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1. 发明申请

WO2007140115A2 RAIL CAR BRAKING REGENERATION AND PROPULSION SYSTEM AND METHOD 审中-公开
标题翻译：铁路车辆制动再生和推进系统及方法
公开(公告)号：WO2007140115A2
公开(公告)日：2007-12-06
申请号：PCT/US2007068964
申请日：2007-05-15
申请人： ISE CORP , BARTLEY THOMAS LEE , KAUFMANN PAUL EVERETT
发明人： BARTLEY THOMAS LEE , KAUFMANN PAUL EVERETT
IPC分类号： B60T8/64 , B61C3/00 , G05D3/12
CPC分类号： B61C7/04 , B60L7/22 , B60L11/1803 , B60L2200/26 , B60T1/10 , B60T13/662 , Y02T10/7005 , Y02T30/16
摘要： A braking regeneration and propulsion system for a passive rail car including an axle with wheels includes a gear box to be operatively coupled to the axle; a motor/generator operatively coupled to the gear box; an energy storage for storing captured energy and supplying energy; and a control computer to assist deceleration of the passive rail car by causing the axle to drive the motor/generator via the gear box and supply energy to the energy storage system during deceleration, and, assist acceleration of the passive rail car by causing the motor/generator to draw energy from the energy storage system and drive the wheels via the gear box and axle during acceleration.
摘要翻译：一种用于包括具有车轮的车轮的被动轨道车辆的制动再生和推进系统包括可操作地联接到车轴的齿轮箱; 可操作地联接到齿轮箱的马达/发电机; 用于存储捕获的能量和供应能量的能量存储器; 以及控制计算机，通过使轴通过齿轮箱驱动电动机/发电机并且在减速期间向能量存储系统供给能量来辅助被动轨道车辆的减速，并且通过使电动机 /发电机从能量存储系统中吸取能量，并在加速期间通过齿轮箱和轴驱动车轮。

2. 发明申请

WO2009089999A1 PROJECTION EXPOSURE SYSTEM FOR MICROLITHOGRAPHY WITH A MEASUREMENT DEVICE 审中-公开
标题翻译：用于具有测量装置的微观计算的投影曝光系统
公开(公告)号：WO2009089999A1
公开(公告)日：2009-07-23
申请号：PCT/EP2009/000006
申请日：2009-01-02
申请人： CARL ZEISS SMT AG , MÜLLER, Ulrich , STÜHLER, Joachim , GROMER, Oswald , FREIMANN, Rolf , KAUFMANN, Paul , GEUPPERT, Bernhard
发明人： MÜLLER, Ulrich , STÜHLER, Joachim , GROMER, Oswald , FREIMANN, Rolf , KAUFMANN, Paul , GEUPPERT, Bernhard
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70775 , G03F7/70258 , G03F7/706 , G03F7/70633 , G03F7/70725 , G03F7/7085 , G03F7/70891
摘要： A projection exposure system (10) for microlithography is provided. The latter comprises: a mask holding device (14) for holding a mask (18) with mask structures (20) disposed on the latter, a substrate holding device (36) for holding a substrate (30), projection optics (26) for imaging the mask structures (20) onto the substrate (30) during an exposure process, and a measurement structure (48) which is disposed in a defined position with respect to a reference element (16) of the projection exposure system (10), which defined position is mechanically uncoupled from the position of the mask holding device (14). The projection exposure system (10) further comprises a detector (52) arranged for recording an image of the measurement structure (48) produced by imaging of the latter by means of the projection optics (26), the projection exposure system (10) being configured such that during operation of the projection exposure system (10) the imaging the mask structures (20) and the imaging of the measurement structure (48) take place at the same time respectively by means of the projection optics (26), and an evaluation device (54) which is configured to establish a lateral position of the image of the measurement structure (48) in the area of the detector (52) during the exposure process.
摘要翻译：提供了一种用于微光刻的投影曝光系统（10）。后者包括：用于保持具有设置在其上的掩模结构（20）的掩模（18）的掩模保持装置（14），用于保持基板（30）的基板保持装置（36），用于在曝光处理期间将掩模结构（20）成像到基板（30）上，以及相对于投影曝光系统（10）的参考元件（16）设置在限定位置的测量结构（48）所述限定位置与所述掩模保持装置（14）的位置机械地脱离。投影曝光系统（10）还包括检测器（52），其被布置用于通过投影光学器件（26）对由后者进行成像而产生的测量结构（48）的图像进行记录，所述投影曝光系统（10）被配置为使得在投影曝光系统（10）的操作期间，分别通过投影光学器件（26）同时进行掩模结构（20）的成像和测量结构（48）的成像，并且评估装置（54），其被配置为在曝光处理期间在所述检测器（52）的区域中建立所述测量结构（48）的图像的横向位置。

3. 发明申请

WO2008124317A3 DATA STORAGE AND DISPLAY DEVICE 审中-公开
公开(公告)号：WO2008124317A3
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：PCT/US2008/058350
申请日：2008-03-27
申请人： KAUFMANN, Paul
发明人： KAUFMANN, Paul
IPC分类号： G06F17/00
摘要： A process for providing information related to an individual or an animal in a portable display and storage device that allows other individuals to access the personal and medical information quickly. The process includes entering the information in formatted screens of data in a computer, transferring the formatted screens of data to the portable display and storage device, storing the formatted screens of data in the portable display and storage device, and displaying the formatted screens of data in the portable display and storage device. In some embodiments, the formatted screens of data in the display and storage device are transferred to a computer, modified, and transferred back to the display and storage device.

4. 发明申请

WO2008124317A2 DATA STORAGE AND DISPLAY DEVICE 审中-公开
标题翻译：数据存储和显示设备
公开(公告)号：WO2008124317A2
公开(公告)日：2008-10-16
申请号：PCT/US2008058350
申请日：2008-03-27
申请人： KAUFMANN PAUL
发明人： KAUFMANN PAUL
IPC分类号： G06F3/048
CPC分类号： G16H10/65 , G16H40/63
摘要： A process for providing information related to an individual or an animal in a portable display and storage device that allows other individuals to access the personal and medical information quickly. The process includes entering the information in formatted screens of data in a computer, transferring the formatted screens of data to the portable display and storage device, storing the formatted screens of data in the portable display and storage device, and displaying the formatted screens of data in the portable display and storage device. In some embodiments, the formatted screens of data in the display and storage device are transferred to a computer, modified, and transferred back to the display and storage device.
摘要翻译：用于在便携式显示和存储设备中提供与个人或动物相关的信息的过程，其允许其他个人快速访问个人和医疗信息。该过程包括在计算机中以格式化的数据化屏幕输入信息，将格式化的数据屏幕传送到便携式显示和存储设备，将格式化的数据屏幕存储在便携式显示和存储设备中，并且显示格式化的数据屏幕在便携式显示和存储设备中。在一些实施例中，将显示和存储设备中的格式化数据的屏幕传送到计算机，修改并传送回显示和存储设备。

5. 发明申请

WO2006002859A3 ILLUMINATION SOURCE, WAVEFRONT MEASURING DEVICE AND MICROLITHOGRAPHY PROJECTION ILLUMINATION DEVICE 审中-公开
标题翻译：照明光源波前测量装置和微型投影光刻曝光系统
公开(公告)号：WO2006002859A3
公开(公告)日：2006-06-22
申请号：PCT/EP2005006918
申请日：2005-06-28
申请人： ZEISS CARL SMT AG , DAHL MANFRED , GOEPPERT MARKUS , HAIDNER HELMUT , MENGEL MARKUS , KAUFMANN PAUL , SCHUHMACHER DAGMAR , WEGMANN ULRICH
发明人： DAHL MANFRED , GOEPPERT MARKUS , HAIDNER HELMUT , MENGEL MARKUS , KAUFMANN PAUL , SCHUHMACHER DAGMAR , WEGMANN ULRICH
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70008 , G03F7/70375 , G03F7/706
摘要： The invention relates to an illumination source for providing three-dimensionally structured illumination radiation, in particular in the EUV wavelength range, to a wavefront measuring device, which is provided with an illumination source of this type and to a projection illumination system for microlithography. The inventive illumination source comprises: a particle radiation source (11), an illumination mask (4c), which is covered by a structured or unstructured target material (8c) that emits the illumination radiation a) when bombarded with a particle beam (13) emitted by the particle radiation source. The invention can be used e.g. for the wavefront measurement of optical reproduction systems of microlithography systems, whose operating wavelength lies in the EUV wavelength range.
摘要翻译：本发明涉及的照明源为在EUV波长范围内提供一个空间结构照明辐射，特别是，和一个这样配备的波前测量装置和相应的微光刻Projektionsbelichtungsanlage.Die发明提出用粒子束源（11），照明掩模（图4c的照明源），它（具有结构化或非结构化靶材料8c）的忙，通过从粒子束源（13发射粒子束轰击后发射）时，照射辐射（a）中。例如使用对于在EUV波长范围内操作微光刻系统的光学成像系统的波前测量，其中，所述工作波长。

6. 发明申请

WO2006002859A2 BELEUCHTUNGSQUELLE, WELLENFRONTVERMESSUNGSVORRICHTUNG UND MIKROLITHOGRAFIE-PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE 审中-公开
标题翻译：照明源，波前测量装置和显微投影曝光装置
公开(公告)号：WO2006002859A2
公开(公告)日：2006-01-12
申请号：PCT/EP2005/006918
申请日：2005-06-28
申请人： CARL ZEISS SMT AG , DAHL, Manfred , GOEPPERT, Markus , HAIDNER, Helmut , MENGEL, Markus , KAUFMANN, Paul , SCHUHMACHER, Dagmar , WEGMANN, Ulrich
发明人： DAHL, Manfred , GOEPPERT, Markus , HAIDNER, Helmut , MENGEL, Markus , KAUFMANN, Paul , SCHUHMACHER, Dagmar , WEGMANN, Ulrich
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70008 , G03F7/70375 , G03F7/706
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Beleuchtungsquelle zur Bereitstellung einer räumlich strukturierten Beleuchtungsstrahlung, insbesondere im EUV-Wellenlängenbereich, und auf eine damit ausgerüstete Wellenfrontvermessungsvorrichtung und auf eine entsprechende Mikrolithografie-Projektionsbelichtungsanlage.Die Erfindung schlägt eine Beleuchtungsquelle mit einer Teilchenstrahlquelle (11), einer Beleuchtungsmaske (4c), die mit einem strukturierten oder unstrukturierten Targetmaterial (8c) belegt ist, das bei Beschuss durch einen von der Teilchenstrahlquelle emittierten Teilchenstrahl (13) die Beleuchtungsstrahlung (a) emittiert. Verwendung z.B. zur Wellenfrontvermessung optischer Abbildungssysteme von Mikrolithografiesystemen, die im EUV-Wellenlängenbereich arbeiten, bei deren Betriebswellenlänge.
摘要翻译：
本发明涉及的照明源，用于提供A R AUML;空间结构化照明辐射，特别是在EUV波长BEAR长度范围内，并且一个这样对准导航使用恒定波前测量装置和相应的微光刻Projektionsbelichtungsanlage.Die发明 SCHL BEAR GT与具有结构化或非结构化的靶材料的粒子射线源（11），照明掩模（图4c）的照明源（图8C）为满时，当通过从粒子束粒子束发射的光轰击（13）射出的照明辐射的（a），使用例如适用于在EUV波长范围工作的微光刻系统的光学成像系统的波前测量，在其工作波长处

7. 发明申请

WO2005047979A3 OPTICAL SYSTEM 审中-公开
标题翻译：光学系统
公开(公告)号：WO2005047979A3
公开(公告)日：2005-09-09
申请号：PCT/EP2004012113
申请日：2004-10-27
申请人： ZEISS CARL SMT AG , SOHMEN ERIK , KAUFMANN PAUL , SCHWARZ WERNER
发明人： SOHMEN ERIK , KAUFMANN PAUL , SCHWARZ WERNER
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70825 , G03F7/70833
摘要： An optical signal, in particular for projection microlithography, having optical elements (2), in particular mirrors and/or lenses, in a sealed sheath in which there is an inert gas or vacuum, and having a bearing (1) with a bearing gap. The bearing is a fluid bearing and the bearing gap (7) has restriction stages and is pumped differentially in two or more stages.
摘要翻译：特别是用于投影微光刻的光学信号，在具有惰性气体或真空的密封护套中具有光学元件（2），特别是镜子和/或透镜，并且具有轴承间隙（1）。轴承是流体轴承，轴承间隙（7）具有限制级，并且在两个或多个阶段中有差异地泵送。

8. 发明专利

DD145708B1 未知
公开(公告)号：DD145708B1
公开(公告)日：1982-12-15
申请号：DD21532579
申请日：1979-09-03
申请人： KAUFMANN PAUL
发明人： KAUFMANN PAUL
IPC分类号： A63C9/00 , A63C9/08 , A63C9/084 , A63C9/085

9. 发明专利

DD145708A1 未知
公开(公告)号：DD145708A1
公开(公告)日：1981-01-07
申请号：DD21532579
申请日：1979-09-03
申请人： KAUFMANN PAUL
发明人： KAUFMANN PAUL
IPC分类号： A63C9/00 , A63C9/08 , A63C9/084 , A63C9/085

10. 发明专利

CH32777A Gummisauger für Kinder 未知
公开(公告)号：CH32777A
公开(公告)日：1905-09-15
申请号：CH32777D
申请日：1904-12-08
申请人： KAUFMANN PAUL
发明人： KAUFMANN PAUL

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