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1. 发明专利

JP2009124156A Mbe apparatus and method of its operation 审中-公开
标题翻译： MBE装置及其操作方法
公开(公告)号：JP2009124156A
公开(公告)日：2009-06-04
申请号：JP2008293886
申请日：2008-11-17
申请人： Createc Fischer & Co Gmbh , Forschungsverbund Berlin Ev , クレアテックフィッシャー・ウント・コー・ゲーエムベーハーCreaTec Fischer & Co. GmbH , フォルシュングスフェアブントベルリンエーファウForschungsverbund Berlin e.V.
发明人： SCHOENHERR HANS-PETER , FISCHER ALBRECHT
IPC分类号： H01L21/205
CPC分类号： C30B23/02 , C30B23/06 , C30B25/02 , C30B25/10 , C30B29/403 , C30B29/406
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a molecular beam epitaxy (MBE) apparatus which can discharge ammonia gas with high reliability and realizes reaction growth of a group III nitride compound semiconductor, and to provide a method of its operation.
SOLUTION: The molecular beam epitaxy (MBE) apparatus comprises: at least one electron beam source 11; a vacuum chamber 10 having at least one injector 12 to inject ammonia into the vacuum chamber 10; a first cold trap unit 20 having at least one cold trap 21 to condense excess ammonia; a pump unit 30 having at least one pump 31 to evacuate the chamber 10; and a barrier unit 40; where the barrier unit 40 can divide the first cold trap unit 20 from the vacuum chamber 10.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可以高可靠性排放氨气并实现III族氮化物化合物半导体的反应生长的分子束外延（MBE）装置，并提供其操作方法。解决方案：分子束外延（MBE）装置包括：至少一个电子束源11; 具有至少一个喷射器12以将氨注入真空室10的真空室10; 具有至少一个冷阱21以冷凝多余氨的第一冷阱单元20; 泵单元30具有至少一个泵31以抽出腔室10; 和屏障单元40; 其中阻挡单元40可以将第一冷阱单元20与真空室10分开。版权所有：（C）2009，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2010534770A High temperature evaporator cell with a parallel-connected heating zones 审中-公开
公开(公告)号：JP2010534770A
公开(公告)日：2010-11-11
申请号：JP2010518535
申请日：2008-07-21
申请人：クレアテックフィッシャー・ウント・コー・ゲーエムベーハーCreaTec Fischer & Co. GmbH , フォルシュングスフェアブントベルリンエーファウForschungsverbund Berlin e.V.
发明人：フィッシャー，アルブレヒト , ブラウン，ヴォルフガング , 達郎綿引
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/08
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/066
摘要： Evaporation cell (100) including a crucible (10) for reception of the material to be evaporated, has a base (11) and side wall (12) which extends in the axial direction of the crucible. The crucible has a hole (13) and includes a heater on the outside of the crucible with a heater wall (21) and includes a number of heating regions. The heaters are resistance or electron beam heaters. An independent claim is included for a method of evaporating high melting materials using the evaporation cell described.

3. 发明专利

TW200923145A 分子束磊晶裝置及其運作方法 MBE-EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN BETRIEB 审中-公开
简体标题：分子束磊晶设备及其运作方法 MBE-EINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN BETRIEB
公开(公告)号：TW200923145A
公开(公告)日：2009-06-01
申请号：TW097144023
申请日：2008-11-14
申请人：福斯創弗邦柏林公司 FORSCHUNGSVERBUND BERLIN E. V. , 費雪創新科技有限公司 CREATEC FISCHER & CO. GMBH
发明人：瓊海漢斯彼德 SCHOENHERR, HANS-PETTER , 費雪阿爾布雷特 FISCHER, ALBRECHT
IPC分类号： C30B , H01L , C23C
CPC分类号： C30B23/02 , C30B23/06 , C30B25/02 , C30B25/10 , C30B29/403 , C30B29/406
摘要：一種用於反應沉積III族氮化物複合半導體之分子束磊晶裝置,包括一真空室,一第一冷凝裝置,一泵裝置以及一阻塞裝置。其中該真空室包含有至少一分子束源以及至少一噴射器用來噴射氨氣於真空室內;該第一冷凝裝置設有至少一冷凝捕集器用來凝結剩餘之氨氣;該泵裝置設有至少一泵用來抽空真空室;該阻塞裝置用來將第一冷凝裝置與真空室隔開。此外又包括該分子束磊晶裝置之運轉方法。
简体摘要：一种用于反应沉积III族氮化物复合半导体之分子束磊晶设备,包括一真空室,一第一冷凝设备,一泵设备以及一阻塞设备。其中该真空室包含有至少一分子束源以及至少一喷射器用来喷射氨气于真空室内;该第一冷凝设备设有至少一冷凝捕集器用来凝结剩余之氨气;该泵设备设有至少一泵用来抽空真空室;该阻塞设备用来将第一冷凝设备与真空室隔开。此外又包括该分子束磊晶设备之运转方法。

4. 发明申请

WO2011060905A3 DEVICE AND METHOD FOR THERMAL EVAPORATION OF SILICON 审中-公开
标题翻译：硅的热蒸发装置和方法
公开(公告)号：WO2011060905A3
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：PCT/EP2010006910
申请日：2010-11-12
申请人： MAX PLANCK GESELLSCHAFT , CREATEC FISCHER & CO GMBH , JEURGENS LARS , FISCHER ALBRECHT
发明人： JEURGENS LARS , FISCHER ALBRECHT
IPC分类号： C23C14/24
CPC分类号： C23C14/243
摘要： An evaporator cell (100), in particular for evaporating a high-melting material like Si, comprises a first crucible (10) being adapted for receiving the material to be evaporated and providing a first evaporation volume, and a heating device (30) being arranged for heating the first crucible (10), wherein the first crucible (10) is arranged in a second crucible (20) surrounding the first crucible (10), so that a spacing (25) is formed between the first and second crucibles (10, 20), wherein the spacing (25) provides a second evaporation volume. Furthermore, a coating installation provided with at least one evaporator cell and a process for evaporating a high-melting material using the evaporator cell (100) are described.
摘要翻译：特别用于蒸发如Si的高熔点材料的蒸发器单元（100）包括适于接收待蒸发材料并提供第一蒸发体积的第一坩埚（10），以及加热装置（30）用于加热第一坩埚10，其中第一坩埚10布置在围绕第一坩埚10的第二坩埚20中，使得在第一坩埚和第二坩埚之间形成间距（25）其中所述间隔（25）提供第二蒸发体积。此外，描述了设置有至少一个蒸发器单元的涂覆装置以及使用蒸发器单元（100）蒸发高熔点材料的过程。

5. 发明申请

WO2009015796A3 HIGH TEMPERATURE EVAPORATOR CELL HAVING PARALLEL-CONNECTED HEATING ZONES 审中-公开
标题翻译：具有平行开关加热区域的高温蒸发器单元
公开(公告)号：WO2009015796A3
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：PCT/EP2008005953
申请日：2008-07-21
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH , FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV , BRAUN WOLFGANG , FISCHER ALBRECHT , WATAHIKI TATSURO
发明人： BRAUN WOLFGANG , FISCHER ALBRECHT , WATAHIKI TATSURO
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/06
CPC分类号： C23C14/243 , C23C14/26 , C23C14/30 , C30B23/066
摘要： An evaporator cell (100) which is equipped for evaporating, in particular, a high-melting evaporation material, comprises a crucible (10) for receiving the evaporation material, which crucible comprises a crucible base (11), a side wall (12) which extends in an axial direction of the crucible (10) and a crucible opening (13), and a heating device (20) having a heating resistor (21) which comprises a multiplicity of heating zones (21.1, 21.2) which are arranged on an outside of the crucible (10) and extend along the axial direction of the crucible (10), wherein the heating zones (21.1, 21.2) are equipped for multi-side resistance heating and/or electron beam heating of the crucible (10), and wherein the heating zones (21.1, 21.2) are constructed in such a manner that a heating current through the heating resistor (21) which is formed, for example by a resistance sleeve, flows in parallel and in the same sense through all heating zones (21.1, 21.2). A process for operation of the evaporator cell is also described.
摘要翻译：的蒸发器单元（100），其被布置成在尤其是高熔点蒸镀材料蒸发，包括用于容纳材料的坩埚（10），待蒸发，在坩埚的轴向方向上延伸的坩埚底座（11），侧壁（12）的（10）延伸，并且在坩埚开口（13），并且具有的加热电阻器（21）的加热器（20）包括多个加热区（21.1，21.2），其被布置在所述坩埚（10）的外侧，并沿着延伸坩埚（10）中，沿轴向方向，其中，所述加热区（21.1，21.2），以多页电阻加热和/或坩埚的电子束加热（10）布置，并且其中所述加热区（21.1,21.2）形成的，使得通过加热电阻器的加热电流（21），z。 B.由一个电阻套筒形成，平行于所有加热区域（21.1,21.2）并以相同的方向流动。还描述了用于操作蒸发器电池的方法。

6. 发明专利

DE102013006322B4 Magnetischer Antrieb für Vakuumanlagen 未知
公开(公告)号：DE102013006322B4
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：DE102013006322
申请日：2013-04-12
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH
发明人： BRAUN WOLFGANG
IPC分类号： H02K51/00
摘要： Magnetischer Antrieb (100) für ein Bauteil in einer Vakuumanlage (200), umfassend: – ein Gehäuse (10) mit einer Gehäusewand (11) aus einem nicht-magnetischen Material, wobei das Gehäuse (10) druckdicht mit der Vakuumanlage (200) koppelbar ist, – eine Antriebseinrichtung (20), die außerhalb des Gehäuses angeordnet ist, und – eine Aktoreinrichtung (30), die im Gehäuse (10) angeordnet und von einer Innenfläche (12) der Gehäusewand (11) gestützt wird, wobei – mindestens eine der Antriebseinrichtung (20) und der Aktoreinrichtung (30) zur Erzeugung eines Magnetfeldes (B) eingerichtet ist, das eine Magnetfeldrichtung senkrecht zu der Gehäusewand (11) aufweist, und die Antriebseinrichtung (20) und die Aktoreinrichtung (30) durch das Magnetfeld (B) magnetisch gekoppelt sind, – die Antriebseinrichtung (20) für eine Verschiebung des Magnetfeldes (B) in der Antriebsrichtung eingerichtet ist, und – die Aktoreinrichtung (30) unter der Wirkung der Verschiebung des Magnetfeldes (B) auf der Innenfläche (12) des Gehäuses (10) eine Rollbewegung ausführen kann, dadurch gekennzeichnet, dass – die Innenfläche (12) für die Aktoreinrichtung (30) eine in der Antriebsrichtung stufenlose, ebene Abrollfläche bildet, wobei – die Aktoreinrichtung (30) mehrere magnetische oder magnetisierbare innere Stützrollen (31), die auf der Innenfläche (12) aufliegen, und ein Aktorteil (32) umfasst, das auf den inneren Stützrollen (31) aufliegt, – die Antriebseinrichtung (20) für eine Modulation des Magnetfeldes (B) entlang der Antriebsrichtung und/oder entlang einer Transversalrichtung quer zu der Antriebsrichtung derart eingerichtet ist, dass sich im Gehäuse (10) jeweils in der Antriebsrichtung oder der Transversalrichtung Abschnitte mit erhöhter Feldstärke des Magnetfeldes (B) und Abschnitte mit verringerter Feldstärke des Magnetfeldes (B) abwechseln, – die inneren Stützrollen (31) in ihrer Umfangsrichtung und in ihrer Axialrichtung Abschnitte (34, 35) mit abwechselnd verschiedener Magnetisierung oder Magnetisierbarkeit aufweisen, und – das Aktorteil (32) auf seiner zu den inneren Stützrollen (31) weisenden Seite Abschnitte (36) mit abwechselnd verschiedener Magnetisierung oder Magnetisierbarkeit aufweist.

7. 发明专利

DE102007035166B4 Hochtemperatur-Verdampferzelle mit parallel geschalteten Heizbereichen, Verfahren zu deren Betrieb und deren Verwendung in Beschichtungsanlagen 未知
公开(公告)号：DE102007035166B4
公开(公告)日：2010-07-29
申请号：DE102007035166
申请日：2007-07-27
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH , FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
发明人： BRAUN WOLFGANG , FISCHER ALBRECHT
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/30

8. 发明专利

DE102007012370A1 未知
公开(公告)号：DE102007012370A1
公开(公告)日：2008-09-18
申请号：DE102007012370
申请日：2007-03-14
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH , FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
IPC分类号： C23C14/24 , C30B23/02

9. 发明专利

DE102005025935B4 未知
公开(公告)号：DE102005025935B4
公开(公告)日：2007-06-28
申请号：DE102005025935
申请日：2005-06-06
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH , FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
发明人： BRAUN WOLFGANG , FISCHER ALBRECHT
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/54

10. 发明专利

AT510041T 未知
公开(公告)号：AT510041T
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：AT08784919
申请日：2008-07-21
申请人： CREATEC FISCHER & CO GMBH , FORSCHUNGSVERBUND BERLIN EV
发明人： BRAUN WOLFGANG , FISCHER ALBRECHT , WATAHIKI TATSURO
IPC分类号： C23C14/26 , C23C14/24 , C23C14/30 , C30B23/06
摘要： Evaporation cell (100) including a crucible (10) for reception of the material to be evaporated, has a base (11) and side wall (12) which extends in the axial direction of the crucible. The crucible has a hole (13) and includes a heater on the outside of the crucible with a heater wall (21) and includes a number of heating regions. The heaters are resistance or electron beam heaters. An independent claim is included for a method of evaporating high melting materials using the evaporation cell described.

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