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1. 发明申请

WO2011039277A2 OPTOELEKTRONISCHES ORGANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：光电有机组分与方法研究
公开(公告)号：WO2011039277A2
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：PCT/EP2010/064494
申请日：2010-09-29
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , PHILIPPENS, Marc , PÄTZOLD, Ralph , SARFERT, Wiebke , HARTMANN, David , HUNZE, Arvid , KRAUSE, Ralf
发明人： PHILIPPENS, Marc , PÄTZOLD, Ralph , SARFERT, Wiebke , HARTMANN, David , HUNZE, Arvid , KRAUSE, Ralf
IPC分类号： H01L51/50
CPC分类号： H01L51/5206 , H01L51/0035 , H01L51/0036 , H01L51/0037 , H01L51/0042 , H01L51/0059 , H01L51/50 , H01L51/5004 , H01L51/5088 , H01L51/5221 , H01L51/5228 , H01L2251/552
摘要： Optoelektronisches organisches Bauelement, umfassend: eine erste Elektrode, eine erste Planarisierungsschicht, welche auf der ersten Elektrode angeordnet ist, eine erste Injektionsschicht, welche auf der Planarisierungsschicht angeordnet ist, eine organische Funktionsschicht, welche auf der Injektionsschicht angeordnet ist, eine zweite Elektrode, welche auf der organischen Funktionsschicht angeordnet ist, wobei für den Fall, dass es sich bei der ersten Elektrode um eine Anode handelt für die Energieniveaus gilt: E F -E HOMO,Inj. ≤ E F - EHOMO,Plan. und E F -E HOMO,Inj. F -E HOMO,Funk . Oder für den Fall, dass es sich bei der ersten Elektrode um eine Kathode handelt für die Energieniveaus gilt: E LUM0,Inj. -E F ≤ E LUM0,Plan. -E F und E LUMO,inj. -E F LUMO,Funk. -E F , wobei E F für die Fermienergie, E HOMO für die Energie des höchsten besetzen Energieniveaus der jeweiligen Schicht und E LUMO für die Energie des niedrigsten unbesetzten Energieniveaus der jeweiligen Schicht steht.
摘要翻译：光电子有机成分，包括：第一电极，设置在所述第一电极上的第一平坦化层，其被布置在所述平坦化层，设置在所述注入层上的有机功能层，在第二电极上的第一注入层有机功能层被布置，其中，对于不存在用于能级的第一电极的阳极的情况下：EF-EHOMO，注射液。 = EF-E HOMO，计划。和EF-E HOMO，注射。 F-èHOMO，收音机。适用，或在于它是在第一电极上的事件是用于能级的阴极：ELUM0，Inj.-EF = ELUM0，Plan.-EF和ELUMO，注射EF-LUMO，Funk.-EF，EF其中。是费米能量，E HOMO为每个层和相应的层的最低未占能级的能量电子LUMO的最高占有能级的能量。

2. 发明申请

WO2004086576A1 HALBLEITERLASER MIT REDUZIERTER RÜCKWIRKUNGSEMPFINDLICHKEIT 审中-公开
标题翻译：具有减少溯及既往灵敏度半导体激光器
公开(公告)号：WO2004086576A1
公开(公告)日：2004-10-07
申请号：PCT/DE2004/000333
申请日：2004-02-23
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , ALBRECHT, Tony , BRICK, Peter , PHILIPPENS, Marc , PLAINE, Glenn-Yves
发明人： ALBRECHT, Tony , BRICK, Peter , PHILIPPENS, Marc , PLAINE, Glenn-Yves
IPC分类号： H01S5/183
CPC分类号： H01S5/18377 , H01S5/2022 , H01S2301/02 , H01S2301/163
摘要： Ein Erfindungsgemässer Halbleiterlaser, insbesondere ein Einmoden-Laser, enthält in seinem Laserresonator mindestens eine absorbierende Schicht (8), welche die Transmission T Res der Laserstrahlung (10) im Laserresonator zur Verringerung der Rückwirkungsempfindlichkeit des Halbleiterlasers für in den Laserresonator rückgekoppelte Strahlung (9) reduziert. Dadurch werden Schwankungen der Ausgangsleistung durch rückgekoppelte Strahlung (9) reduziert.
摘要翻译：本发明的半导体激光器，尤其是单模激光器，包含在其激光谐振器的至少一个吸收层（8），这减少了在激光腔中的激光辐射（10）的传输TRES降低半导体激光用于反馈的反应速度进入激光腔的辐射（9）。通过反馈发射（9）的输出功率的波动特征可以减小。

3. 发明申请

WO2011012420A1 ORGANISCHES BAUTEIL UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：有机组分与方法研究
公开(公告)号：WO2011012420A1
公开(公告)日：2011-02-03
申请号：PCT/EP2010/059837
申请日：2010-07-08
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , PHILIPPENS, Marc , SCHLENKER, Tilman
发明人： PHILIPPENS, Marc , SCHLENKER, Tilman
IPC分类号： H01L51/52 , B81C1/00 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/56 , H01L51/5246
摘要： Es ist ein Bauteil vorgesehen, das ein erstes Substrat (1) und ein zweites Substrat (2) aufweist. Auf dem ersten Substrat (1) ist mindestens ein optoelektronisches Bauelement (4) angeordnet, das mindestens ein organisches Material enthält. Das erste Substrat (1) und das zweite Substrat (2) sind relativ zueinander derart angeordnet sind, dass das optoelektronische Bauelement (4) zwischen dem ersten Substrat (1) und dem zweiten Substrat (2) angeordnet ist. Ferner ist ein Verbindungsmaterial (3) zwischen dem ersten Substrat (1) und dem zweiten Substrat (2) angeordnet, welches das optoelektronische Bauelement (4) rahmenförmig umschließt und erstes und zweites Substrat (1, 2) mechanisch miteinander verbindet. Das Verbindungsmaterial (3) wurde mittels eines exothermen chemischen Prozesses eines reaktionsfähigen Materials (7) zum mechanischen Verbinden der Substrate (1, 2) erweicht. Ferner ist ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Bauteils angegeben.
摘要翻译：它是提供了一种具有第一基板（1）和第二基板（2）的成分。在第一基板（1）的至少一个光电部件（4）被布置，其包含至少一种有机材料。在第一基板（1）和上述第二基板（2）的相对于彼此安排成使得光电部件（4）被布置在第一基板（1）之间和上述第二基板（2）。另外，接合材料（3）被布置在第一基板（1）和第二基板（2）之间，其围绕（4）等的帧和第一和第二基板（1,2）机械地连接的光电子器件。接合材料（3）已经由放热化学工艺来软化用于机械连接所述衬底的反应性材料（7）（1，2）。此外，被指定用于制造这种部件的方法。

4. 发明申请

WO2010079038A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ORGANISCHEN OPTOELEKTRONISCHEN BAUELEMENTS UND ORGANISCHES OTPOELEKTRONISCHES BAULELEMENT 审中-公开
标题翻译：方法用于生产有机的光电子器件和有机OTPOELEKTRONISCHES BAULELEMENT
公开(公告)号：WO2010079038A1
公开(公告)日：2010-07-15
申请号：PCT/EP2009/066843
申请日：2009-12-10
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , EBERHARDT, Angela , SCHLENKER, Tilmann , PHILIPPENS, Marc , BEER, Ulrike , WIRTH-SCHOEN, Joachim , PESKOLLER, Florian , POESL, Ewald , HEUSER, Karsten , LANGER, Alfred , MUELLER, Martin
发明人： EBERHARDT, Angela , SCHLENKER, Tilmann , PHILIPPENS, Marc , BEER, Ulrike , WIRTH-SCHOEN, Joachim , PESKOLLER, Florian , POESL, Ewald , HEUSER, Karsten , LANGER, Alfred , MUELLER, Martin
IPC分类号： C03C27/00 , C03C27/10 , H01L51/52
CPC分类号： C03C27/06 , H01L51/5246 , H01L51/5256 , H01L51/5259
摘要： Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines organischen optoelektronischen Bauelements angegeben mit den Schritten: A) Bereitstellen eines ersten Substrats (1) mit einem aktiven Bereich (12) und einem den aktiven Bereich (12) umgebenden ersten Verbindungsbereich (11), wobei im aktiven Bereich (12) eine organische funktionelle Schichtenfolge (3) ausgebildet ist, B) Bereitstellen eines zweiten Substrats (2) mit einem Abdeckbereich (22) und einem den Abdeckbereich (22) umgebenden zweiten Verbindungsbereich (21), C) Aufbringen einer ersten Verbindungsschicht (4) aus einem ersten Glaslotmaterial direkt auf dem zweiten Substrat (2) im zweiten Verbindungsbereich (21), D) Verglasen (91) des ersten Glaslotmaterials der ersten Verbindungsschicht (4), E) Aufbringen einer zweiten Verbindungsschicht (5) auf der verglasten ersten Verbindungsschicht (4) oder auf dem ersten Verbindungsbereich (11) des ersten Substrats (1) und F) Verbinden des ersten Substrats (1) mit dem zweiten Substrat (2) derart, dass die zweite Verbindungsschicht (5) den ersten Verbindungsbereich (11) mit der ersten Verbindungsschicht (4) verbindet. Weiterhin wird ein organisches optoelektronisches Bauelement angegeben.
摘要翻译：提供（1）具有有源区（12第一基板）A）和围绕的有源区（12），第一连接部分（11），其中，在所述有源区：制造具备的步骤的有机光电子器件的方法（12）形成的有机功能层序列（3），b）提供一个第二基片（2），其具有盖部（22）和所述盖部（22）围绕所述第二连接部分（21），C）沉积第一粘结层（4 ）直接（从第二基板2上的第一玻璃焊料材料）（在第二连接部21），D）的第一玻璃化（91）Glaslotmaterials施加第二粘结层，第一连接层（4）中，e）（5）的玻璃第一互连层上（4）或在所述第一基板（1）和F）以这样的方式ð粘结第一基片（1）与上述第二基板（2）的第一连接部分（11）屁股第二连接层（5）的连接带（4）第一连接层中的第一连接部分（11）。此外，有机光电子装置。

5. 发明申请

WO2010113102A1 AN ARRANGEMENT FOR HOLDING A SUBSTRATE IN A MATERIAL DEPOSITION APPARATUS 审中-公开
标题翻译：用于在材料沉积装置中保持基材的布置
公开(公告)号：WO2010113102A1
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：PCT/IB2010/051356
申请日：2010-03-29
申请人： KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N. V. , PHILIPS INTELLECTUAL PROPERTY & STANDARDS GMBH , OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , KRIJNE, Johannes , EILING, Erwin , HOHAUS, Karl-Heinz , GOERGEN, Wolfgang , LOVICH, Andreas , PHILIPPENS, Marc , SCHEICHER, Richard , FISCHER, Ansgar , MUELLER, Martin
发明人： KRIJNE, Johannes , EILING, Erwin , HOHAUS, Karl-Heinz , GOERGEN, Wolfgang , PHILIPPENS, Marc , SCHEICHER, Richard , FISCHER, Ansgar , MUELLER, Martin
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/50
CPC分类号： C23C14/042 , C23C14/50
摘要： The invention describes an arrangement (1) for holding a substrate (10) in a material deposition apparatus (50), which substrate (10) has a deposition side (10a) upon which material (M) is to be deposited, and which arrangement (1) comprises a shadow mask (20) comprising a number of deposition openings (D1); a support structure (30) comprising a number of surround openings (S1); and a support structure holding means (6) for holding the support structure (30) and/or a substrate holding means (5) for holding the substrate (10), such that the support structure k (30) is on the same side as the deposition side (10a) of the substrate (10), and the shadow mask (20) is positioned between the substrate (10) and the support structure (30) such that at least one deposition opening (D1) of the shadow mask (10) lies within a corresponding surround opening (S1) of the support structure (30). The invention further describes a material deposition apparatus (50) comprising an arrangement (1) for holding a substrate (10). The invention also describes a method of arranging a substrate (10), a shadow mask (10) and a support structure (30) in a material deposition apparatus (50).
摘要翻译：本发明描述了一种用于将基材（10）保持在材料沉积设备（50）中的装置（1），该基板（10）具有沉积物（10a），沉积侧（10a）上将沉积材料（M）（1）包括包括多个沉积开口（D1）的荫罩（20）; 包括多个环绕开口（S1）的支撑结构（30）; 以及用于保持支撑结构（30）的支撑结构保持装置（6）和/或用于保持基板（10）的基板保持装置（5），使得支撑结构k（30）位于与基板（10）的沉积侧（10a）和荫罩（20）位于基板（10）和支撑结构（30）之间，使得荫罩的至少一个沉积开口（D1） 10）位于支撑结构（30）的对应的环绕开口（S1）内。本发明还描述了一种材料沉积设备（50），其包括用于保持基底（10）的装置（1）。本发明还描述了在材料沉积设备（50）中布置基底（10），荫罩（10）和支撑结构（30）的方法。

6. 发明申请

WO2010000226A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES ORGANISCHEN ELEKTRONISCHEN BAUELEMENTS UND ORGANISCHES ELEKTRONISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：方法制备有机电子元件和与有机电子部件
公开(公告)号：WO2010000226A1
公开(公告)日：2010-01-07
申请号：PCT/DE2009/000860
申请日：2009-06-17
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , PHILIPPENS, Marc , SCHEICHER, Richard , LOVICH, Andreas , FISCHER, Ansgar , MUELLER, Martin , HEUSER, Karsten , PAETZOLD, Ralph
发明人： PHILIPPENS, Marc , SCHEICHER, Richard , LOVICH, Andreas , FISCHER, Ansgar , MUELLER, Martin , HEUSER, Karsten , PAETZOLD, Ralph
IPC分类号： H01L51/56
CPC分类号： H01L51/0097 , H01L51/524 , H01L51/5268 , H01L2251/5338 , H01L2251/5361 , H01L2251/566 , Y02E10/549 , Y02P70/521 , Y10T428/31938
摘要： Ein Verfahren zur Herstellung eines organischen elektronischen Bauelements umfasst insbesondere die Schritte: A) Herstellen zumindest eines funktionellen Schichtenstapels (10) mit den Teilschritten: A1) Bereitstellen eines flexiblen ersten Substrats (1), A2 ) Großflächiges Aufbringen zumindest einer organischen Schicht (2) auf dem ersten Substrat (1) mittels einer Bandbeschichtungsanlage (90) und A3) Vereinzeln des ersten Substrats (1) mit der zumindest einen organischen Schicht (2) in eine Mehrzahl funktioneller Schichtenstapel (10), B) Bereitstellen eines zweiten Substrats (5), das eine geringere Flexibilität und eine höhere Dichtigkeit gegenüber Feuchtigkeit und Sauerstoff als das erste Substrat (1) aufweist, und C) Aufbringen des zumindest einen der Mehrzahl der funktionellen Schichtenstapel (10) mit einer der organischen Schicht (2) abgewandten Oberfläche (11) des ersten Substrats (1) auf dem zweiten Substrat (5).
摘要翻译：一种用于制造有机电子器件的方法包括在特定的步骤：A）制备至少一种功能层叠层（10）具有以下子步骤：A1提供柔性第一基板（1），A2）大面积应用）至少一个有机层（2）上在第一基板（1）由一个带涂布装置的装置（90）和A3）分离第一衬底（1）与（2）的所述至少一个有机层（在多个功能层的层叠体10），b）提供一个第二基片（5），从有机层（2）中的一个背向表面具有较低的灵活性和更高的不透水和氧比所述第一基片（1），和C）将所述多个功能层堆10的的（至少一个）（11）所述第二基板上的第一基片（1）（5）。

7. 发明申请

WO2006034677A1 OPTISCHES SENSORMODUL 审中-公开
标题翻译：光学传感器模块
公开(公告)号：WO2006034677A1
公开(公告)日：2006-04-06
申请号：PCT/DE2005/001667
申请日：2005-09-21
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , ALBRECHT, Tony , BRICK, Peter , PHILIPPENS, Marc , STEEGMÜLLER, Ulrich
发明人： ALBRECHT, Tony , BRICK, Peter , PHILIPPENS, Marc , STEEGMÜLLER, Ulrich
IPC分类号： H01S5/026 , H01S5/183 , G01S15/58
CPC分类号： G01S7/4916 , G01P3/36 , G01P3/366 , G01S7/4812 , G01S17/50 , G06F3/0304 , H01S5/026 , H01S5/0264 , H01S5/0425 , H01S5/0683 , H01S5/1032 , H01S5/18311 , H01S5/2022
摘要： Die Erfindung betrifft ein optisches Sensormodul (1) in einem Halbleiterkörper, der eine Halbleiterlaservorrichtung (1a) zur Emission von kohärenter Strahlung (3), ein Detektorelement (1b) mit einer strahlungsdetektierenden Zone (12b) und einen Wellenleiter (12c) aufweist, wobei das Detektorelement (1b) über den Wellenleiter (12c) mit der Halbleiterlaservorrichtung (1a) verbunden ist. Es zeichnet sich dadurch aus, dass der Wellenleiter (12c) in einer Richtung quer zur Hauptstrahlungsrichtung der von der Halbleiterlaservorrichtung (1a) emittierten kohärenten Strahlung (3) angeordnet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Messung der Relativbewegung eines Objekts (2) gegenüber einem solchen optischen Sensormodul (1).
摘要翻译：本发明涉及一种具有用于相干辐射的发射的半导体激光器件（1a）中的光学传感器模块（1）在半导体本体（3），检测器元件（1B）与检测辐射的区域（12B）和波导（12C），其中，所述检测器元件（1B）连接到所述波导（12C）至所述半导体激光器件（1a）中。它布置，其特征在于所述波导（12C）的方向上朝向所述半导体激光装置的主辐射方向（1a）的相干辐射发射横向（3）。本发明还涉及一种方法，用于测量物体（2）的相对的相对运动，以这样的光学传感器模块（1）。

8. 发明申请

WO2011039277A3 OPTOELECTRONIC ORGANIC COMPONENT AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF 审中-公开
标题翻译：光电有机组分与方法研究
公开(公告)号：WO2011039277A3
公开(公告)日：2011-05-26
申请号：PCT/EP2010064494
申请日：2010-09-29
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , PHILIPPENS MARC , PAETZOLD RALPH , SARFERT WIEBKE , HARTMANN DAVID , HUNZE ARVID , KRAUSE RALF
发明人： PHILIPPENS MARC , PAETZOLD RALPH , SARFERT WIEBKE , HARTMANN DAVID , HUNZE ARVID , KRAUSE RALF
IPC分类号： H01L51/50
CPC分类号： H01L51/5206 , H01L51/0035 , H01L51/0036 , H01L51/0037 , H01L51/0042 , H01L51/0059 , H01L51/50 , H01L51/5004 , H01L51/5088 , H01L51/5221 , H01L51/5228 , H01L2251/552
摘要： The invention relates to an optoelectronic organic component, comprising: a first electrode (1), a first planarization layer (2), which is disposed on the first electrode, a first injection layer (3), which is disposed on the planarization layer, an organic functional layer (4), which is disposed on the injection layer, and a second electrode (5), which is disposed on the organic functional layer, where in the event that the first electrode is an anode, the following applies for the energy level: EF-EHOMO,Inj. = EF-EHOMO,Plan. and EF-EHOMO,Inj. F-EHOMO,Funk.. Or in the event that the first electrode is a cathode, the following applies for the energy level: ELUM0,Inj.-EF = ELUMO,Plan.-EF and ELUMO,inj.-EF LUMO,Funk.-EF, where EF denotes the Fermi energy, EHOMO denotes the energy of the highest occupied energy level of the respective layer, and ELUMO denotes the energy of the lowest unoccupied energy level of the respective layer.
摘要翻译：光电子有机器件，包括：第一电极（1），其被设置在所述第一电极上的第一平坦化层（2），其被布置在所述平坦化层上的第一注入层（3），有机功能层（4），其上设置注入层，第二电极（5），其被布置在所述有机功能层上，其中，用于不存在用于能级的第一电极的阳极的情况下：EF-EHOMO，注射液。 = EF-E HOMO，计划。和EF-E HOMO，注射。 F-èHOMO，无线电..还是在，这是第一个电极的事件是真实的阴极的能级：电子LUMO，注射。 -EF = E LUMO，计划。 -EF和ELUMO，注射液。EF-LUMO，Funk.-EF，EF是费米能级为，EHOMO代表用于各个层的最低未占能级的能量的相应层和ELUMO的最高占有能级的能量。

9. 发明申请

WO2011012371A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES BAUTEILS MIT MINDESTENS EINEM ORGANISCHEN MATERIAL UND BAUTEIL MIT MINDESTENS EINEM ORGANISCHEN MATERIAL 审中-公开
标题翻译：方法用于制造部件有至少一个有机材料和成分与至少一种有机材料
公开(公告)号：WO2011012371A1
公开(公告)日：2011-02-03
申请号：PCT/EP2010/058396
申请日：2010-06-15
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , PHILIPPENS, Marc , SCHLENKER, Tilman , HEUSER, Karsten
发明人： PHILIPPENS, Marc , SCHLENKER, Tilman , HEUSER, Karsten
IPC分类号： H01L51/52 , H01L51/56
CPC分类号： H01L51/5237 , H01L51/5246 , H01L51/56
摘要： In mindestens einer Ausführungsform des Bauteils (10) weist dieses ein erstes Substrat (1) und ein zweites Substrat (2) auf, wobei auf dem ersten Substrat (1) mindestens ein Strahlungsemittierendes oder empfangendes Bauelement (3) angeordnet ist, das mindestens ein organisches Material enthält. Das erste Substrat (1) und das zweite Substrat (2) sind relativ so zueinander angeordnet, dass das Bauelement (3) sich zwischen erstem (1) und zweitem Substrat (2) befindet. Über ein in einer Bahn zwischen erstem (1) und zweitem Substrat (2) angeordnetes Verbindungsmittel (4), das ein Glas enthält und das Bauelement (3) mit dem organischen Material rahmenförmig umschließt, sind erstes (1) und zweites Substrat (2) mechanisch miteinander verbunden. Weiterhin umfasst das Bauteil (10) ein Dichtmittel (5) zwischen erstem (1) und zweitem Substrat (2), wobei das Dichtmittel (5) das Bauelement (3) mit dem organischen Material sowie das Verbindungsmittel (4) rahmenartig umschließt und abdichtet.
摘要翻译：在于包括：第一基板（1）和第二基板（2）的部件（10），其中，至少一个辐射发射或接收装置（3）被设置在第一基板（1）上的至少一个实施方案中，至少一种有机含材料。在第一基板（1）和上述第二基板（2）相对于一个设置另一个，使得所述组分（3）位于所述第一（1）和第二基板（2）之间。大约一个在第一（1）和第二基板之间的路径（2）设置在连接装置（4），其中包含玻璃和（3）包围与有机材料的框状的部件是第一（1）和第二基板（2）机械互连。此外，部件（10）包括密封装置（5）的第一（1）之间和上述第二基板（2），其中，所述密封装置（5）包围所述组分（3）与有机材料和连接装置（4）像框架和密封。

10. 发明申请

WO2010113102A9 AN ARRANGEMENT FOR HOLDING A SUBSTRATE IN A MATERIAL DEPOSITION APPARATUS 审中-公开
公开(公告)号：WO2010113102A9
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：PCT/IB2010/051356
申请日：2010-03-29
申请人： OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH , KRIJNE, Johannes , EILING, Erwin , HOHAUS, Karl-Heinz , GOERGEN, Wolfgang , LOVICH, Andreas , PHILIPPENS, Marc , SCHEICHER, Richard , FISCHER, Ansgar , MUELLER, Martin
发明人： KRIJNE, Johannes , EILING, Erwin , HOHAUS, Karl-Heinz , GOERGEN, Wolfgang , LOVICH, Andreas , PHILIPPENS, Marc , SCHEICHER, Richard , FISCHER, Ansgar , MUELLER, Martin
IPC分类号： C23C14/04 , C23C14/50
摘要： The invention describes an arrangement (1) for holding a substrate (10) in a material deposition apparatus (50), which substrate (10) has a deposition side (10a) upon which material (M) is to be deposited, and which arrangement (1) comprises a shadow mask (20) comprising a number of deposition openings (D1); a support structure (30) comprising a number of surround openings (S1); and a support structure holding means (6) for holding the support structure (30) and/or a substrate holding means (5) for holding the substrate (10), such that the support structure k (30) is on the same side as the deposition side (10a) of the substrate (10), and the shadow mask (20) is positioned between the substrate (10) and the support structure (30) such that at least one deposition opening (D1) of the shadow mask (10) lies within a corresponding surround opening (S1) of the support structure (30). The invention further describes a material deposition apparatus (50) comprising an arrangement (1) for holding a substrate (10). The invention also describes a method of arranging a substrate (10), a shadow mask (10) and a support structure (30) in a material deposition apparatus (50).

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