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1. 发明申请

WO2004056678A2 GRIPPER AND METHOD FOR OPERATING THE SAME 审中-公开
标题翻译：抓人和操作程序
公开(公告)号：WO2004056678A2
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/DE0303987
申请日：2003-12-04
申请人： SIEMENS AG , GERHARD DETLEF , LECHNER JOHANNES , RENNER MARTIN
发明人： GERHARD DETLEF , LECHNER JOHANNES , RENNER MARTIN
IPC分类号： B65G20060101 , B65G47/91 , H01L21/673 , H01L21/677 , H01L21/68 , B65G
CPC分类号： H01L21/68707 , Y10S414/135
摘要： The invention relates to a gripper for handling frames (2) that are covered with a film (3) that is intended for the transport of wafers (6). The gripper comprises at least two flat fingers (10) that carry flattened finger tips (8). This construction allows to insert the gripper between two frames (2) that are mounted in a cassette (9) without complication. The fingers (10) support in subsections both the frame (2) and the film (3). The film is attached to the frame due to the suction effect exerted by vacuum openings (5) configured on the frame, thereby fixating the film on the gripper
摘要翻译：本发明涉及一种用于处理覆盖有薄膜（3）的框架（2）的夹具，晶片（6）将在薄膜上传送。夹具具有至少两个带扁平指尖（8）的扁平指状物（10）。通过这种结构，可以实现夹具（9）安装框架（2）中夹具之间的无故障穿线。指状物10在框架2和薄膜3的部分区域内支撑。通过形成在框架真空开口（5）上的装置抽吸薄膜完成框架在夹具上的固定。

2. 发明申请

WO2003027630A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM OPTISCHEN ABTASTEN EINER SUBSTRATSCHEIBE 审中-公开
标题翻译：用于光盘扫描基片的装置和方法
公开(公告)号：WO2003027630A2
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：PCT/DE2002/003531
申请日：2002-09-20
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef , LECHNER, Johannes , RIEGER, Detlef
发明人： GERHARD, Detlef , LECHNER, Johannes , RIEGER, Detlef
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G03F7/7065 , G01N21/95 , G02B26/105
摘要： Die Erfindung betrifft ein optisches Abtastsystem (1) für eine Substratscheibe mit einer Bildaufnahmeeinrichtung (4) und einer Belichtungseinrichtung. Die Bildaufnahmeeinrichtung dient zum Abtasten einer Objektzeile (8) in einem Aufnahmebereich (2) auf der Substratscheibe. Die Belichtungseinrichtung umfasst eine Lichtquelle (10) und ein optisches System (3), wobei das optische System (3) so gestaltet ist, um abgestrahltes Licht von der Lichtquelle (10) als linienförmiger Belichtungsbereich an die Position der Objektzeile (8) und gleichmäßig über die gesamte Länge der aufzunehmenden Objektzeile (8) verteilt zu richten.
摘要翻译：本发明涉及一种用于具有图像记录装置（4）和曝光装置的衬底晶片的光学扫描系统（1）。图像记录装置用于扫描衬底晶片上的接收区域（2）中的物体线（8）。曝光装置包括：光源（10）和光学系统（3），其中，所述光学系统（3）被设计成从所述光源（10），linienf＆OUML发出的光;在所述对象线的位置WAVY曝光区域（8）和均匀分布在对象线（8）的整个长度上进行记录。

3. 发明申请

WO2009156346A1 LED-BELEUCHTUNGSSYSTEM FÜR EIN ELEKTRISCHES PRÜFSYSTEM 审中-公开
标题翻译： LED照明系统，电气系统检查
公开(公告)号：WO2009156346A1
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：PCT/EP2009/057671
申请日：2009-06-19
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef , HEIM, Ralf , LECHNER, Johannes
发明人： GERHARD, Detlef , HEIM, Ralf , LECHNER, Johannes
IPC分类号： G02B21/12 , G02B21/08
CPC分类号： G02B21/125 , G02B21/084
摘要： LED-Beleuchtung für ein optisches Prüfgerät mit Mikroskopoptik (8) zur Erzeugung einer mikroskopischen Abbildung wird beschrieben, wobei die LED-Beleuchtung eine Mehrzahl von LED-Einheiten (1, 2, 3) zur Prüfobjektbeleuchtung an unterschiedlichen Positionen am Prüfgerät umfasst. Die LED-Beleuchtung weist mindestens zwei unterschiedlich positionierte LED-Beleuchtungseinheiten (1, 2, 3) zur Erzeugung unterschiedlicher Beleuchtungsarten auf, die eine Beleuchtung im fernen Dunkelfeld, eine Beleuchtung im nahen Dunkelfeld, und die Beleuchtung im Hellfeld jeweils bedient.
摘要翻译：用于与显微镜光学器件（8），用于产生一显微图像的光学测试装置的LED照明被描述，其中，所述LED照明的多个LED单元（1，2，3），用于在Prüfobjektbeleuchtung对测试仪器的不同位置。 LED照明具有至少两个不同地定位LED照明单元（1，2，3），用于在明视场，产生不同类型的在不久的暗视场的远暗场照明使用的照明的照明，并且照明的分别。

4. 发明申请

WO03027630A3 DEVICE AND METHOD FOR OPTICALLY SCANNING A SUBSTRATE DISK 审中-公开
标题翻译：装置和方法用于光学扫描的盘基片
公开(公告)号：WO03027630A3
公开(公告)日：2003-08-14
申请号：PCT/DE0203531
申请日：2002-09-20
申请人： SIEMENS AG , GERHARD DETLEF , LECHNER JOHANNES , RIEGER DETLEF
发明人： GERHARD DETLEF , LECHNER JOHANNES , RIEGER DETLEF
IPC分类号： G01N21/95 , G02B26/10 , G03F7/20 , G01N21/88 , G01N21/956 , G02B17/00 , G02B26/08
CPC分类号： G03F7/7065 , G01N21/95 , G02B26/105
摘要： The invention relates to an optical scanning system (1) for a substrate disk, comprising an image recording device (4) and an exposure device. The image recording device scans an object line (8) in an area of recording (2) on the substrate disk. The exposure device comprises a light source (10) and an optical system (3), whereby said optical system (3) is adapted to direct the light emitted by the light source (10) as a linear exposure area onto the position of the object line (8) and evenly distributed across the entire length of the object line (8) to be recorded.
摘要翻译：本发明涉及一种光学扫描系统（1），用于与图像拾取装置（4）和曝光装置的衬底晶片。图像拾取装置用于在基板晶片上的接收区域（2）扫描对象线路（8）。曝光装置包括：光源（10）和光学系统（3），其中，所述光学系统（3）被设计成在对象线的位置从所述光源（10），线状的曝光区域发射的光（8）和均匀地判断分发对象的整个长度将被拾取管线（8）。

5. 发明申请

WO2003027748A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR PLANPARALLELEN AUSRICHTUNG EINER ZU INSPIZIERENDEN EBENEN OBJEKTOBERFLÄCHE ZU EINER FOKUSEBENE EINES OBJEKTIVES 审中-公开
标题翻译： FOR PLAN平行对齐的装置和方法将被检查LEVELS目的是焦平面物镜的表面
公开(公告)号：WO2003027748A1
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：PCT/DE2002/003522
申请日：2002-09-19
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , LECHNER, Johannes , GERHARD, Detlef
发明人： LECHNER, Johannes , GERHARD, Detlef
IPC分类号： G02B21/00
CPC分类号： G02B21/245 , G01N21/9501 , G02B21/24 , G02B21/241
摘要： Es wird beschrieben, wie eine zu inspizierende Objektoberfläche mittels einer Abstandsregelung zu einer Messoptik planparallel zu einer Fokusebene der Messoptik ausgerichtet wird, so dass bei der Inspektion von ausgedehnten Objektoberflächen hohe Inspektionsgeschwindigkeiten erzielbar ist. Unter Einsatz eines einem Messkopf nebengeschalteten Abstandsmesssystems lassen sich Schwankungen innerhalb der Topografie innerhalb der Objektoberfläche derart ausgleichen, dass der aktuell aufgenommene Punkt oder Bereich optisch scharf gestellt werden kann.
摘要翻译：它被描述为一个待检查物体表面由距离控制的装置对齐，以测量光学平面平行于光学测量系统的焦平面，从而可在广阔的检查对象的表面高的速度的检查来实现。使用下一个连接的测量头的距离测量系统中，在物体表面内的形貌变化可以被补偿，使得当前记录点或区域可以设置在视觉上锐。

6. 发明申请

WO2004056678A3 GREIFER UND BETRIEBSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2004056678A3
公开(公告)日：2004-07-08
申请号：PCT/DE2003/003987
申请日：2003-12-04
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef , LECHNER, Johannes , RENNER, Martin
发明人： GERHARD, Detlef , LECHNER, Johannes , RENNER, Martin
IPC分类号： H01L21/68
摘要： Die Erfindung betrifft einen Greifer für die Handhabung von mit einer Folie (3) bespannten Rahmen (2), wobei auf der Folie Wafer (6) transportiert werden sollen. Der Greifer weist mindestens zwei flache Finger (10) auf, die abgeflachte Fingerspitzen (8) tragen. Durch diese Konstruktion ist ein problemloses Einfädeln des Greifers zwischen zwei in einer Kassette (9) gelagerten Rahmen (2) möglich. Die Finger (10) unterstützen in Teilbereichen sowohl den Rahmen (2) als auch die Folie (3). Eine Fixierung des Rahmens auf dem Greifer geschieht durch Ansaugen der Folie mittels auf dem Rahmen ausgebildeter Unterdrucköffnungen (5).

7. 发明申请

WO1997009133A1 DEVICE FOR REDUCING THE DIGITAL IMAGE DATA ARISING ON THE SCANNING OF LOOSE ITEMS ON A CONVEYOR 审中-公开
标题翻译： DEVICE减少扫描布匹在传送带上出现的数字图像数据
公开(公告)号：WO1997009133A1
公开(公告)日：1997-03-13
申请号：PCT/DE1996001630
申请日：1996-09-02
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , LECHNER, Johannes , SCHMIDT, Wolfgang
发明人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： B07C03/14
CPC分类号： B07C3/14
摘要： The device contains a conveyor with at least one conveyor belt (3, 7, 11, 15) for loose items (25), the surface of which has a brightness which is as complementary as possible to that of the surfaces of fixed regions (1, 5, 9, 13, 17) visible near it and an electronic scanning device (ZK, L1, L2) extending approximately transversely (X) to the conveying direction (Y) over the width of the conveyor belt and the visible surfaces of the fixed regions for the linear detection of the brightnesses (I(x,y)). There is also a program-controlled computer (PC) which stores a sequence of the brightnesses (I(x)) occurring over the width (X) of the conveyor belt (3,...) and visible surfaces of the fixed regions (1,...) in the absence of a loose item (25) in a first store (SP1) and places current brightnesses (I(x,y)*) in a second store (SP2) as long as differences occur on the comparison with the corresponding values or values from the stored sequence (I(x)).
摘要翻译：该装置包括与至少一个输送带（3，7，11，15），用于片状物品（25），其表面具有固定到相邻的暴露表面的亮度在区域（1，5，9，13，17）尽可能亮度包括互补的输送机且a是大约横向（x）至在所述传送带的宽度和延伸电子扫描装置中的固定区域的可见表面的输送方向（Y）（ZK，L1，L2）的亮度强度值的线状的检测（I（X，Y））。另外，程序控制的计算单元（PC），其中在第一存储器（SP1）是一个序列关于传送带（3，...）和所述固定区（1 ......）的可见表面的宽度（X）（在不存在一块良好的 25）亮度强度值存在的（I（X））存储，并在第二存储器（SP2）存储的当前的亮度强度值（I（X，Y）*），只要（在相应的值或者与从所存储的顺序值组比较，我（X））的偏差。

8. 发明专利

AT410042B Device for clamping sheets to a portable flip-chart 未知
公开(公告)号：AT410042B
公开(公告)日：2003-01-27
申请号：AT204098
申请日：1998-12-03
申请人： LECHNER JOHANNES
发明人： LECHNER JOHANNES
IPC分类号： G09F15/00
摘要： Device for clamping standardised and non-standardised sheets (9) on a portable flip-chart or writing table (8) made of wood. The device consists of at least two clamp wings (6) made of wood in which holes are obliquely bored, and at least two wooden dowels (5) fastened to the writing table (8) and standing out at a right angle from the support surface, and onto each of which a respective clamp wing is pushed and gently pressed, so that the sheet(s) (9) lying thereunder are pressed fast onto the support surface of the writing table (8), and this fixing can easily be released again by light rotation of the clamping wings (6).

9. 发明专利

ATA204098A 未知
公开(公告)号：ATA204098A
公开(公告)日：2002-05-15
申请号：AT204098
申请日：1998-12-03
申请人： LECHNER JOHANNES
发明人： LECHNER JOHANNES
IPC分类号： G09F15/00

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