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1. 发明授权

US08543239B2 Robot control apparatus 有权
标题翻译：机器人控制装置
公开(公告)号：US08543239B2
公开(公告)日：2013-09-24
申请号：US12597954
申请日：2009-09-28
申请人： Junichiro Oga , Junji Oaki , Hideki Ogawa
发明人： Junichiro Oga , Junji Oaki , Hideki Ogawa
IPC分类号： G06F7/00 , G05B19/04
CPC分类号： G05B19/416 , B25J9/1651 , G05B2219/39257 , G05B2219/43203
摘要： A robot control apparatus includes: a joint angular velocity estimation unit (115) calculating a plurality of first joint angular accelerations in already executed control cycles by calculating a joint angular acceleration from a joint angle for each control cycle, and estimating a joint angular velocity in a still unexecuted control cycle from the first joint angular accelerations; a velocity determination unit (113) determining whether the estimated joint angular velocity exceeds a maximum velocity; and a suppression velocity calculation unit (114) calculating a suppression joint angular velocity in the still unexecuted control cycle from the estimated joint angular velocity.
摘要翻译：一种机器人控制装置，包括：关节角速度估计单元，通过从每个控制周期的关节角度计算关节角加速度，并且估计接合角速度，从而计算已经执行的控制循环中的多个第一关节角加速度来自第一关节角加速度的仍然未执行的控制周期; 速度确定单元，确定估计的关节角速度是否超过最大速度; 以及抑制速度计算部（114），根据所估计的关节角速度计算所述静止未执行控制周期中的抑制关节角速度。

2. 发明申请

US20110060460A1 ROBOT CONTROL APPARATUS 有权
标题翻译：机器人控制装置
公开(公告)号：US20110060460A1
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：US12597958
申请日：2009-09-28
申请人： Junichiro Oga , Junji Oaki , Hideki Ogawa
发明人： Junichiro Oga , Junji Oaki , Hideki Ogawa
IPC分类号： B25J9/16
CPC分类号： B25J9/1633 , G05B2219/39353 , G05B2219/39355 , G05B2219/41374 , G05B2219/41387
摘要： A robot control apparatus includes: a drive unit (101) driving an actuator (115) based on a torque command value; a drive torque estimation unit (107) estimating a drive torque from a joint shaft angle; an external torque calculation unit (108) calculating a difference between the estimated drive torque and the torque command value as an external torque; a Jacobian matrix calculation unit (105) calculating a Jacobian matrix based on the joint shaft angle; an external force calculation unit (109) calculating an external force from the Jacobian matrix and the external torque; and a correction amount calculation unit (110) calculating a correction amount from the external force.
摘要翻译：机器人控制装置包括：驱动单元，其基于转矩指令值驱动致动器; 驱动扭矩估计单元，从关节轴角度估计驱动扭矩; 外部扭矩计算单元，计算所述推定驱动转矩与所述转矩指令值之差作为外部转矩; 雅可比矩阵计算单元，基于所述关节轴角计算雅可比矩阵; 计算来自雅可比矩阵和外部扭矩的外力的外力计算单元（109）; 以及校正量计算单元，从外力计算校正量。

3. 发明授权

US07787686B2 Image density-adapted automatic mode switchable pattern correction scheme for workpiece inspection 有权
标题翻译：用于工件检测的图像密度适应自动模式切换模式校正方案
公开(公告)号：US07787686B2
公开(公告)日：2010-08-31
申请号：US12482836
申请日：2009-06-11
申请人： Junji Oaki , Shinji Sugihara
发明人： Junji Oaki , Shinji Sugihara
IPC分类号： G06K9/00
CPC分类号： G03F1/84 , G03F7/70625 , G06T7/0004 , G06T2207/30148
摘要： An image correction device for use in a pattern inspection apparatus is disclosed, which has automatic adaptability to variations in density of a pattern image of a workpiece being tested. The device is operable to identify a two-dimensional (2D) linear predictive model parameters from the pattern image of interest and determine the value of a total sum of these identified parameters. This value is then used to switch between a corrected pattern image due to the 2D linear prediction modeling and a corrected image that is interpolated by bicubic interpolation techniques. A pattern inspection method using the image correction technique is also disclosed.
摘要翻译：公开了一种用于图案检查装置的图像校正装置，其具有对被测工件的图案图像的密度变化的自动适应性。该装置可操作以从感兴趣的图案图像中识别二维（2D）线性预测模型参数，并确定这些识别的参数的总和的值。然后，该值用于在2D线性预测建模的校正图案图像与通过双三次插值技术内插的校正图像之间切换。还公开了使用图像校正技术的图案检查方法。

4. 发明授权

US07627164B2 Pattern inspection method and apparatus with high-accuracy pattern image correction capability 有权
标题翻译：具有高精度图案图像校正能力的图案检测方法和装置
公开(公告)号：US07627164B2
公开(公告)日：2009-12-01
申请号：US11360657
申请日：2006-02-24
申请人： Junji Oaki , Nobuyuki Harabe
发明人： Junji Oaki , Nobuyuki Harabe
IPC分类号： G06K9/00
CPC分类号： G06T7/001 , G06T2207/30164
摘要： A high-accuracy image correction device adaptable for use in pattern inspection apparatus is disclosed. The device includes a correction region designation unit which designates a correction region including a pattern and its nearby portion within each of an inspection reference pattern image and a pattern image under test. The device also includes an equation generator which generates by linear predictive modeling a set of simultaneous equations for a reference pattern image within the correction region and an under-test pattern image within the correction region, a parameter generator for solving the equations to obtain more than one model parameter, and a corrected pattern image generator for using the model parameter to apply the linear predictive modeling to the reference pattern image to thereby generate a corrected pattern image. A pattern inspection method using the image correction technique is also disclosed.
摘要翻译：公开了适用于图案检查装置的高精度图像校正装置。该装置包括校正区域指定单元，其指定在检查参考图案图像和被测图案图像的每一个内包括图案及其附近部分的校正区域。该装置还包括方程发生器，其通过线性预测建模生成校正区域内的参考图案图像的一组联立方程和校正区域内的测试下图案图像，用于求解方程以获得超过一个模型参数和校正的图案图像生成器，用于使用模型参数将线性预测建模应用于参考图案图像，从而生成校正的图案图像。还公开了使用图像校正技术的图案检查方法。

5. 发明申请

US20090245619A1 IMAGE DENSITY-ADAPTED AUTOMATIC MODE SWITCHABLE PATTERN CORRECTION SCHEME FOR WORKPIECE INSPECTION 有权
标题翻译：图像密度适应性自动模式切换图案检查方案
公开(公告)号：US20090245619A1
公开(公告)日：2009-10-01
申请号：US12482836
申请日：2009-06-11
申请人： Junji Oaki , Shinji Sugihara
发明人： Junji Oaki , Shinji Sugihara
IPC分类号： G06K9/00
CPC分类号： G03F1/84 , G03F7/70625 , G06T7/0004 , G06T2207/30148
摘要： An image correction device for use in a pattern inspection apparatus is disclosed, which has automatic adaptability to variations in density of a pattern image of a workpiece being tested. The device is operable to identify a two-dimensional (2D) linear predictive model parameters from the pattern image of interest and determine the value of a total sum of these identified parameters. This value is then used to switch between a corrected pattern image due to the 2D linear prediction modeling and a corrected image that is interpolated by bicubic interpolation techniques. A pattern inspection method using the image correction technique is also disclosed.
摘要翻译：公开了一种用于图案检查装置的图像校正装置，其具有对被测工件的图案图像的密度变化的自动适应性。该装置可操作以从感兴趣的图案图像中识别二维（2D）线性预测模型参数，并确定这些识别的参数的总和的值。然后，该值用于在2D线性预测建模的校正图案图像与通过双三次插值技术内插的校正图像之间切换。还公开了使用图像校正技术的图案检查方法。

6. 发明申请

US20070064996A1 Pattern inspection method and apparatus using linear predictive model-based image correction technique 有权
标题翻译：使用基于线性预测模型的图像校正技术的图案检查方法和装置
公开(公告)号：US20070064996A1
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：US11360813
申请日：2006-02-24
申请人： Junji Oaki , Shinji Sugihara , Yuichi Nakatani
发明人： Junji Oaki , Shinji Sugihara , Yuichi Nakatani
IPC分类号： G06K9/00
CPC分类号： G03F7/7065 , G03F1/84 , G03F7/705 , G06T7/0004
摘要： An image correction device for use in pattern inspection apparatus is disclosed. This device includes a pattern extraction unit for extracting a pattern, as a cut-and-paste pattern, from a pattern existence region of an inspection reference pattern image and a pattern image of a workpiece being tested. The device also includes a pattern pasting unit for pasting the cut-and-paste pattern in blank regions of the reference and under-test pattern images to thereby create a pasted reference pattern image and a pasted test pattern image. The device further includes an equation generator for generating by linear predictive modeling a set of simultaneous equations relative to the pasted reference and test pattern images, a parameter generator for solving these equations to obtain a model parameter(s), and a unit for creating a corrected pattern image by the linear predictive modeling using the model parameter(s).
摘要翻译：公开了一种用于图案检查装置的图像校正装置。该装置包括：图案提取单元，用于从检查参考图案图像的图案存在区域和被测工件的图案图像中提取图案作为切割和粘贴图案。该装置还包括一个图案粘贴单元，用于将剪切和粘贴图案粘贴在参考和未测试图案图像的空白区域中，从而产生粘贴的参考图案图像和粘贴的测试图案图像。该装置还包括一个等式发生器，用于通过线性预测建模生成相对于粘贴的参考和测试图案图像的一组联立方程，用于求解这些方程以获得模型参数的参数发生器，以及用于创建通过使用模型参数的线性预测建模来校正图案图像。

7. 发明申请

US20070064995A1 Image density-adapted automatic mode switchable pattern correction scheme for workpiece inspection 有权
标题翻译：用于工件检测的图像密度适应自动模式切换模式校正方案
公开(公告)号：US20070064995A1
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：US11360679
申请日：2006-02-24
申请人： Junji Oaki , Shinji Sugihara
发明人： Junji Oaki , Shinji Sugihara
IPC分类号： G06K9/00
CPC分类号： G03F1/84 , G03F7/70625 , G06T7/0004 , G06T2207/30148
摘要： An image correction device for use in a pattern inspection apparatus is disclosed, which has automatic adaptability to variations in density of a pattern image of a workpiece being tested. The device is operable to identify a two-dimensional (2D) linear predictive model parameters from the pattern image of interest and determine the value of a total sum of these identified parameters. This value is then used to switch between a corrected pattern image due to the 2D linear prediction modeling and a corrected image that is interpolated by bicubic interpolation techniques. A pattern inspection method using the image correction technique is also disclosed.
摘要翻译：公开了一种用于图案检查装置的图像校正装置，其具有对被测工件的图案图像的密度变化的自动适应性。该装置可操作以从感兴趣的图案图像中识别二维（2D）线性预测模型参数，并确定这些识别的参数的总和的值。然后，该值用于在2D线性预测建模的校正图案图像与通过双三次插值技术内插的校正图像之间切换。还公开了使用图像校正技术的图案检查方法。

8. 发明申请

US20050246061A1 Robot controller and robot controlling method 有权
标题翻译：机器人控制器和机器人控制方法
公开(公告)号：US20050246061A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：US11065272
申请日：2005-02-25
申请人： Junji Oaki , Hideaki Hashimoto , Fumio Ozaki , Hirokazu Sato
发明人： Junji Oaki , Hideaki Hashimoto , Fumio Ozaki , Hirokazu Sato
IPC分类号： B25J13/08 , B25J9/16 , G05B19/18 , G06F19/00
CPC分类号： B25J9/1692
摘要： A robot controller according to an embodiment of the present invention comprises a base; a first link; a first actuator which drives to rotate the first link relative to the base; a first torque transmission mechanism which transmits the torque of the first actuator to the first link at a speed reducing ratio of N1; a first angular sensor which detects a rotating angle θM1 of the first actuator; a first angular velocity sensor which detects an angular velocity ωA1 of the first link rotating relatively to the base; and a processor which calculates an angle of the first link relatively to the base by using a high frequency content of an integrated value of ωA1 and a low frequency content of θM1*N1, the high frequency content being equal to a first frequency or higher and the low frequency content being equal to a first frequency or lower.
摘要翻译：根据本发明的实施例的机器人控制器包括基座; 第一个链接第一致动器，其驱动以使所述第一连杆相对于所述基座旋转; 第一扭矩传递机构，以N 1的减速比将第一致动器的扭矩传递到第一连杆; 第一角度传感器，其检测第一致动器的旋转角度θM1; 第一角速度传感器，其检测相对于所述基座旋转的所述第一连杆的角速度ωA 1 A 1; 以及处理器，其通过使用ωα1A的积分值和θC1的低频内容的高频内容来计算第一链路相对于基底的角度，高频内容等于第一频率以上，低频内容等于第一频率以下。

9. 发明申请

US20120150347A1 ROBOT CONTROLLING DEVICE 有权
标题翻译：机器人控制装置
公开(公告)号：US20120150347A1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：US13397741
申请日：2012-02-16
申请人： Junichiro Ohga , Junji Oaki , Hideki Ogawa
发明人： Junichiro Ohga , Junji Oaki , Hideki Ogawa
IPC分类号： B25J13/08
CPC分类号： B25J9/1633 , G05B2219/39325
摘要： A robot controlling device includes: a position error calculator calculating a position error between an endpoint position of a robot and a position commanded value for the endpoint position; an external force calculator calculating an external force applied to the endpoint position; a force commanded value generator generating a force commanded value for the endpoint position; a force error calculator calculating a force error between the external force and the force commanded value; a storage storing the compliance model for the endpoint position; a first correction amount calculator calculating a first correction amount for the position commanded value, according to the force error, using the compliance model; and a second correction amount calculator calculating a second correction amount for the position commanded value, on the basis of the first order lag compensation for the first correction amount. The position error calculator calculates the position error, using the second correction amount.
摘要翻译：机器人控制装置包括：位置误差计算器，计算机器人的端点位置与端点位置的位置指令值之间的位置误差; 计算施加到端点位置的外力的外力计算器; 力指令值发生器产生用于所述端点位置的力命令值; 计算外力与力指令值之间的力误差的力误差计算器; 存储用于端点位置的合规性模型的存储器; 第一校正量计算器，使用所述合规模型，根据所述力误差计算所述位置指令值的第一校正量; 以及第二校正量计算器，基于第一校正量的一阶滞后补偿来计算位置指令值的第二校正量。位置误差计算器使用第二校正量来计算位置误差。

10. 发明申请

US20110218673A1 ROBOT CONTROL APPARATUS 有权
标题翻译：机器人控制装置
公开(公告)号：US20110218673A1
公开(公告)日：2011-09-08
申请号：US12597954
申请日：2009-09-28
申请人： Junichiro Oga , Junji Oaki , Hideki Ogawa
发明人： Junichiro Oga , Junji Oaki , Hideki Ogawa
IPC分类号： B25J9/16
CPC分类号： G05B19/416 , B25J9/1651 , G05B2219/39257 , G05B2219/43203
摘要： A robot control apparatus includes: a joint angular velocity estimation unit (115) calculating a plurality of first joint angular accelerations in already executed control cycles by calculating a joint angular acceleration from a joint angle for each control cycle, and estimating a joint angular velocity in a still unexecuted control cycle from the first joint angular accelerations; a velocity determination unit (113) determining whether the estimated joint angular velocity exceeds a maximum velocity; and a suppression velocity calculation unit (114) calculating a suppression joint angular velocity in the still unexecuted control cycle from the estimated joint angular velocity.
摘要翻译：一种机器人控制装置，包括：关节角速度估计单元，通过从每个控制周期的关节角度计算关节角加速度，并且估计接合角速度，从而计算已经执行的控制循环中的多个第一关节角加速度来自第一关节角加速度的仍然未执行的控制周期; 速度确定单元，确定估计的关节角速度是否超过最大速度; 以及抑制速度计算部（114），根据所估计的关节角速度计算所述静止未执行控制周期中的抑制关节角速度。

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