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1. 发明专利

KR102233714B1 KR102233714B1 - Wet Scrubber 有权
公开(公告)号：KR102233714B1
公开(公告)日：2021-04-01
申请号：KR1020200104834A
申请日：2020-08-20
申请人： 주식회사 원익홀딩스
发明人： 김성훈 , 김국선 , 김유성 , 진용호 , 김도훈 , 김성범 , 박규진 , 이현준
IPC分类号： B03C3/16 , B03C3/019 , B03C3/38 , B03C3/45 , B03C3/68 , B03C3/82
CPC分类号： B03C3/16 , B03C3/019 , B03C3/38 , B03C3/45 , B03C3/68 , B03C3/82
摘要： 본 발명은 습식 전기집진기가 구비된 습식 스크러버에 관한 것으로, 특히 2 개의 집진기로 이루어진 집진기 모듈이 시퀀스 운용되어 미집진된 파우더가 배출되지 않는 습식 스크러버 및 습식 스크러버의 제어방법에 관한 것이다.

2. 发明专利

KR102222556B1 KR102222556B1 - Wet ElectroStatic Precipitator 有权
公开(公告)号：KR102222556B1
公开(公告)日：2021-03-08
申请号：KR1020200104835A
申请日：2020-08-20
申请人： 주식회사 원익홀딩스
发明人： 김성훈 , 김국선 , 김유성 , 진용호 , 김도훈 , 김성범 , 박규진 , 이현준
IPC分类号： B03C3/16 , B03C3/019 , B03C3/38 , B03C3/45 , B03C3/82
CPC分类号： B03C3/16 , B03C3/019 , B03C3/38 , B03C3/45 , B03C3/82
摘要： 본 발명은 집진면을 갖는 하우징과 방전극과 절연체를 포함하는 습식 전기 집진기에 관한 것으로, 특히 분해 및 조립이 용이하고 집진 성능이 좋은 습식 전기 집진기에 관한 것이다.

3. 发明申请

WO2022145661A1 암모니아를 이용한 고순도 수소 제조방법, 이를 위한 제조장치 및 ON-SITE형 모듈 시스템 审中-公开
公开(公告)号：WO2022145661A1
公开(公告)日：2022-07-07
申请号：PCT/KR2021/014882
申请日：2021-10-22
申请人： (주)원익머트리얼즈 , 주식회사 원익홀딩스
发明人： 박재혁 , 정석용 , 조병옥 , 김영래 , 이성훈 , 노경민 , 박종권 , 김성훈 , 이현준 , 김태완
IPC分类号： C01B3/04 , C01B3/56 , B01D53/047
摘要： 본 발명은, 고순도 수소 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 고순도 수소 제조방법은 (a) 암모니아를 기화기로부터 개질기로 공급하는 단계; (b) 상기 기화된 암모니아가 촉매가 포함된 개질기에서 고온 반응 통해 분해되어 수소와 질소로 생성되는 단계; (c) 상기 고온 반응 공정을 통해 공급된 저순도 수소와 질소, 그리고 미반응 암모니아를 함유한 합성가스 중 미반응 암모니아를 선택적으로 흡착, 정제하는 단계; 및 (d) 압력 순환흡착 방식(PSA)을 이용하여 저순도 수소와 질소로 구성된 합성가스에서 고순도 수소를 분리, 정제하는 단계;를 포함한다.

4. 发明申请

WO2021145679A1 용접비드검사장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2021145679A1
公开(公告)日：2021-07-22
申请号：PCT/KR2021/000485
申请日：2021-01-13
申请人： 주식회사 원익홀딩스
发明人： 최명진 , 라승일 , 정가림
IPC分类号： B23K26/03 , B23K31/12 , B23K26/032 , B23K31/125
摘要： 본 발명은 용접비드검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 용접비드의 정밀한 검사가 가능한 용접비드검사장치에 관한 것이다. 본 발명은, 배관(10) 중 용접비드(20)의 결함유무를 검사하는 용접비드검사장치로서, 상기 용접비드(20)를 복개하도록 상기 배관(10)을 둘러싸며, 내부에 밀폐된 검사공간(S)을 형성하는 하우징(100)과; 상기 하우징(100)에 설치되어, 상기 검사공간(S)에서 상기 용접비드(20)의 상태를 확인하는 검사수단(200)과; 상기 검사수단(200)을 통해 확인된 상기 용접비드(20)의 상태를 토대로 상기 용접비드(20)의 결함유무를 판별하는 결함판단부를 포함하는 용접비드검사장치를 개시한다.

5. 发明授权

KR102248101B1 수평식 가스실린더의 가스자동공급시스템용 얼라인 가이드 장치 有权
公开(公告)号：KR102248101B1
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：KR1020190152410
申请日：2019-11-25
申请人： 주식회사 씨케이피 , 주식회사 원익홀딩스
发明人： 최재욱 , 최돈진 , 홍원기 , 이희균 , 김대진 , 복정주 , 허진 , 강진구
IPC分类号： F17C13/08 , F17C13/04
摘要： 본발명은가스자동공급장치로운반된수평식(누운자세) 가스실린더의가스를반도체제조공정으로자동공급하는가스실린더의가스자동공급시스템용얼라인가이드장치에관한것으로서, 특히수평식가스실린더의운반용스키드가가스자동공급장치로의얼라인가이드시켜가스자동공급장치의수직평면에대해수평식가스실린더의길이방향중심이수직하게배치되게하는수평식가스실린더의가스자동공급시스템용얼라인가이드장치에관한것이다.

6. 发明授权

KR102248100B1 수평식 가스실린더의 가스자동공급시스템 有权
公开(公告)号：KR102248100B1
公开(公告)日：2021-05-04
申请号：KR1020190152409
申请日：2019-11-25
申请人： 주식회사 씨케이피 , 주식회사 원익홀딩스
发明人： 최재욱 , 최돈진 , 홍원기 , 이희균 , 김대진 , 복정주 , 허진 , 강진구
IPC分类号： F17C13/04 , F17C13/08
摘要： 본발명은가스자동공급장치로운반된수평식(누운자세) 가스실린더의가스를반도체제조공정으로자동공급하는가스실린더의가스자동공급시스템에관한것으로서, 특히수평식가스실린더의운반용스키드가가스자동공급장치로의얼라인가이드뿐만아니라수평식가스실린더의수직식가스출구포트와가스공급장치의커넥터간의커넥팅위치가맞지않을경우커넥터의공전(틸팅)으로맞추는가스실린더의가스자동공급시스템에관한것이다.

7. 发明授权

KR102148402B1 가스실린더의 가스공급장치 有权
公开(公告)号：KR102148402B1
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：KR1020190008406
申请日：2019-01-22
申请人： 주식회사 원익홀딩스 , 주식회사 씨케이피
发明人： 이원진 , 김대진 , 복정주 , 허진 , 최재욱 , 최돈진 , 홍원기 , 이희균
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/677 , F16K31/04

8. 发明授权

KR101534517B1 기판처리장치 有权
标题翻译：基板处理设备
公开(公告)号：KR101534517B1
公开(公告)日：2015-07-07
申请号：KR1020090106785
申请日：2009-11-06
申请人： 주식회사 원익홀딩스
发明人： 위규용
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/3065
摘要： 본발명은기판처리장치에관한것으로서, 상세하게는기판의표면을증착, 식각하는등 기판에대한처리공정을수행하는기판처리장치에관한것이다. 본발명은기판을지지하는기판지지대가설치되며상측에개구가형성된챔버본체와; 상기챔버본체의개구에결합되어상기처리공간내로가스를분사하는샤워헤드조립체를포함하는기판처리장치로서, 상기샤워헤드조립체는상기챔버본체의개구에결합되며하나이상의가스주입구가형성된탑플레이트와; 다수개의분사구들이상하로관통형성되며상기탑플레이트의저면에간격을두고결합되는제1플레이트와; 다수개의분사구들이상하로관통형성되며상기제1플레이트와간격을두고설치되는제2플레이트를포함하며, 상기제1플레이트및 상기제2플레이트중 적어도어느하나는상기탑플레이트에복수개의제1지지볼트들에의하여결합될수 있도록복수개의고정결합공들이형성되며, 상기고정결합공들은상기제1지지볼트가상기제1플레이트또는상기제2플레이트의중심을기준으로상기제1플레이트또는상기제2플레이트에대하여상대이동이가능하도록형성된것을특징으로하는기판처리장치를개시한다.
摘要翻译：本发明涉及一种基板处理装置，尤其涉及用于在基板上执行的处理过程中，诸如沉积，蚀刻所述衬底的所述表面的基板处理装置。本发明提供一种等离子体处理装置，其特征在于，具备：腔室主体，其具有用于支撑基板的基板支撑体，在其上侧形成有开口部; 耦接至该腔室主体的开口中，包括用于将气体注入所述处理空间中的喷头组件的基板处理装置，和该喷头组件被联接到所述腔室主体的开口，所述顶板是形成至少一个气体喷射口; 第一板，其具有多个注入开口，所述注入开口垂直地形成并间隔地连接至顶板的底表面; 其中，第一板和第二板中的至少一个包括多个第一支撑螺栓和多个第一支撑螺栓，其中第一固定螺栓和第二固定螺栓相对于第一支撑螺栓虚拟板或第二板的中心固定到第一板或第二板，所以相对运动是可能的。

9. 发明授权

KR101528137B1 기판처리장치의 기판교환모듈 및 그를 가지는 기판처리장치 有权
标题翻译：用于基板处理装置的基板更换模块，以及具有该基板处理装置的基板处理装置
公开(公告)号：KR101528137B1
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：KR1020090087374
申请日：2009-09-16
申请人： 주식회사 원익홀딩스
发明人： 김병준
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/3065 , H01L21/205
摘要： 본발명은기판처리장치에관한것으로서, 보다상세하게는기판에대한소정의공정을수행하는기판처리장치의기판교환모듈및 그를가지는기판처리장치에관한것이다. 본발명은다수개의기판들이트레이에적재된상태로기판들에대한처리를수행하는하나이상의공정모듈과게이트밸브를사이에두고설치되는기판처리장치의기판교환모듈로서, 다수개의기판들이적재되는트레이를지지함과아울러상기트레이를상하로승강시키는트레이승강부를포함하며처리를마친기판을반출하고처리될기판들로교환하는기판교환부와; 처리될다수개의기판들이적재된트레이를상기기판교환부로부터전달받아상기공정모듈내로인입시키고, 처리된다수개의기판들이적재된트레이를상기공정모듈로부터인출하여상기기판교환부로전달하는트레이이송부를포함하는것을특징으로하는기판처리장치의기판교환모듈을개시한다.

10. 发明授权

KR101504138B1 박막 증착장치 및 이 장치의 세정방법 有权
标题翻译：用于在晶片上沉积薄膜的设备和用于清洁设备的方法
公开(公告)号：KR101504138B1
公开(公告)日：2015-03-19
申请号：KR1020080115357
申请日：2008-11-19
申请人： 주식회사 원익홀딩스
发明人： 이상진 , 박상준 , 한창희
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/20
摘要： 본 발명은 인시튜 세정할 수 있는 박막 증착장치 및 이 장치를 세정하는 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 박막 증착장치는 반응기 내부에 회전 가능하게 설치되며, 기판이 안착되는 복수의 기판 안착부가 마련되어 있는 기판 지지부를 구비한다. 그리고 기판 지지부의 상부에 설치되며, 세정가스를 반응기 내부로 공급하는 세정가스 공급기와 원료가스를 기판 지지부 상으로 공급하는 복수의 원료가스 공급기와 복수의 원료가스 공급기 사이에 배치되어 원료가스를 퍼지하는 퍼지가스를 기판 지지부 상으로 공급하는 복수의 퍼지가스 공급기를 구비하고, 복수의 원료가스 공급기와 복수의 퍼지가스 공급기가 세정가스 공급기를 중심으로 방사형으로 배치되는 가스 분사부를 구비한다.

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