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1. 发明申请

WO2009003803A2 MICROMECHANICAL COMPONENT AND METHOD FOR EXCITING OSCILLATIONS IN AN OSCILLATING ELEMENT OF A MICROMECHANICAL COMPONENT 审中-公开
标题翻译：微机械结构元件及振动机构振动元件的振动方法
公开(公告)号：WO2009003803A2
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：PCT/EP2008057252
申请日：2008-06-11
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , MAUTE MATTHIAS , SATTLER ROBERT
发明人： MAUTE MATTHIAS , SATTLER ROBERT
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0086 , B81B2201/042 , B81B2203/058 , G02B26/0841
摘要： The invention relates to a micromechanical component and a method for exciting oscillations in an oscillating element of a micromechanical component, said component having an outer frame that is connected to the support substrate and can oscillate in relation to said substrate and an oscillating element that is connected to the outer frame and can be tilted about a first axis on a primary extension plane of the support substrate and/or tilted about a second axis that is perpendicular to the first axis on the primary extension plane. According to the invention, the micromechanical component has at least one electrode on a plane running parallel to the primary extension plane, said electrode or electrodes overlapping the outer frame in a perpendicular direction in relation to the primary extension plane. The method for exciting oscillations in the oscillating element of the micromechanical component comprises the excitation of the oscillating element by an electrostatic force between the outer frame and at least one electrode, the oscillating element being coupled to the outer frame.
摘要翻译：公开了一种微机械部件和用于微机械装置的振动元件，其中所述微机械部件具有连接到载体基板的外框架的振荡激励的方法，与支撑基板相反的能够振动的，且连接到外框架和一个振动元件包括在载体衬底和/或垂直于所述第一轴线在所述主延伸平面，所述第二轴线倾斜的方向，并且其中，具有在平行于主平面的平面的方向上的至少一个电极上的微机械器件，所述至少一个电极中之一的一个主平面的第一轴线主延伸平面垂直方向与外框至少部分重叠地设置。用于微机械装置的振动构件的激励振动的方法，包括：在振动构件的激励由外框架和至少一个电极之间的静电力，其中，所述振动元件被耦合到外框架。

2. 发明申请

WO02082096A3 SENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO02082096A3
公开(公告)日：2003-05-08
申请号：PCT/DE0200621
申请日：2002-02-20
申请人： BOSCH GMBH ROBERT , FRANZ JOCHEN , KOHN OLIVER , HENNING FRANK , MAUTE MATTHIAS
发明人： FRANZ JOCHEN , KOHN OLIVER , HENNING FRANK , MAUTE MATTHIAS
IPC分类号： G01P15/02 , B81B3/00 , G01P15/08 , G01P15/125 , H01L29/84 , B81B7/00
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B2201/0235 , B81B2203/051 , G01P15/08 , G01P15/125 , G01P2015/0817 , G01P2015/0831
摘要： The invention relates to a sensor whose sensor structure is realized in a micromechanical component and which has parts that can move in relation to the stationary substrate of the component. The sensor comprises at the least the following: a self-supporting seismic mass (1); a spring arrangement with at least one spring (2), whereby the seismic mass (1) is joined to the substrate via the spring arrangement; an overload protection for limiting the displacement of the spring arrangement or of the seismic mass (1) in at least one direction, and; means for detecting the displacements of the spring arrangement or of the seismic mass (1). According to the invention, constructive measures with which the striking forces can be reduced in order to prevent shell blowouts and thus resulting pre-damages to the sensor structure as well as to prevent a formation of particles. To this end, the overload protection is provided in the form of at least one flat stop (3) for at least one moving part of the sensor structure. Alternatively or complementary thereto, the overload protection is provided in the form of at least one elastic stop (7) for at least one moving part of the sensor structure.
摘要翻译：用于传感器，其传感器结构在微机械部件和相对部件的固定基板包括移动部件，并且还包括至少实现：自支撑振动质量（1），具有至少一个弹簧（2）弹簧装置，其中，所述地震是质量（1）通过连接到衬底，用于限制所述弹簧装置的偏转和震动块（1）的过载的保护，在至少一个方向和弹簧组件用于感测所述弹簧装置的偏转和振动质量的（1）利用该止动力可以减小，从而防止贻贝暴发提出的结构措施引起了传感器结构的初始损伤和颗粒形成。为了这个目的，作为一个过载保护根据至少在传感器结构中的至少一个可移动部分的平面止动件（3）提供了本发明。或者或另外，作为过载保护根据至少一个弹性止动件（7），用于至少在传感器结构的可移动部分提供了本发明。

3. 发明申请

WO2002082096A2 SENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2002082096A2
公开(公告)日：2002-10-17
申请号：PCT/DE2002/000621
申请日：2002-02-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANZ, Jochen , KOHN, Oliver , HENNING, Frank , MAUTE, Matthias
发明人： FRANZ, Jochen , KOHN, Oliver , HENNING, Frank , MAUTE, Matthias
IPC分类号： G01P
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B2201/0235 , B81B2203/051 , G01P15/08 , G01P15/125 , G01P2015/0817 , G01P2015/0831
摘要： Für einen Sensor, dessen Sensorstruktur in einem mikromechanischen Bauelement realisiert ist und gegenüber dem feststehenden Substrat des Bauelements bewegliche Teile aufweist, und der ausserdem mindestens umfasst: eine freitragende seismische Masse (1), eine Federanordnung mit mindestens einer Feder (2), wobei die seismische Masse (1) über die Federanordnung mit dem Substrat verbunden ist, einen Überlastschutz zum Begrenzen der Auslenkung der Federanordnung bzw. der seismischen Masse (1) in mindestens einer Richtung und Mittel zum Erfassen der Auslenkungen der Federanordnung bzw. der seismischen Masse (1), werden konstruktive Massnahmen vorgeschlagen, mit denen sich die Anschlagkräfte reduzieren lassen, um Muschelausbrüche und dadurch bedingte Vorschädigungen der Sensorstruktur sowie eine Partikelbildung zu vermeiden. Dazu ist als Überlastschutz erfindungsgemäss mindestens ein flächiger Anschlag (3) für mindestens ein bewegliches Teil der Sensorstruktur vorgesehen. Alternativ oder ergänzend dazu ist als Überlastschutz erfindungsgemäss mindestens ein federnder Anschlag (7) für mindestens ein bewegliches Teil der Sensorstruktur vorgesehen.
摘要翻译：用于传感器，其传感器结构在微机械部件和相对部件的固定基板包括移动部件，并且还包括至少实现：自支撑振动质量（1），具有至少一个弹簧（2）弹簧装置，其中，所述地震是质量（1）通过连接到衬底，用于限制所述弹簧装置的偏转和震动块（1）的过载的保护，在至少一个方向和弹簧组件用于感测所述弹簧装置的偏转和振动质量的（1）利用该止动力可以减小，从而防止贻贝暴发提出的结构措施引起了传感器结构的初始损伤和颗粒形成。为了这个目的，作为一个过载保护根据至少在传感器结构中的至少一个可移动部分的平面止动件（3）提供了本发明。或者或另外，作为过载保护根据至少一个弹性止动件（7），用于至少在传感器结构的可移动部分提供了本发明。

4. 发明申请

WO2009003803A3 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR SCHWINGUNGSANREGUNG EINES SCHWINGUNGSELEMENTS EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2009003803A3
公开(公告)日：2009-01-08
申请号：PCT/EP2008/057252
申请日：2008-06-11
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , MAUTE, Matthias , SATTLER, Robert
发明人： MAUTE, Matthias , SATTLER, Robert
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
摘要： Es wird ein mikromechanisches Bauelement und ein Verfahren zur Schwingungsanregung eines Schwingungselements eines mikromechanischen Bauelement vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement einen äußeren Rahmen, welcher mit dem Trägersubstrat verbunden und gegenüber dem Trägersubstrat schwingungsfähig ist, und ein Schwingungselement, welches mit dem äußeren Rahmen verbunden und um eine erste Achse in einer Haupterstreckungsebene des Trägersubstrats und/oder um eine zur ersten Achse senkrecht stehenden zweiten Achse in der Haupterstreckungsebene verkippbar ist, aufweist und wobei das mikromechanische Bauelement in einer zur Haupterstreckungsebene parallelen Ebene wenigstens eine Elektrode aufweist, wobei die wenigstens eine Elektrode in einer zur Haupterstreckungsebene senkrechten Richtung mit dem äußeren Rahmen zumindest teilweise überlappend vorgesehen ist. Das Verfahren zur Schwingungsanregung des Schwingungselements des mikromechanischen Bauelements umfasst eine Anregung des Schwingungselements durch eine elektrostatische Kraft zwischen dem äußeren Rahmen und wenigstens der einen Elektrode, wobei das Schwingungselement mit dem äußeren Rahmen gekoppelt ist.

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