine a phase difference between the reference signal (19) derived from the sequence of light pulses and a signal component of the at least one light signal (21-24) to determine a position of the surface area (25). The phase difference is determined for the signal component having a frequency that corresponds to a multiple of the repetition rate.
摘要翻译：一种用于测量表面（2）的装置包括光源（3），光偏转装置（4-6），检测器装置（10）和评估电路（15）。光源（3）以重复频率产生一系列光脉冲。光偏转器（4-6）是可控的，以将光脉冲串引导到表面（2）的表面区域（25）上。表面区域可以从多个表面区域（25,27）中选择。检测器装置被设置为接收由表面区域（25）散射和/或反射的至少一个光信号（21-24）。耦合到所述检测器阵列（10）和布置成用于确定表面区域（25）之间的距离的光脉冲序列的参考信号（19）和的信号分量的相位差的位置处的评估电路（15）至少（一个光信号21 - ermittein〜24）。在这种情况下，确定信号分量的相位差，其具有对应于重复率倍数的频率。

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