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热词
    • 1. 发明专利
    • 太陽能電池
    • 太阳能电池
    • TW201622166A
    • 2016-06-16
    • TW104121344
    • 2015-07-01
    • 羅斯勞股份有限公司ROTH & RAU AG
    • 史卓姆 班傑明STRAHM, BENJAMIN雷瑞克 保利斯LEGRADIC, BORIS梅森伯格 傑米MEIXENBERGER, JEROME拉契諾 達曼LACHENAL, DAMIEN培彼特 皮爾PAPET, PIERRE
    • H01L31/0465H01L31/0224H01L31/0232
    • H01L31/02168H01L31/02167H01L31/022466H01L31/0747Y02E10/50
    • 本發明有關太陽能電池,具有用於光入射的正面及與該正面相反之背面,該太陽能電池包含:第一電導率型或第二電導率型的結晶質半導體基板,該第二電導率型係與該第一電導率型相反;正面鈍化區域,藉由該第一電導率型之至少一鈍化層及至少一導電層所形成;背面鈍化區域,藉由該第二電導率型之至少一鈍化層及至少一導電層所形成;正面接點,藉由僅只一正面導電材料、及藉由形成在該正面導電材料的頂部上之正面電接點所形成;至少一正面光耦接層,在該太陽能電池之正面上;背面接點,其係與該正面接點相反,且藉由背面導電材料及形成在其上的至少一背面電接點所形成。本發明之目的係提供上述型式之太陽能電池,在其正面具有較低的光吸收及較佳的抗反射性質。此目的係藉由該上述型式之太陽能電池所解決,其中該正面導電材料在該等正面電接點之間及/或該等正面電接點旁邊的區域中係比在該正面電接點下方的區域中較薄。
    • 本发明有关太阳能电池,具有用于光入射的正面及与该正面相反之背面,该太阳能电池包含:第一电导率型或第二电导率型的结晶质半导体基板,该第二电导率型系与该第一电导率型相反;正面钝化区域,借由该第一电导率型之至少一钝化层及至少一导电层所形成;背面钝化区域,借由该第二电导率型之至少一钝化层及至少一导电层所形成;正面接点,借由仅只一正面导电材料、及借由形成在该正面导电材料的顶部上之正面电接点所形成;至少一正面光耦接层,在该太阳能电池之正面上;背面接点,其系与该正面接点相反,且借由背面导电材料及形成在其上的至少一背面电接点所形成。本发明之目的系提供上述型式之太阳能电池,在其正面具有较低的光吸收及较佳的抗反射性质。此目的系借由该上述型式之太阳能电池所解决,其中该正面导电材料在该等正面电接点之间及/或该等正面电接点旁边的区域中系比在该正面电接点下方的区域中较薄。
    • 2. 发明专利
    • 異質觸點太陽能電池及其製造方法
    • 异质触点太阳能电池及其制造方法
    • TW201409727A
    • 2014-03-01
    • TW102116887
    • 2013-05-13
    • 羅斯勞股份有限公司ROTH & RAU AG
    • 希塔瑞拉 吉斯浦CITARELLA, GIUSEPPE溫許 法蘭克WUENSCH, FRANK爾曼 瑪帝斯ERDMANN, MATTHIAS范可 馬汀WEINKE, MARTIN
    • H01L31/042H01L31/0224
    • H01L31/0376H01L31/022425H01L31/022441H01L31/022466H01L31/022475H01L31/022483H01L31/065H01L31/072H01L31/0747H01L31/20Y02E10/50
    • 本發明涉及一種異質觸點太陽能電池,在其正面中設置有太陽光線的入口,帶有一由第一傳導類型的晶體半導體材料組成的吸收物;一設置在該異質觸點太陽能電池正面的、比該吸收物更高的、摻雜的、第一傳導類型的非晶半導體層;一在該第一傳導類型的摻雜的非晶半導體層的正面設置的、導電的、透明的正面傳導層;一位於該異質觸點太陽能電池正面上、具有彼此間隔開的多個觸點結構之正面接觸部;一在該異質觸點太陽能電池背面設置的、與該第一傳導類型相反的第二傳導類型的發射物;以及一在該異質觸點太陽能電池的背面上安排的背面接觸部。本發明還涉及一種用於製造此類異質觸點太陽能電池之方法。本發明目的係,提供一種異質觸點太陽能電池概念以及用於製造此類太陽能電池的技術,藉由它們可以消除由發射物導致的、在該異質觸點太陽能電池中的吸收損失並且進一步採用標準技術來製造異質觸點太陽能電池。這個目的一方面係藉由一異質觸點太陽能電池並且另一方面係藉由一種上述類別的方法來實現的,其中,背面接觸部具有一在該異質觸點太陽能電池背面的面積上延伸的背面接觸層;並且該正面傳導層具有在7×10-4至50×10-4 Ωcm的範圍內,較佳的是高於11×10-4 Ωcm,較佳的是高於14×10-4 Ωcm的比電阻。
    • 本发明涉及一种异质触点太阳能电池,在其正面中设置有太阳光线的入口,带有一由第一传导类型的晶体半导体材料组成的吸收物;一设置在该异质触点太阳能电池正面的、比该吸收物更高的、掺杂的、第一传导类型的非晶半导体层;一在该第一传导类型的掺杂的非晶半导体层的正面设置的、导电的、透明的正面传导层;一位于该异质触点太阳能电池正面上、具有彼此间隔开的多个触点结构之正面接触部;一在该异质触点太阳能电池背面设置的、与该第一传导类型相反的第二传导类型的发射物;以及一在该异质触点太阳能电池的背面上安排的背面接触部。本发明还涉及一种用于制造此类异质触点太阳能电池之方法。本发明目的系,提供一种异质触点太阳能电池概念以及用于制造此类太阳能电池的技术,借由它们可以消除由发射物导致的、在该异质触点太阳能电池中的吸收损失并且进一步采用标准技术来制造异质触点太阳能电池。这个目的一方面系借由一异质触点太阳能电池并且另一方面系借由一种上述类别的方法来实现的,其中,背面接触部具有一在该异质触点太阳能电池背面的面积上延伸的背面接触层;并且该正面传导层具有在7×10-4至50×10-4 Ωcm的范围内,较佳的是高于11×10-4 Ωcm,较佳的是高于14×10-4 Ωcm的比电阻。
    • 3. 发明专利
    • 用於基材及/或基材載體的清潔模組及清潔方法
    • 用于基材及/或基材载体的清洁模块及清洁方法
    • TW201321543A
    • 2013-06-01
    • TW101127212
    • 2012-07-27
    • 羅斯勞股份有限公司ROTH & RAU AG
    • 佛納 馬丁FALSNER, MARTIN強漢斯 羅賓JUNGHANS, ROBIN魏斯貝奇 史帝芬WEISSBACH, STEPHAN
    • C23C14/56C23C14/50C23C16/54
    • H01L21/67028
    • 本發明涉及一基材及/或基材載體清潔模組,該模組具有至少一個基材載體,該基材載體用於平放地接收至少一個平面式的基材;還涉及一對應的基材及/或基材載體清潔方法。為了能夠以低廉的成本頻繁且有效地清潔基材和基材載體,本發明的基材及/或基材載體清潔模組具有:一用於該基材載體的傳輸系統,該基材載體在該傳輸系統上在一水平的傳輸平面上在一傳輸方向上可移動穿過該基材及/或基材載體清潔模組;一電離性的氣幕產生設備,該基材載體在其下借助於該傳輸系統可移動穿過;以及一在基材載體的傳輸方向上在該電離性的氣幕產生設備之前、設置在該基材載體上方的顆粒抽吸設備。本發明的基材及/或基材載體清潔方法具有以下步驟:利用傳輸系統將基材載體通過一傳輸系統在一水平的傳輸平面中在一傳輸方向上移動穿過一基材及/或基材載體清潔模組;利用電離性的氣幕產生設備產生電離的氣幕,該氣幕指向該基材載體的一個表面,基材載體通過該傳輸系統在該電離性的氣幕產生設備之下移動穿過;利用在基材載體的傳輸方向上設置於電離性的氣幕產生設備之前且位於基材載體上方的顆粒抽吸設備從基材及/或該基材載體的表面抽吸顆粒基材基材基材基材。
    • 本发明涉及一基材及/或基材载体清洁模块,该模块具有至少一个基材载体,该基材载体用于平放地接收至少一个平面式的基材;还涉及一对应的基材及/或基材载体清洁方法。为了能够以低廉的成本频繁且有效地清洁基材和基材载体,本发明的基材及/或基材载体清洁模块具有:一用于该基材载体的传输系统,该基材载体在该传输系统上在一水平的传输平面上在一传输方向上可移动穿过该基材及/或基材载体清洁模块;一电离性的气幕产生设备,该基材载体在其下借助于该传输系统可移动穿过;以及一在基材载体的传输方向上在该电离性的气幕产生设备之前、设置在该基材载体上方的颗粒抽吸设备。本发明的基材及/或基材载体清洁方法具有以下步骤:利用传输系统将基材载体通过一传输系统在一水平的传输平面中在一传输方向上移动穿过一基材及/或基材载体清洁模块;利用电离性的气幕产生设备产生电离的气幕,该气幕指向该基材载体的一个表面,基材载体通过该传输系统在该电离性的气幕产生设备之下移动穿过;利用在基材载体的传输方向上设置于电离性的气幕产生设备之前且位于基材载体上方的颗粒抽吸设备从基材及/或该基材载体的表面抽吸颗粒基材基材基材基材。
    • 5. 发明专利
    • 處理模組
    • 处理模块
    • TW201343960A
    • 2013-11-01
    • TW102102647
    • 2013-01-24
    • 羅斯勞股份有限公司ROTH & RAU AG
    • 梅 喬琴MAI, JOACHIM穆勒 丹尼MUELLER, DANNY瑞斯克 塞巴斯汀RASCHKE, SEBASTIAN漢斯 安德瑞斯HEINZE, ANDREAS
    • C23C16/54H01J37/18H01J37/32
    • C23C16/50C23C16/45565C23C16/458C23C16/46C23C16/463H01L21/67173H01L21/67706H01L21/67751H01L21/6776
    • 本發明涉及一種處理模組,該處理模組具有至少一個位於該處理模組內的、能夠被抽真空的處理室,以及至少一個水平穿過該處理模組、能夠在至少一個基片傳輸方向移動的載體裝置,該載體裝置用於分別容納至少一個平面式的、將在該處理室內被加工的基片。本發明之目的在於,提出上述類型的處理模組,該處理模組能夠在大的生產速度下,使得在盡可能低的設備成本下能夠實現所有基片均勻且高質量的處理。該目的係藉由開篇所述類型的處理模組實現的,其中該至少一個處理室能夠藉由該載體裝置相對該處理模組實體地封閉,所述載體裝置的位置能夠在至少一個橫跨基片傳輸方向的關閉方向上改變,其中該至少一個載體裝置形成該至少一個處理室的一底部。
    • 本发明涉及一种处理模块,该处理模块具有至少一个位于该处理模块内的、能够被抽真空的处理室,以及至少一个水平穿过该处理模块、能够在至少一个基片传输方向移动的载体设备,该载体设备用于分别容纳至少一个平面式的、将在该处理室内被加工的基片。本发明之目的在于,提出上述类型的处理模块,该处理模块能够在大的生产速度下,使得在尽可能低的设备成本下能够实现所有基片均匀且高质量的处理。该目的系借由开篇所述类型的处理模块实现的,其中该至少一个处理室能够借由该载体设备相对该处理模块实体地封闭,所述载体设备的位置能够在至少一个横跨基片传输方向的关闭方向上改变,其中该至少一个载体设备形成该至少一个处理室的一底部。
    • 6. 发明专利
    • 太陽能電池以及用於製造太陽能電池之方法
    • 太阳能电池以及用于制造太阳能电池之方法
    • TW201312778A
    • 2013-03-16
    • TW101126625
    • 2012-07-24
    • 羅斯勞股份有限公司ROTH & RAU AG
    • 史卓姆 班傑明STRAHM, BENJAMIN拉契諾 達曼LACHENAL, DAMIEN格倫 克格伊GUERIN, CHLOE德斯克卓斯 安東尼DESCOEUDRES, ANTOINE德沃夫 史蒂凡DE WOLF, STEFAAN巴勞德 羅瑞斯BARRAUD, LORIS
    • H01L31/042H01L31/18
    • H01L31/1804H01L31/0747H01L31/1868Y02E10/547Y02P70/521
    • 本發明係關於一種太陽能電池,其具有一個晶體矽內晶片、至少一個n-或p-摻雜的矽或矽摻合物層、以及在該至少一個矽內晶片表面與該至少一個n-或p-摻雜的矽或矽摻合物層之間的至少一個由矽或矽摻合物組成的鈍化層。此外,本發明還係關於一種用於生產這類太陽能電池的方法。本發明的目的是,提供一種上述類型的太陽能電池,其優勢之處在於增大的開路電壓。另一個目的是提出一種用於生產此類太陽能電池的方法。這個目的一方面是透過上面所展現的類型的太陽能電池來實現的,其優勢之處在於,該鈍化層具有矽-單氫分子基團(Si-H)和二氫化矽分子基團(Si-H2),其中在該鈍化層的一個比較體積中,二氫化矽分子基團的數量(nSi-H2)對二氫化矽分子基團和一氫化矽分子基團((nSi-H2)+(nSi-H))總數的一個比值(Q)大於0.4, 。本發明的目的還是透過一種用於製造上面所述類型的太陽能電池的方法來實現的,其優勢之處在於,該鈍化層是在一種電漿放電方法的多個步驟中沉積的,使得所生產的鈍化層具有矽-單氫分子基團(Si-H)和二氫化矽分子基團(Si-H2)並且在一個比較體積中,二氫化矽分子基團的數量(nSi-H2)對二氫化矽分子基團和一氫化矽分子基團((nSi-H2)+(nSi-H))總數的一個比值大於0.4, 。
    • 本发明系关于一种太阳能电池,其具有一个晶体硅内芯片、至少一个n-或p-掺杂的硅或硅掺合物层、以及在该至少一个硅内芯片表面与该至少一个n-或p-掺杂的硅或硅掺合物层之间的至少一个由硅或硅掺合物组成的钝化层。此外,本发明还系关于一种用于生产这类太阳能电池的方法。本发明的目的是,提供一种上述类型的太阳能电池,其优势之处在于增大的开路电压。另一个目的是提出一种用于生产此类太阳能电池的方法。这个目的一方面是透过上面所展现的类型的太阳能电池来实现的,其优势之处在于,该钝化层具有硅-单氢分子基团(Si-H)和二氢化硅分子基团(Si-H2),其中在该钝化层的一个比较体积中,二氢化硅分子基团的数量(nSi-H2)对二氢化硅分子基团和一氢化硅分子基团((nSi-H2)+(nSi-H))总数的一个比值(Q)大于0.4, 。本发明的目的还是透过一种用于制造上面所述类型的太阳能电池的方法来实现的,其优势之处在于,该钝化层是在一种等离子放电方法的多个步骤中沉积的,使得所生产的钝化层具有硅-单氢分子基团(Si-H)和二氢化硅分子基团(Si-H2)并且在一个比较体积中,二氢化硅分子基团的数量(nSi-H2)对二氢化硅分子基团和一氢化硅分子基团((nSi-H2)+(nSi-H))总数的一个比值大于0.4, 。
    • 7. 发明专利
    • 用於在多種等離子體中以過程氣體循環作等離子體處理的設備
    • 用于在多种等离子体中以过程气体循环作等离子体处理的设备
    • TW201534753A
    • 2015-09-16
    • TW104107116
    • 2015-03-06
    • 霍赫勞股份有限公司ROTH & RAU AG
    • 施萊姆 赫爾曼SCHLEMM, HERMANN克爾 米爾科KEHR, MIRKO安索格 艾瑞克ANSORGE, ERIK德克 丹尼爾DECKER, DANIEL
    • C23C16/455H01J37/32
    • H01J37/32449C23C16/4412C23C16/45512C23C16/45561C23C16/45593C23C16/50C23C16/545H01J37/3244H01J37/32779H01J37/32834H01J37/32871H01J2237/3321H01J2237/334
    • 根據本發明的用於等離子體處理的設備包括過程室以及具有迴圈線路和迴圈泵的迴圈單元,過程室具有至少兩個被過程氣體穿流的等離子體過程區、氣體進入部和氣體排出部,氣體進入部適合於將過程氣體輸送給至少兩個等離子體過程區,氣體排出部適合於將廢氣從過程室排除,其中,迴圈單元適合於將廢氣中至少一部分供應到氣體進入部中,並且其中,供應到氣體進入部中的廢氣是從等離子體過程區中的至少兩個中逸出的氣體的混合物。通過混合來自等離子體過程區中的至少兩個中的廢氣並且將廢氣再次供應到氣體進入部中,使來自等離子體過程區中的至少兩個中的過程氣體的已經轉化的組成部分,但也有還未轉化的組成部分混合,並且因此實現了輸送給等離子體過程區的過程氣體的均勻化。這減少了由於等離子體過程在不同的等離子體過程區中的差異而產生的各個基底之間的等離子體處理的不均勻性。
    • 根据本发明的用于等离子体处理的设备包括过程室以及具有循环线路和循环泵的循环单元,过程室具有至少两个被过程气体穿流的等离子体过程区、气体进入部和气体排出部,气体进入部适合于将过程气体输送给至少两个等离子体过程区,气体排出部适合于将废气从过程室排除,其中,循环单元适合于将废气中至少一部分供应到气体进入部中,并且其中,供应到气体进入部中的废气是从等离子体过程区中的至少两个中逸出的气体的混合物。通过混合来自等离子体过程区中的至少两个中的废气并且将废气再次供应到气体进入部中,使来自等离子体过程区中的至少两个中的过程气体的已经转化的组成部分,但也有还未转化的组成部分混合,并且因此实现了输送给等离子体过程区的过程气体的均匀化。这减少了由于等离子体过程在不同的等离子体过程区中的差异而产生的各个基底之间的等离子体处理的不均匀性。
    • 8. 发明专利
    • 微波電漿發生裝置及其操作方法
    • 微波等离子发生设备及其操作方法
    • TW201406214A
    • 2014-02-01
    • TW102114104
    • 2013-04-18
    • 羅斯勞股份有限公司ROTH & RAU AG
    • 梅 喬琴MAI, JOACHIM施勒姆 賀爾曼SCHLEMM, HERMANN
    • H05H1/46H01J37/32
    • H01J37/32211H01J37/3222H01J37/32229H01J37/32568H01J37/32669H01J2237/3321H05H1/46H05H2001/463H05H2001/4637
    • 本發明涉及一種具有電漿室的微波電漿發生裝置。所述電漿室外部設有至少一個微波發生裝置,其微波被至少一個微波接入裝置接入到所述電漿室中。所述微波接入裝置具有穿過所述電漿室至少一個室壁而伸入所述電漿室的一內導體、包圍所述內導體並且將所述內導體與所述電漿室內腔隔開的一絕緣管、和至少一個穿過所述至少一個室壁而伸入所述電漿室的外導體,所述外導體與所述內導體同軸佈置但並不沿整個圓周圍繞整個所述內導體設置。所述外導體在所述電漿室中具有至少一個外導體末端。所述內導體和所述外導體形成一微波導線,其中在所述電漿室中,微波可以從所述微波導線中出來,以便在所述電漿室內腔中產生微波電漿。根據本發明,在所述電漿室內腔中設有至少一個與所述內導體同軸佈置且與所述室壁電絕緣的電漿電極,該電漿電極可被施加直流電壓、低頻電壓或高頻電壓且可與所述微波電漿電接觸,從而使得所述微波電漿可以至少部分地承擔所述外導體的作用。本發明還涉及一種操作該微波電漿發生裝置之方法。
    • 本发明涉及一种具有等离子室的微波等离子发生设备。所述等离子室外部设有至少一个微波发生设备,其微波被至少一个微波接入设备接入到所述等离子室中。所述微波接入设备具有穿过所述等离子室至少一个室壁而伸入所述等离子室的一内导体、包围所述内导体并且将所述内导体与所述等离子室内腔隔开的一绝缘管、和至少一个穿过所述至少一个室壁而伸入所述等离子室的外导体,所述外导体与所述内导体同轴布置但并不沿整个圆周围绕整个所述内导体设置。所述外导体在所述等离子室中具有至少一个外导体末端。所述内导体和所述外导体形成一微波导线,其中在所述等离子室中,微波可以从所述微波导线中出来,以便在所述等离子室内腔中产生微波等离子。根据本发明,在所述等离子室内腔中设有至少一个与所述内导体同轴布置且与所述室壁电绝缘的等离子电极,该等离子电极可被施加直流电压、低频电压或高频电压且可与所述微波等离子电接触,从而使得所述微波等离子可以至少部分地承担所述外导体的作用。本发明还涉及一种操作该微波等离子发生设备之方法。
    • 10. 发明专利
    • 太陽能電池及製造太陽能電池的方法
    • 太阳能电池及制造太阳能电池的方法
    • TW201340361A
    • 2013-10-01
    • TW101143765
    • 2012-11-22
    • 羅斯勞股份有限公司ROTH & RAU AG
    • 葛林 麥克GRIMM, MICHAEL史汀 威爾漢STEIN, WILHELM普雷堤格 馬丁PLETTIG, MARTIN希塔瑞拉 吉斯浦CITARELLA, GIUSEPPE
    • H01L31/18H01L31/042
    • H01L31/02008H01L31/0201H01L31/022425H01L31/0504H01L31/0512H01L31/0747Y02E10/50
    • 本發明涉及一種太陽能電池以及一種製造此類太陽能電池之方法,在該方法中製造了一太陽能電池內芯,在該太陽能電池內芯中檔光線射入該太陽能電池的正面時提供了電荷分離以及朝向該發射極和該太陽能電池的一位於該發射極相對側上的基極的電荷傳輸;製造一處於接觸指形式的能夠導電的發射極接觸結構,該等接觸指與發射極直接電接觸;製造一處於匯流排形式的可焊接的金屬發射極端子結構,該等匯流排與發射極接觸結構直接電接觸並且橫向連接發射極接觸結構的接觸指;發射極以及基極在太陽能電池的相對側面上進行接觸。本發明的目的在於提出上述類型的一種構造簡單而且功能可靠的太陽能電池,並且提出一種能夠減少太陽能電池製造成本之太陽能電池製造方法。採用所述類型的一種太陽能電池和一種太陽能電池製造方法即可實現這一目的,其中至少用鎳、一鎳合金、錫和/或一錫合金製造該可焊接的金屬發射極端子結構,並且將一焊料或者一覆蓋有焊料的導電帶安排施加到該發射極端子結構上。
    • 本发明涉及一种太阳能电池以及一种制造此类太阳能电池之方法,在该方法中制造了一太阳能电池内芯,在该太阳能电池内芯中档光线射入该太阳能电池的正面时提供了电荷分离以及朝向该发射极和该太阳能电池的一位于该发射极相对侧上的基极的电荷传输;制造一处于接触指形式的能够导电的发射极接触结构,该等接触指与发射极直接电接触;制造一处于总线形式的可焊接的金属发射极端子结构,该等总线与发射极接触结构直接电接触并且横向连接发射极接触结构的接触指;发射极以及基极在太阳能电池的相对侧面上进行接触。本发明的目的在于提出上述类型的一种构造简单而且功能可靠的太阳能电池,并且提出一种能够减少太阳能电池制造成本之太阳能电池制造方法。采用所述类型的一种太阳能电池和一种太阳能电池制造方法即可实现这一目的,其中至少用镍、一镍合金、锡和/或一锡合金制造该可焊接的金属发射极端子结构,并且将一焊料或者一覆盖有焊料的导电带安排施加到该发射极端子结构上。