专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2012059365A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM HALTERN UND KONTAKTIEREN VON WAFERN 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR持有人及联系WAFERS
公开(公告)号：WO2012059365A1
公开(公告)日：2012-05-10
申请号：PCT/EP2011/068646
申请日：2011-10-25
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef , HEIM, Ralf , HEINE, Wolfgang , RENNER, Martin
发明人： GERHARD, Detlef , HEIM, Ralf , HEINE, Wolfgang , RENNER, Martin
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , G01R31/28
CPC分类号： H01L21/68728 , G01R31/2886 , H01L21/6838
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Haltern und Kontaktieren eines Wafers mit einem Trägerelement, welches dazu ausgelegt ist, auf einer Hauptoberfläche einen Wafer zu haltern und mindestens einem ersten Klammerelement, welches an dem Trägerelement beweglich angebracht ist und welches dazu ausgelegt ist, einen auf dem Trägerelement gehalterten Wafer zu kontaktieren, wobei das erste Klammerelement dazu ausgelegt ist, eine elektrische Verbindung zwischen einem Messpotential und dem auf dem Trägerelement gehalterten Wafer herzustellen.
摘要翻译：本发明涉及支撑晶片和上至少可移动地附接到所述支撑构件，并且其适于一个到设备用于保持和接触的晶片具有适于在一个主表面的载体元件的第一支架件保持晶片以接触载体元件，所述第一夹紧构件适于建立测量电势以及在支承元件上的支撑的晶片之间的电连接。

2. 发明申请

WO2010112504A1 VERFAHREN ZUR STRUKTURIERUNG EINER AUF EINEM SUBSTRAT BEFINDLICHEN SCHICHT MIT MEHREREN LAGEN 审中-公开
标题翻译：方法构建位于具有多层的层的衬底
公开(公告)号：WO2010112504A1
公开(公告)日：2010-10-07
申请号：PCT/EP2010/054195
申请日：2010-03-30
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef
发明人： GERHARD, Detlef
IPC分类号： H05K3/06
CPC分类号： H05K3/062 , H01L21/32139 , H05K1/0306 , H05K3/027 , H05K3/244 , H05K2201/09845 , H05K2203/0361 , H05K2203/107
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Strukturierung einer auf einem Substrat (11) befindlichen Schicht (12). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die oberste Lage (13) aus einem Edelmetall wie Au besteht und im ersten Prozessschritt mittels eines Laserstrahls (17) strukturiert wird. Hierbei entsteht eine Öffnung (18), so dass die oberste Schicht (13) als Ätzmaske zum Einsatz kommt. In einem weiteren Schritt können die weiteren Lagen (14, 15, 16) durch eine Ätzbehandlung strukturiert werden. Hierbei verbleibt die oberste Schicht (13) bei dem fertig gestellten Bauteil auf den unteren Lagen (14, 15, 16) und übernimmt hier eine besondere Funktion (z. B. als Bondfläche). Das Verfahren hat den Vorteil, dass die gesonderte Herstellung einer Ätzmaske nicht notwendig ist, die nach erfolgter Herstellung des Bauteils wieder entfernt werden müsste.
摘要翻译：本发明涉及用于在基板上构造一个（11）位于层（12）的方法。根据本发明，它提供了最上层（13）由贵金属如Au，并且在所述第一处理步骤（17）使用激光束的结构。这就产生了一个开口（18），使得最上面的层（13）被用作蚀刻掩模。在进一步的步骤另外的层（14，15，16）可通过蚀刻处理形成图案。这里，最上面的层（13）残留在成品部件到较低层（14，15，16），并在这里需要一个特定的功能（实施例，作为接合表面）。该方法具有的优点是，单独的生产蚀刻掩模是没有必要的，这将具有生产该部件的后再次去除。

3. 发明申请

WO2009043752A1 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR JUSTIERUNG VON MESSNADELN 审中-公开
标题翻译：方法和设备调整MEASURING针叶
公开(公告)号：WO2009043752A1
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/EP2008/062609
申请日：2008-09-22
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef
发明人： GERHARD, Detlef
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2891
摘要： Verfahren zur automatischen Justierung von Messnadeln (3) relativ zu Oberflächen von Prüflingen, wie elektronischen Bauelementen, wobei die Messnadeln zum elektrischen Prüfen relativ zum Prüfling verfahren werden und nach dem Aufsetzen und Kontaktieren entsprechend elektrisch Prüfen, wobei mittels eines optischen Sensors die Lage von Messnadeln (3) in einem Prüfsystem erkannt wird, eine Bildverarbeitung Fehlstellungen hinsichtlich einer Verdrehung einer Gruppe von Messnadeln ermittelt, und bei wesentlichen Fehlstellungen eine mit mehreren Messnadeln bestückte Messnadelspinne (1) mittels eines Stellantriebs (10) in die korrekte Lage gedreht wird.
摘要翻译：一种用于测量针（3）相对于测试对象，如电子元件，其特征在于，所述测量针移动，以相对于所述设备的电测试被测与载置后的表面和接触相应电检测，自动调节方法，其中（通过光学传感器来测量针的位置 3）在一个测试系统，该系统相对于确定的图像处理的未对准的一组测量针的旋转被检测到，并且在基本上不对准一个填充有多个测量针通过致动器来测量针蜘蛛（1）（10）被转动到正确的位置。

4. 发明申请

WO2003027630A2 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM OPTISCHEN ABTASTEN EINER SUBSTRATSCHEIBE 审中-公开
标题翻译：用于光盘扫描基片的装置和方法
公开(公告)号：WO2003027630A2
公开(公告)日：2003-04-03
申请号：PCT/DE2002/003531
申请日：2002-09-20
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef , LECHNER, Johannes , RIEGER, Detlef
发明人： GERHARD, Detlef , LECHNER, Johannes , RIEGER, Detlef
IPC分类号： G01N
CPC分类号： G03F7/7065 , G01N21/95 , G02B26/105
摘要： Die Erfindung betrifft ein optisches Abtastsystem (1) für eine Substratscheibe mit einer Bildaufnahmeeinrichtung (4) und einer Belichtungseinrichtung. Die Bildaufnahmeeinrichtung dient zum Abtasten einer Objektzeile (8) in einem Aufnahmebereich (2) auf der Substratscheibe. Die Belichtungseinrichtung umfasst eine Lichtquelle (10) und ein optisches System (3), wobei das optische System (3) so gestaltet ist, um abgestrahltes Licht von der Lichtquelle (10) als linienförmiger Belichtungsbereich an die Position der Objektzeile (8) und gleichmäßig über die gesamte Länge der aufzunehmenden Objektzeile (8) verteilt zu richten.
摘要翻译：本发明涉及一种用于具有图像记录装置（4）和曝光装置的衬底晶片的光学扫描系统（1）。图像记录装置用于扫描衬底晶片上的接收区域（2）中的物体线（8）。曝光装置包括：光源（10）和光学系统（3），其中，所述光学系统（3）被设计成从所述光源（10），linienf＆OUML发出的光;在所述对象线的位置WAVY曝光区域（8）和均匀分布在对象线（8）的整个长度上进行记录。

5. 发明申请

WO1998008183A1 METHOD FOR THE ILLUMINATION OF A SPECULAR OBJECT 审中-公开
标题翻译：方法用于照亮反射物体
公开(公告)号：WO1998008183A1
公开(公告)日：1998-02-26
申请号：PCT/DE1997001723
申请日：1997-08-13
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , SCHAAF, Johannes , GERHARD, Detlef , FROESE-PEECK, Rüdiger
发明人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： G06K07/10
CPC分类号： G06K7/10722 , G06K7/10594
摘要： According to the invention the method enables realization of defined light incidence angles on a specular object surface which is to be measured. Inside the LCD device (5) configured illumination surfaces (4) relative to the object are interconnected.The remaining surfaces (3) are blocked.
摘要翻译：与本发明的方法被定义可以在镜面物体上实现入射角要被测量的表面。在基于对象的液晶显示装置中实施（5）照明表面（4）被开启。剩余的表面（3）被锁定。

6. 发明申请

WO1994022104A1 IMAGING PROCESS FOR BAR CODES 审中-公开
标题翻译：程序采取条形码
公开(公告)号：WO1994022104A1
公开(公告)日：1994-09-29
申请号：PCT/DE1994000278
申请日：1994-03-14
申请人： SIEMENS AKIENGESELLSCHAFT , FROESE-PEECK, Rüdiger , GERHARD, Detlef , LECHNER, Johann
发明人： SIEMENS AKIENGESELLSCHAFT
IPC分类号： G06K07/10
CPC分类号： G06K7/10722 , G06K7/10732 , H01L2223/54493
摘要： The process is for use in a bar code reader. Bright field illumination is obtained by means of a special illumination of the bar code printed on a reflective surface/wafer and special reception optics. Optimum contrast between the images of the bar markings and the surrounding reflective surfaces provides enhanced recognition reliability.

7. 发明申请

WO2013060524A3 DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING A REFLECTIVE COATING 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR检查反射涂层的
公开(公告)号：WO2013060524A3
公开(公告)日：2013-06-20
申请号：PCT/EP2012067884
申请日：2012-09-13
申请人： SIEMENS AG , GERHARD DETLEF , GUNEY JOERG , KAUL JUERGEN , NIESEL BERND , WEBER MARTIN
发明人： GERHARD DETLEF , GUNEY JOERG , KAUL JUERGEN , NIESEL BERND , WEBER MARTIN
IPC分类号： G01B11/25 , G01N21/958
CPC分类号： G01N21/8422 , G01B11/25 , G01N2021/8427
摘要： The invention relates to a device and a method for inspecting a surface structure of a reflective coating (1). According to the invention, a deflectometry system is used in which a reflection of a light pattern generated by the reflective coating is detected and analyzed. A compact, reliable and portable system is proposed according the invention by means of using a plurality of light diodes actuated by a first actuating device (4).
摘要翻译：本发明涉及一种装置和用于检测反射涂层（1）的表面结构的方法。它用于在其中检测由光图案的镜面反射涂层所产生的信号并分析一个偏转测量系统。通过使用第一驱动装置的各种装置（4）驱动的LED，提出了一种紧凑的，可靠的和便携式系统。

8. 发明申请

WO2011036028A1 BELEUCHTUNGSSYSTEM MIT REGELBARER LICHTQUELLE UND IN DEREN STRAHLENGANG ANGEORDNETEM LICHTSENSOR 审中-公开
标题翻译：带可调光源，并在其射线GEAR照明系统安排LIGHT SENSOR
公开(公告)号：WO2011036028A1
公开(公告)日：2011-03-31
申请号：PCT/EP2010/062609
申请日：2010-08-30
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERGEN, Werner , GERHARD, Detlef
发明人： GERGEN, Werner , GERHARD, Detlef
IPC分类号： G02B6/00 , H05B33/08 , F21V8/00
CPC分类号： G02B6/0008 , F21V23/0457 , H05B33/0869
摘要： Die Erfindung betrifft ein Beleuchtungssystem mit einem Gehäuse (15), in dem eine regelbare Lichtquelle (13) (beispielsweise LED-Chips) angeordnet ist. Um die Helligkeit mittels Lichtsensoren (29) zu bestimmen, ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass Lichtleiter (27) verwendet werden, deren Lichtaufnahmeflächen (28) in den Strahlengang der Lichtquelle (13) hineinragen. Diese führen das ausgekoppelte Licht dann zu Lichtsensoren (29), die außerhalb des Strahlenganges der Lichtquelle (13) liegen und daher die Lichtintensität des ausgestrahlten Lichtfeldes vorteilhaft nur wenig verringern. Bevorzugt werden die Lichtaufnahmeflächen (28) als Teil einer Reflektorfläche (17) für das ausgestrahlte Licht ausgeführt.
摘要翻译：本发明涉及包括壳体（15），其中，一个可控光源（13）（例如，LED芯片）被设置的照明系统。为了确定由光传感器（29）的装置的亮度，本发明提供的是，光导（27）被使用，光接收表面突出（28）在所述光源（13）的光束路径中。然后，这引导所发射的光的光传感器（29），其位于所述光源（13），因此所发射的光场的光强度的光束路径外有利地减少只有很少的。光接收表面（28）优选作为一个反射器表面（17），用于发射光的一部分。

9. 发明申请

WO2010046339A1 BELEUCHTUNGSANORDNUNG MIT STUFEN UND EINEM LED-ARRAY 审中-公开
标题翻译：使用色阶照明装置和LED阵列
公开(公告)号：WO2010046339A1
公开(公告)日：2010-04-29
申请号：PCT/EP2009/063657
申请日：2009-10-19
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef
发明人： GERHARD, Detlef
IPC分类号： H01L25/075 , F21K99/00 , H05K1/03
CPC分类号： H05K1/183 , F21K9/00 , F21V5/04 , F21Y2107/50 , F21Y2115/10 , H01L25/0753 , H01L2224/48227 , H05K1/0203 , H05K1/021 , H05K1/0306 , H05K1/117 , H05K3/0061 , H05K2201/09481 , H05K2201/09845 , H05K2201/10106 , H05K2201/10409 , H05K2201/1053
摘要： Die Erfindung betrifft eine Beleuchtungsanordnung mit einem Trägerbauteil (11), auf dem LED-Chips (23) montiert sind. Erfindungsgemäß weist das bevorzugt monolithisch aus einer gut wärmeleitfähigen Keramik hergestellte Trägerbauteil (11) eine stufenförmige Oberfläche mit unterschiedlichen Niveaus (12, 13, 14) auf, so dass die LED-Chips (23) gestuft montiert werden können. Hierdurch ist vorteilhaft eine platzsparende Anordnung und elektrische Verbindung beispielsweise über Bonddrähte (24) möglich. Die aufgrund der hohen Packungsdichte der LED-Chips anfallende Verlustwärme wird durch die gut wärmeleitfähige Keramik des Trägerbauteils (11) vorteilhaft schnell abgeführt.
摘要翻译：本发明涉及一种包括支撑件（11）在其上的LED芯片（23）被安装在照明组件。根据本发明，支撑构件优选地整体地由高导热性的陶瓷（11）的具有可安装成使得所述发光二极管芯片（23）台阶不同的水平（12，13，14）的阶梯表面。这导致在一个节省空间的布置和电连接，例如经由接合线（24）可以是有利的。将由于LED芯片的热损失的高堆积密度得到的通过支承件的良好的热传导性的陶瓷消散（11）有利地是快的。

10. 发明申请

WO2009043653A1 VERFAHREN ZUR JUSTIERUNG VON MESSNADELN 审中-公开
标题翻译：方法调整测量针叶
公开(公告)号：WO2009043653A1
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/EP2008/061381
申请日：2008-08-29
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT , GERHARD, Detlef
发明人： GERHARD, Detlef
IPC分类号： G01R31/28
CPC分类号： G01R31/2891
摘要： Verfahren zur automatischen Justierung von Messnadeln (3) relativ zu Oberflächen von Prüflingen, wie elektronischen Bauelementen, wobei die Messnadeln zum elektrischen Prüfen relativ zum Prüfling verfahren werden und nach dem Aufsetzen und Kontaktieren entsprechend elektrisch prüfen, wobei mittels eines optischen Sensors die Lage von Messnadeln (3) mit dem Auflichtprinzip zu einem vorgebbaren Zeitpunkt in einem Prüfsystem erkannt wird, eine Bildverarbeitung Fehlstellungen hinsichtlich einer Verdrehung einer Gruppe von Messnadeln ermittelt, und bei wesentlichen Fehlstellungen eine mit mehreren Messnadeln bestückte Messnadelspinne (1) mittels eines Stellantriebs in die korrekte Lage gedreht wird.
摘要翻译：一种用于通过光学传感器来测量针（3）相对于测试对象，如电子部件的表面，其中所述测量针移动，以相对于电测试，以测试样品和进行电测试通过载置，并相应地接触，（测量针的位置的自动调整方法 3）与入射光原理被检测为在测试系统中在预定时间点，图像处理来确定相对于未对准的一组测量针的旋转，并且在基本上不对准一个填充有多个测量针测针蜘蛛（1）通过在正确的位置的致动器进行旋转的。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式