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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR HERSTELLUNG EINER N-HALBLEITENDEN INDIUMSULFID-DÜNNSCHICHT
    • 方法和系统生产N- HALF官员铟薄
    • WO2009121318A1
    • 2009-10-08
    • PCT/DE2009/000353
    • 2009-03-14
    • HELMHOLTZ-ZENTRUM BERLIN FÜR MATERIALIEN UND ENERGIE GMBHALLSOP, NicholasFISCHER, Christian-HerbertGLEDHILL, SophieLUX-STEINER, Martha, Christina
    • ALLSOP, NicholasFISCHER, Christian-HerbertGLEDHILL, SophieLUX-STEINER, Martha, Christina
    • C23C16/30C23C16/455
    • C23C16/305C23C16/45527
    • Zur Herstellung von Indiumsulfid-Dünnschichten ist das so genannte „Sprüh- ILGAR-Verfahren" bekannt, welches aus einer Verfahrensphase I (Deposition eines festen Indium-Precursors am Substrat) und einer sequenziellen Verfahrensphase Il (lonenaustausch-Reaktion des Indium-Precursors mit Schwefelwasserstoffgas) besteht und durchgängig bei Atmosphärendruck arbeitet. Erfindungsgemäß ist zur weiteren Verbesserung von Sprüh-ILGAR unter Beibehaltung von dessen Vorteilen vorgesehen, dass in der Verfahrensphase I simultan ein CVD-Schritt mit einer Überströmung des Substrats (SU) durchgeführt wird, der zur zusätzlichen Deposition von reaktionsfähigem Indium auf dem Substrat (SU) führt. Dazu wird simultan eine solche Menge von Schwefelwasserstoff (H 2 S) zum gelösten oder gasförmigen Indium enthaltenden Precursor (PR ln(g/fl) ) zugeführt, dass sich eine absolute Konzentration des Schwefelwasserstoffs (H 2 S) gleich oder weniger als 1 Vol% in einem Mischgebiet (MP)ergibt. In der Verfahrensphase I wird das Substrat (SU) auf eine Temperatur zwischen 100°C und 275°C geheizt, sodass keine störende Pulverbildung in der Gasphase auftreten kann. In speziellen Batch- oder Inline-Anordnungen werden sehr kompakte, homogene Indiumsulfid-Dünnschichten hergestellt, die besonders vorteilhaft als Pufferschichten in Solarzellen eingesetzt werden können.
    • 用于生产铟薄膜的是所谓的“喷ILGAR方法”是公知的,其由相I(固体铟前体到基底的沉积)和顺序过程II期(铟前体与硫化氢气体的离子交换反应)的 是和一贯的大气压力。 本发明提供了喷雾ILGAR的进一步提高,同时保持其优点,即在相位进行予同时一个CVD步骤与所述衬底上的衬底上的流动(SU),无功铟的额外沉积的(SU) 线索。 用于此目的(H2S)变成溶解或气态含铟前体(PRln(克/升))同时,馈送这种硫化氢的量,即硫化氢(H 2 S)的绝对浓度等于或小于1%(体积)(以混合MP )的结果。 在第一阶段中,衬底(SU)中加热至100℃和275℃之间的温度,以便在气相中可能会出现没有干扰粉末形成。 在特定批次或在线安排非常紧凑的,均匀的硫化铟薄膜中产生,其可以特别有利地用作太阳能电池中的缓冲层。
    • 9. 发明申请
    • METHOD FOR PRODUCING TRANSPARENT P-CONDUCTIVE CuAlO2
    • 用于生产透明导电P CuAlO 2的
    • WO2004106593A3
    • 2005-02-17
    • PCT/DE2004001069
    • 2004-05-18
    • HAHN MEITNER INST BERLIN GMBHDLOCZIK LARISSATOMM YVONNEDITTRICH THOMASLUX-STEINER MARTHA CHRISTINA
    • DLOCZIK LARISSATOMM YVONNEDITTRICH THOMASLUX-STEINER MARTHA CHRISTINA
    • C01D15/04C01G3/00C23C14/08H01L33/00C01F7/02C01G3/02C23C14/00C30B23/02C30B29/20
    • H01L31/022466C01D15/04C01G3/00C01P2002/76C01P2006/40C23C14/08H01L31/0322H01L51/442H01L2251/305Y02E10/541Y02P70/521
    • Transparent conductive materials are used for optoelectronic applications. However, the materials presently used are n-type semiconductors. Transparent p-type semiconductors are also required to produce pn transitions. Only a few such materials are known, but their long-term stability is questionable. Oxides would provide better stability for said application, but the structural conditions, under which they can be p-conductive are extremely restrictive. The synthesis of CuAlO2 is complicated by the formation of binary oxides, spinell-type CuAl2O4 or metallic copper. At present, to produce pulverulent, pure CuAlO2, binary oxides are reacted at temperatures of at least 1000 C for at least 20 hours, with interruptions for renewed mixing and compression. The aim of the invention is to provide a method for producing transparent, p-conductive CuAlO2, without producing undesirable companion products, in particular for optoelectronic applications, said method facilitating the cost-effective production of pulverulent CuAlO2 with long-term stability. In said production method for transparent, p-conductive CuAlO2, an exchange reaction consistent with the crystalline structure takes place. The alpha modifications of the non-conductive, ceramic-type material LiAlO2 and CuCl then take part in a metathesis reaction by ion exchange, at a temperature in excess of approximately 330 °C, to form the desired crystalline structure of CuAlO2 and LiCl that can be washed out. The inventive method is suitable for the production of transparent p-conductive CuAlO2 for various optoelectronic applications, in particular large flat screens and thin-film solar cells.
    • 需要用于光电子应用的透明导电材料。 然而,到这里为止证明材料是半导体n型。 还需要是pTyps的透明半导体实现pn结。 只有少数这样的材料是已知的,长期稳定性是值得怀疑的。 氧化物在这里答应更高的稳定性,然而,在其下它们可以是p型的,非常严格的结构状况。 CuAlO 2的合成是通过二元氧化物,CuAl2O4尖晶石型或金属铜的形成复杂。 的二元氧化物在温度至少为1000的反应<°> C至少20小时的中断到目前为止所描述的再混合和挤压用于生产粉状,纯的CuAlO 2的。 它是用于生产透明的p型CuAlO 2的无干扰共产物,特别是提出了用于光电应用,这允许较低的温度下以粉末形式的经济生产长期稳定CuAlO 2的的方法。 在用于制备透明p型CuAlO 2的晶体结构兼容的交换反应发生所提出的方法。 此后,将非导电性,类陶瓷材料铝酸锂的α-修饰和氯化亚铜在通过离子交换的温度到CuAlO 2的和可洗的LiCl的所需晶体结构的复分解反应在约330℃反应。 本发明的方法是适合于生产透明的p型CuAlO 2的用于各种光电子应用,特别是大面积的平板显示器和薄膜太阳能电池。
    • 10. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TRANSPARENTEM P-LEITENDEM CuAlO2
    • 用于生产透明导电P CuAlO 2的
    • WO2004106593A2
    • 2004-12-09
    • PCT/DE2004/001069
    • 2004-05-18
    • HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GMBHDLOCZIK, LarissaTOMM, YvonneDITTRICH, ThomasLUX-STEINER, Martha, Christina
    • DLOCZIK, LarissaTOMM, YvonneDITTRICH, ThomasLUX-STEINER, Martha, Christina
    • C30B
    • H01L31/022466C01D15/04C01G3/00C01P2002/76C01P2006/40C23C14/08H01L31/0322H01L51/442H01L2251/305Y02E10/541Y02P70/521
    • Transparente leitfähige Materialien werden für optoelektronische Anwendungen benötigt. Jedoch sind die hier bisher bewährten Materialien Halbleiter vom n-Typ. Erforderlich sind auch transparente Halbleiter des p­Typs, um pn-Übergänge zu realisieren. Es sind nur wenige solche Materialien bekannt, deren Langzeitstabilität fraglich ist. Oxide würden hier eine höhere Stabilität verheißen, jedoch sind die strukturellen Bedingungen, unter denen sie p-leitend sein können, sehr restriktiv. Die Synthese von CuAlO 2 wird durch die Bildung von binären Oxiden, CuAl 2 O 4 vom Spinell-Typ oder metallischem Kupfer erschwert. Zur Herstellung von pulverförmigem, reinem CuAlO 2 ist bisher die Reaktion der binären Oxide bei Temperaturen von mindestens 1000 ° C für mindestens 20 Stunden mit Unterbrechungen zum erneuten Vermischen und Verpressen beschrieben. Es soll ein Verfahren zur Herstellung von transparentem p-leitendem CuAlO 2 ohne störende Begleitprodukte vorgeschlagen werden, insbesondere für optoelektronische Anwendungen, das mit geringerer Temperatur eine wirtschaftliche Herstellung von langzeitstabilem CuAlO 2 in Pulverform ermöglicht. Im vorgeschlagenen Verfahren zur Herstellung von transparentem p-leitendem CuAlO 2 erfolgt eine Kristallstruktur-konforme Austauschreaktion. Danach reagieren die alpha-Modifikation des nichtleitenden, keramikartigen Materials LiAlO 2 und CuCl in einer Metathesereaktion durch Ionen-Austausch bei einer Temperatur ab etwa 330 °C zur gewünschten Kristallstruktur von CuAlO 2 und zu auswaschbarem LiCl. Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich zur Herstellung von transparentem p-leitendem CuAlO 2 für die verschiedensten optoelektronischen Anwendungen, insbesondere großflächige Flachbildschirme und Dünnschicht-Solarzellen.
    • 需要用于光电子应用的透明导电材料。 然而,到这里为止证明材料是半导体n型。 还需要是pTyps的透明半导体实现pn结。 只有少数这样的材料是已知的,长期稳定性是值得怀疑的。 氧化物在这里答应更高的稳定性,然而,在其下它们可以是p型的,非常严格的结构状况。 CuAlO 2的合成是通过二元氧化物,CuAl2O4尖晶石型或金属铜的形成复杂。 的二元氧化物在温度至少为1000的反应<°> C至少20小时的中断到目前为止所描述的再混合和挤压用于生产粉状,纯的CuAlO 2的。 它是用于生产透明的p型CuAlO 2的无干扰共产物,特别是提出了用于光电应用,这允许较低的温度下以粉末形式的经济生产长期稳定CuAlO 2的的方法。 在用于制备透明p型CuAlO 2的晶体结构兼容的交换反应发生所提出的方法。 此后,将非导电性,类陶瓷材料铝酸锂的α-修饰和氯化亚铜在通过离子交换的温度到CuAlO 2的和可洗的LiCl的所需晶体结构的复分解反应在约330℃反应。 本发明的方法是适合于生产透明的p型CuAlO 2的用于各种光电子应用,特别是大面积的平板显示器和薄膜太阳能电池。