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    • 1. 发明申请
    • SUBSTRATWENDEEINRICHTUNG
    • 基板翻转装置
    • WO2013050805A1
    • 2013-04-11
    • PCT/IB2011/054403
    • 2011-10-06
    • ROTH & RAU AGMAI, JoachimOELSNER, DanielRICHTER, ThiloHELBIG, ThomasEISMANN, Lutz
    • MAI, JoachimOELSNER, DanielRICHTER, ThiloHELBIG, ThomasEISMANN, Lutz
    • H01L21/687H01L21/677H01L21/67
    • H01L21/68721H01L21/67173H01L21/67718
    • Die vorliegende Erfindung betrifft eine Substratwendeeinrichtung für eine Substratbearbeitungsanlage zur Bearbeitung von plattenförmigen Substraten, wobei die Substratbearbeitungsanlage eine Durchlaufanlage mit wenigstens zwei Prozesskammern und wenigstens einer Trennkammer zwischen den Prozesskammern ist und wenigstens einen, in wenigstens einer Transportrichtung für die Substrate durch die Durchlaufanlage bewegbaren Substratträger mit mehreren, in einer horizontalen Ebene nebeneinander und/oder nacheinander angeordneten rahmenförmigen, innen offenen Trägerzellen zur Auflage jeweils eines Substrates an Substratrandbereichen aufweist. Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Substratwendeeinrichtung der genannten Gattung zur Verfügung zu stellen, bei welcher das Wenden der Substrate während ihres Durchlaufs auf einem Substratträger durch die Substratbearbeitungsanlage möglich ist, wobei der Energiebedarf beim Wenden der Substrate möglichst gering ist und die Substrate optimal bearbeitet werden können. Darüber hinaus soll die Substratbearbeitungsanlage mit einem möglichst geringen Footprint und geringen Herstellungskosten zur Verfügung gestellt werden können. Die Aufgabe wird durch eine Substratwendeeinrichtung der genannten Gattung gelöst, wobei in der Trennkammer wenigstens eine Wendestation vorgesehen ist, an welcher unter den Trägerzellen ein vertikal bewegbares oder ausfahrbares Substrathubsystem zum Heben und Absenken der Substrate aus bzw. in die Trägerzellen vorgesehen ist, und über den Trägerzellen ein Substratwendemechanismus mit relativ zueinander bewegbaren Halteelementen zum Halten der Substrate an zwei gegenüber liegenden Substratrandbereichen vorgesehen ist, wobei die Halteelemente oder Drehachsen der Halteelemente durch quer zu den Halteelementen oder den Drehachsen vorgesehene Verbindungselemente in Form eines Rahmens verbunden sind und der Rahmen um seine horizontale Mittelachse um wenigstens 180° drehbar ist.
    • 本发明通过具有多个传送带式系统可动基板载体涉及一种基板处理圆盘状基板的基板处理系统,其中,所述基板处理系统是具有至少两个处理室和处理腔室和至少一个之间的至少一个分离室连续系统转动装置,在所述基板的输送中的至少一个方向 彼此相邻在水平面内和/或设置一个用于在基片的边缘区域支承每个基片的框状的具有向内开口的支撑单元之后。 本发明的目的是提供一种上述类型是可用的,其特征在于,其通过所述基板处理系统的基板的载体,其中所述基板的转弯时所需的能量被最小化上通过时的基板的接触是可能的衬底转动装置,和最佳的基板 可以进行编辑。 除了基板处理系统可设置有一个最小的尺寸和制造成本低。 该目的通过上述类型,其特征在于,在所述分离室中提供至少一个旋转站,在该载体的细胞中提供了用于升高和降低基片进入或离开所述支撑单元的竖直移动的或可延伸Substrathubsystem的基板翻转装置来实现,并且在 是在两个相对的基板的边缘区域设置在基板转动机构具有相对可移动保持部件用于保持所述基片的载体的细胞,其中,所述保持元件的旋转的保持元件或轴由横向连接到保持元件或在帧的形式指定旋转连接部件的轴线和所述框架绕其水平中心轴 是由至少180°旋转。