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1. 发明授权

US06774532B1 Self-powered microthermionic converter 有权
标题翻译：自供电微热转换器
公开(公告)号：US06774532B1
公开(公告)日：2004-08-10
申请号：US10028144
申请日：2001-12-20
申请人： Albert C. Marshall , Donald B. King , Kevin R. Zavadil , Stanley H. Kravitz , Chris P. Tigges , Gregory A. Vawter
发明人： Albert C. Marshall , Donald B. King , Kevin R. Zavadil , Stanley H. Kravitz , Chris P. Tigges , Gregory A. Vawter
IPC分类号： H01L3700
CPC分类号： G21H1/106
摘要： A self-powered microthermionic converter having an internal thermal power source integrated into the microthermionic converter. These converters can have high energy-conversion efficiencies over a range of operating temperatures. Microengineering techniques are used to manufacture the converter. The utilization of an internal thermal power source increases potential for mobility and incorporation into small devices. High energy efficiency is obtained by utilization of micron-scale interelectrode gap spacing. Alpha-particle emitting radioisotopes can be used for the internal thermal power source, such as curium and polonium isotopes.
摘要翻译：一种自供电的微电子转换器，其具有集成在该微热电转换器中的内部热功率源。这些转换器可以在一定范围的工作温度下具有很高的能量转换效率。微型工程技术用于制造转换器。内部热电源的利用增加了移动性的潜力并将其并入小型设备。通过利用微米级电极间隙间隔获得高能效。 α粒子发射放射性同位素可用于内部热电源，如ium和onium同位素。

2. 发明授权

US06605339B1 Micro heat barrier 失效
标题翻译：微热障
公开(公告)号：US06605339B1
公开(公告)日：2003-08-12
申请号：US10025449
申请日：2001-12-19
申请人： Albert C. Marshall , Stanley H. Kravitz , Chris P. Tigges , Gregory A. Vawter
发明人： Albert C. Marshall , Stanley H. Kravitz , Chris P. Tigges , Gregory A. Vawter
IPC分类号： B32B326
CPC分类号： B81B3/0081 , Y10T428/24802
摘要： A highly effective, micron-scale micro heat barrier structure and process for manufacturing a micro heat barrier based on semiconductor and/or MEMS fabrication techniques. The micro heat barrier has an array of non-metallic, freestanding microsupports with a height less than 100 microns, attached to a substrate. An infrared reflective membrane (e.g., 1 micron gold) can be supported by the array of microsupports to provide radiation shielding. The micro heat barrier can be evacuated to eliminate gas phase heat conduction and convection. Semi-isotropic, reactive ion plasma etching can be used to create a microspike having a cusp-like shape with a sharp, pointed tip (
摘要翻译：基于半导体和/或MEMS制造技术的高效微米级微阻隔结构和用于制造微热阻的方法。该微热屏障具有高度小于100微米的非金属独立的微型支架的阵列，附着于基底。红外反射膜（例如，1微米金）可以由微支架阵列支撑以提供辐射屏蔽。微型隔热层可以抽真空，以消除气相热传导和对流。可以使用半各向同性的反应离子等离子体蚀刻来形成具有尖锐尖端（<0.1微米）的尖头状形状的微型卡口，以使尖端的接触面积最小化。热源可以直接放置在微型杯上。微热障可以具有在10-6至10-7W / m-K范围内的明显的热导率。可以使用多层反射膜来增加耐热性。

3. 发明授权

US06673254B1 Methods for fabricating a micro heat barrier 失效
标题翻译：制造微热障的方法
公开(公告)号：US06673254B1
公开(公告)日：2004-01-06
申请号：US10025446
申请日：2001-12-19
申请人： Albert C. Marshall , Stanley H. Kravitz , Chris P. Tigges , Gregory A. Vawter
发明人： Albert C. Marshall , Stanley H. Kravitz , Chris P. Tigges , Gregory A. Vawter
IPC分类号： B32B3100
CPC分类号： B81B3/0081 , B81B2203/0361
摘要： Methods for fabricating a highly effective, micron-scale micro heat barrier structure and process for manufacturing a micro heat barrier based on semiconductor and/or MEMS fabrication techniques. The micro heat barrier has an array of non-metallic, freestanding microsupports with a height less than 100 microns, attached to a substrate. An infrared reflective membrane (e.g., 1 micron gold) can be supported by the array of microsupports to provide radiation shielding. The micro heat barrier can be evacuated to eliminate gas phase heat conduction and convection. Semi-isotropic, reactive ion plasma etching can be used to create a microspike having a cusp-like shape with a sharp, pointed tip (
摘要翻译：用于制造高效微米级微阻隔结构的方法和基于半导体和/或MEMS制造技术制造微热阻的方法。该微热屏障具有高度小于100微米的非金属独立的微型支架的阵列，附着于基底。红外反射膜（例如，1微米金）可以由微支架阵列支撑以提供辐射屏蔽。微型隔热层可以抽真空，以消除气相热传导和对流。可以使用半各向同性的反应离子等离子体蚀刻来形成具有尖锐尖端（<0.1微米）的尖头状形状的微型卡口，以使尖端的接触面积最小化。热源可以直接放置在微型杯上。微热障可以具有在10 -6至10 -7 W / m-K范围内的明显的热导率。可以使用多层反射膜来增加耐热性。

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