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    • 2. 发明申请
    • METHOD FOR PRODUCING A PLURALITY OF OPTOELECTRONIC SEMICONDUCTOR CHIPS
    • 方法制造光电子半导体芯片的多个
    • WO2012171817A3
    • 2013-06-06
    • PCT/EP2012060393
    • 2012-06-01
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHREUFER MARTINMAUTE MARKUSALBRECHT TONY
    • REUFER MARTINMAUTE MARKUSALBRECHT TONY
    • H01L33/00H01L33/22H01L33/32H01L33/44
    • H01L33/24H01L33/0062H01L33/007H01L33/0095H01L33/22H01L33/32H01L33/44
    • The invention relates to a method for producing a plurality of optoelectronic semiconductor chips, which comprises at least the following method steps: providing at least one semiconductor body (1); introducing at least one trench (2) into the semiconductor body (1) by means of at least one structuring process (3), wherein the trench (2) breaks through the active zone (12) in a vertical direction (V); applying at least one cleaning process (4) at least to exposed points of the semiconductor body (1) in the area of the trench (2), wherein the cleaning process (4) comprises at least one plasma cleaning process (33), and the plasma cleaning process (44) reduces a number and/or a physical extent of structuring residues (333) at exposed points of the semiconductor body (1), at least in the area of the trench (2); and applying at least one passivation layer (5) at least to exposed points of the semiconductor body (1) in the area of the trench (2).
    • 一种用于制造多个给定光电半导体芯片的方法,包括至少以下步骤: - 提供至少一个半导体本体(1); - (2)通过在半导体本体的至少一个图案化工艺(3)的装置将至少一个沟槽(1),其中 - 所述槽(2)在垂直方向(V)突破了有源区(12); - 至少在至少一个清洁过程(4)的应用在半导体本体的暴露的部分(1)在所述沟槽的区域(2),其中 - 所述清洁工艺(4)包括至少一个等离子清洁工艺(33),以及 - 所述等离子清洁工艺(44)包括一个数字和 /或在半导体本体(1)至少在所述沟槽的区域(2)被至少减少外露部分结构化残留物(333)的空间范围; - 在所述沟槽的区域上的半导体主体(1)的外露部分施加至少至少一个钝化层(5)(2)。
    • 4. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MEHRZAHL VON OPTOELEKTRONISCHEN HALBLEITERCHIPS
    • 方法制造光电子半导体芯片的多个
    • WO2012171817A2
    • 2012-12-20
    • PCT/EP2012/060393
    • 2012-06-01
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBHREUFER, MartinMAUTE, MarkusALBRECHT, Tony
    • REUFER, MartinMAUTE, MarkusALBRECHT, Tony
    • H01L33/00
    • H01L33/24H01L33/0062H01L33/007H01L33/0095H01L33/22H01L33/32H01L33/44
    • Es wird ein Verfahren zum Herstellen einer Mehrzahl von optoelektronischen Halbleiterchips angegeben, das zumindest die folgenden Verfahrensschritte umfasst: - Bereitstellen zumindest eines Halbleiterkörpers (1); - Einbringen von zumindest einem Graben (2) mittels zumindest eines Strukturierungsprozesses (3) in den Halbleiterkörper (1), wobei - der Graben (2) in einer vertikalen Richtung (V) die aktive Zone (12) durchbricht; - Anwendung zumindest eines Reinigungsprozesses (4) zumindest auf freiliegende Stellen des Halbleiterkörpers (1) im Bereich des Grabens (2), wobei - der Reinigungsprozess (4) zumindest einen Plasmareinigungsprozess (33) umfasst, und - der Plasmareinigungsprozess (44) eine Anzahl und/oder eine räumliche Ausdehnung von Strukturierungsrückständen (333) an freiliegenden Stellen des Halbleiterkörpers (1) zumindest im Bereich des Grabens (2) zumindest verringert; - Aufbringen zumindest einer Passivierungsschicht (5) zumindest auf freiliegende Stellen des Halbleiterkörpers (1) im Bereich des Grabens (2).
    • 一种用于制造多个给定光电半导体芯片的方法,包括至少以下步骤: - 提供至少一个半导体本体(1); - (2)通过在半导体本体的至少一个图案化工艺(3)的装置将至少一个沟槽(1),其中 - 所述槽(2)在垂直方向(V)突破了有源区(12); - 至少在至少一个清洁过程(4)的应用在半导体本体的暴露的部分(1)在所述沟槽的区域(2),其中 - 所述清洁工艺(4)包括至少一个等离子清洁工艺(33),以及 - 所述等离子清洁工艺(44)包括一个数字和 /或在半导体本体(1)至少在所述沟槽的区域(2)被至少减少外露部分结构化残留物(333)的空间范围; - 在所述沟槽的区域上的半导体主体(1)的外露部分施加至少至少一个钝化层(5)(2)。