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1. 发明申请

WO2022030718A1 식각 가스 혼합물과 이를 이용한 패턴 형성 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2022030718A1
公开(公告)日：2022-02-10
申请号：PCT/KR2021/002646
申请日：2021-03-04
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 조병옥 , 김영래 , 송한덕 , 김태형 , 이기찬 , 박희준 , 정헌종
IPC分类号： C09K13/08 , H01L21/3065 , H01L21/308
摘要： 본 발명은, 식각 가스 혼합물에 관한 것으로, 특히, 고종횡비 (High Aspect Ratio)의 식각 단면을 얻기 위한 식각 가스 조합으로 높은 선택비(Selectivity) 및 CD (Critical dimension) 제어에 탁월한 성능을 발휘하는 식각 가스에 관한 것이다.

2. 发明申请

WO2017047849A1 메탈아민 제조 시스템 및 이를 이용한 메탈아민 제조방법 审中-公开
标题翻译：用于制备金属氨的系统，以及使用它们制备金属氨的方法
公开(公告)号：WO2017047849A1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：PCT/KR2015/009874
申请日：2015-09-21
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 이건종 , 김종수 , 김영래 , 송한덕 , 최호윤 , 정성진 , 백종민 , 김태형 , 박새미
IPC分类号： C01B21/06 , G01G19/62 , G05D16/00 , B08B7/00
CPC分类号： B08B7/00 , C01B21/06 , G01G19/62 , G05D16/00
摘要： 본 발명은 메탈아민 제조 시스템에 관한 것으로서, 본 발명의 실시예에 따른 메탈아민 제조 시스템은 암모니아(3) 가스를 저장하는 암모니아탱크(10), 암모니아(3) 가스의 압력을 조절하는 압력조절기(20), 내부에 금속염화물(1)이 충진되고, 암모니아탱크(10)와 연결되어, 암모니아(3)가 내부로 유입되는 반응챔버(30), 암모니아(3)가 반응챔버(30) 내부로 유입되기 전에, 충전된 금속염화물(1)을 가열하여, 금속염화물(1) 내의 수분을 제거하는 가열기(40), 및 반응챔버(30) 내부의 온도를 소정의 반응온도까지 냉각시키는 냉각부(50)를 포함하고, 반응온도에서, 수분이 제거된 금속염화물(1)에 암모니아(3)가 흡착되어, 메탈아민(Metal Ammine) 분말이 제조된다.
摘要翻译：本发明涉及一种制备金属氨的系统。根据本发明的一个实施方案，用于制备金属氨的系统包括：用于储存氨（3）气体的氨罐（10）用于控制氨（3）气体的压力的压力控制器（20）; 反应室（30），其中装入金属氯化物（1），并连接到氨罐（10），氨（3）流入其中; 用于在氨（3）流入反应室（30）之前加热带电的金属氯化物（1）以除去金属氯化物（1）内的水分的加热器（40）; 以及用于将反应室（30）的内部温度冷却至规定的反应温度的冷却部（50），在反应温度下通过除去水分的金属氯化物（1）吸附氨（3），由此制备金属氨矿粉。

3. 发明申请

WO2022191390A1 암모니아 기반의 ON-SITE 수소충전소 审中-公开
公开(公告)号：WO2022191390A1
公开(公告)日：2022-09-15
申请号：PCT/KR2021/019753
申请日：2021-12-23
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 조병옥 , 김영래 , 정석용 , 이성훈 , 박새미
IPC分类号： F17C5/06 , C01C1/00 , C01B3/04 , H01M10/44 , H01M8/04082
摘要： 본 발명은 암모니아 기반의 On-site 수소충전소에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 액화 암모니아를 이용해 수소를 생산하고 필요한 곳에 공급할 수 있는 암모니아 기반의 On-site 수소충전소에 관한 것이다. 본 발명은, 액상암모니아를 저장하는 암모니아저장탱크부(100)와, 상기 암모니아저장탱크부(100)로부터 공급된 액상암모니아를 이용해 수소를 생산하는 수소생산부(200)와, 상기 수소생산부(200)에서 생산된 수소를 저장하는 수소저장부(300)와, 수소충전이 필요한 외부장비와 접속되어 상기 수소저장부(300)에 저장된 수소를 상기 외부장비에 공급하기 위한 디스펜서부(400)를 포함하는 것을 특징으로 하는 암모니아 기반의 On-site 수소충전소를 개시한다.

4. 发明申请

WO2022145661A1 암모니아를 이용한 고순도 수소 제조방법, 이를 위한 제조장치 및 ON-SITE형 모듈 시스템 审中-公开
公开(公告)号：WO2022145661A1
公开(公告)日：2022-07-07
申请号：PCT/KR2021/014882
申请日：2021-10-22
申请人： (주)원익머트리얼즈 , 주식회사 원익홀딩스
发明人： 박재혁 , 정석용 , 조병옥 , 김영래 , 이성훈 , 노경민 , 박종권 , 김성훈 , 이현준 , 김태완
IPC分类号： C01B3/04 , C01B3/56 , B01D53/047
摘要： 본 발명은, 고순도 수소 제조방법 및 제조장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 고순도 수소 제조방법은 (a) 암모니아를 기화기로부터 개질기로 공급하는 단계; (b) 상기 기화된 암모니아가 촉매가 포함된 개질기에서 고온 반응 통해 분해되어 수소와 질소로 생성되는 단계; (c) 상기 고온 반응 공정을 통해 공급된 저순도 수소와 질소, 그리고 미반응 암모니아를 함유한 합성가스 중 미반응 암모니아를 선택적으로 흡착, 정제하는 단계; 및 (d) 압력 순환흡착 방식(PSA)을 이용하여 저순도 수소와 질소로 구성된 합성가스에서 고순도 수소를 분리, 정제하는 단계;를 포함한다.

5. 发明申请

WO2023063640A1 암모니아 분해반응 촉매 제조용 물질 审中-公开
公开(公告)号：WO2023063640A1
公开(公告)日：2023-04-20
申请号：PCT/KR2022/014876
申请日：2022-10-04
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 조병옥 , 김영래 , 정석용 , 강민수 , 조지쉐비마리 , 이성훈 , 박새미 , 김정호 , 안치웅 , 이승용 , 김한슬 , 지도성
IPC分类号： B01J31/22 , B01J31/26 , B01J23/63 , B01J23/58 , B01J37/00 , B01J37/04 , C01B3/04
摘要： 본 발명은 암모니아 분해반응 촉매 제조용 물질에 관한 것으로, 특히, 활성이 우수한 암모니아 분해반응 촉매의 제조를 위한 암모니아 분해반응 촉매 제조용 물질로서의 금속 전구체 화합물인 금속 착체 화합물, 및 이를 이용한 암모니아 분해반응 촉매의 제조방법에 관한 것이다.

6. 发明申请

WO2021230562A1 암모니아 기반 고체산화물 연료전지(SOFC) 시스템 审中-公开
公开(公告)号：WO2021230562A1
公开(公告)日：2021-11-18
申请号：PCT/KR2021/005640
申请日：2021-05-06
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 이경진 , 정석용 , 김영래 , 조병옥
IPC分类号： H01M8/0606 , H01M8/04007 , H01M8/04014 , H01M8/0662 , H01M8/04302 , H01M8/12 , H01M8/22 , H01M8/124
摘要： 본 발명의 암모니아 기반의 고체산화물 연료전지(SOFC) 시스템은, 구성의 최적화 및 이를 통한 고체산화물 연료전지(SOFC) 시스템 운전 방법을 통하여 고체산화물 연료전지(SOFC)의 고온 작동을 위한 효율적인 열관리가 가능하며, 이러한 고온의 열관리에 따라 고온의 고체산화물 연료전지(SOFC)에 연료로 공급된 암모니아가 수소로 개질되어 SOFC 시스템에 적용됨으로써 SOFC 시스템의 효율성을 극대화 시키는 것을 특징으로 한다.

7. 发明授权

KR102021413B1 반도체 제조 공정용 건식 세정 가스 및 이를 사용하는 세정 방법 有权
公开(公告)号：KR102021413B1
公开(公告)日：2019-09-16
申请号：KR1020170173004
申请日：2017-12-15
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 송한덕 , 백종민 , 김태형 , 서대웅
IPC分类号： H01L21/02 , H01L21/67

8. 发明公开

KR1020170114146A 디보란 정제장치 및 정제방법 有权
标题翻译： Diborane净化装置和净化方法
公开(公告)号：KR1020170114146A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：KR1020160041437
申请日：2016-04-05
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 김영래 , 송한덕 , 최호윤 , 정성진 , 백종민 , 김태형 , 박새미
IPC分类号： C01B6/10 , G01N30/62 , B01D53/00
CPC分类号： C01B6/10 , B01D53/005 , G01N30/62
摘要： 본발명은디보란정제장치및 정제방법에관한것으로, 본발명의실시예에따른디보란정제장치는디보란(DIBORANE, BH, 3)에다수의기체불순물(5)이섞인디보란가스(1)를저장하는가스용기(10), 디보란가스(1)가유입되어정제되는정제챔버(20), 디보란(3) 및불순물(5) 중의제1 불순물이액화되어불순물(5) 중기체상태인제2 불순물과분리되도록, 정제챔버(20)를제1 정제온도까지냉각하는냉각부(30), 및액화된디보란(3)이기화되어액화된제1 불순물과분리되도록, 정제챔버(20)를제2 정제온도까지가열하는가열부(40)를포함한다.
摘要翻译：本发明的乙硼烷涉及精制装置和精制方法，乙硼烷净化装置根据本发明的一个实施例中，乙硼烷（乙硼烷，BH 3）EDA护罩气体乙硼烷气体杂质（5）与混合（1）气体容器10中，纯化腔室20，其中，所述片剂被引入乙硼烷气体（1），用于存储，乙硼烷3和杂质（5）中的第一杂质的杂质（5）中间体状态被液化摄取第二冷却部30内，液化的乙硼烷3是yigihwa第一和净化室20，以除去杂质，液化reulje冷却至杂质和以分离，纯化腔室20 reulje 1纯化温度 2纯化温度。

9. 发明公开

KR1020170036922A 트리플루오르메틸 하이포플루오라이트의 합성 및 정제방법 审中-实审
标题翻译：三氟甲基次氟酸盐的合成与提纯方法
公开(公告)号：KR1020170036922A
公开(公告)日：2017-04-04
申请号：KR1020150135416
申请日：2015-09-24
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 이건종 , 김종수 , 김영래 , 송한덕 , 최호윤 , 정성진 , 백종민 , 김태형 , 박새미
IPC分类号： C07C67/48 , C07C71/00 , B01J27/12
摘要： 본발명은트리플루오르메틸하이포플루오라이트(Trifluoromethyle hypofluorite, CF3OF)를합성및 정제방법에관한것으로서, 더욱구체적으로는, 트리플루오르메틸하이포플루오라이트(CFOF)의합성및 정제방법에있어서, F가스와 COF가스를고체촉매용반응기에서혼합하여반응시키는합성단계(S10)와; 상기합성된혼합가스를 (CFOF)의비점온도보다낮은온도로형성된 1차정제기에서 1차정제시키는단계(S20)와; 상기 1차정제된가스를 (CFOF)의비점온도보다높은온도로형성된 2차정제기에서 2차정제시키는단계(S30);를순차적인단계가이루어진것을특징으로하는트리플루오르메틸하이포플루오라이트(CFOF)의합성및 정제방법에관한것이다. CFOF 가스는유기합성의전구체, 반도체공정또는디스플레이공정용크리닝가스및 에칭가스로도사용이가능한매우유용한 OF계가스이다. CFOF 가스의합성은 F가스와 COF가스를금속불화물촉매하에서반응시켜 CFOF를제조한다. 제조된 CFOF는 1차및 2차정제장치로이송되어불순물을제거하도록이루어지는것이다. 제거방법으로서는비점(Boiling point)을이용한극저온(Cryogenic)하의온도에서불순물을효과적으로제거하여, 일정수준의순도(99.9%이상)를취득하는효과를특징으로하는것이다.
摘要翻译：在本发明中，三氟甲基次氟化物涉及（Trifluoromethyle次氟化物，CF3OF）的合成和纯化方法，并且更具体地，三氟合成和甲基次氟化物的纯化（CFOF），F气体和COF 在固体催化剂用反应器中使气体混合并反应的合成工序（S10）（S20），首先在低于（CFOF）的沸点温度的温度下形成的第一净化器中纯化合成气体混合物; （S30），在比第一净化气体中的（CFOF）的沸点温度高的温度下形成的二次净化器中进行二次净化。并提供了一种净化方法。 CFOF气体是非常有用的基于OF的气体，其也可以用作有机合成前体，用于半导体工艺或显示工艺的清洁气体以及蚀刻气体。在CFOF气体的合成中，通过使F气体和COF气体在金属氟化物催化剂下反应来生产CFOF。将生产的CFOF转移到初级和次级精磨机中去除杂质。该除去方法的特征在于使用沸点在低于低温的温度下有效地除去杂质以获得一定水平的纯度（99.9％或更高）的效果。

10. 发明公开

KR1020160055665A 초임계 유체를 이용한 암모니아 보란의 재생방법 有权
标题翻译：使用超临界流体再生氨甲硼烷的方法
公开(公告)号：KR1020160055665A
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：KR1020150008923
申请日：2015-01-19
申请人： (주)원익머트리얼즈
发明人： 이건종 , 김종수 , 김영래 , 최호윤 , 박성진 , 송한덕 , 정성진 , 백종민
IPC分类号： B01J20/34 , C01B35/14
CPC分类号： Y02P20/544 , B01J20/34 , C01B35/14
摘要： 본발명은초임계유체를이용하여사용후의탈수소화된암모니아보란(폴리보잘린)을암모니아보란으로재생하는방법에관한것으로서, 초임계유체를이용한간단한공정으로수행되어공정효율및 재생수율이우수하여, 종래암모니아보란재생공정에있어서낮은재생수율문제와복잡한공정에따른낮은공정효율을해소할수 있고, 고가의암모니아보란을유용하게재사용할수 있어수소가스저장재및 연료전지분야에서유용하게사용할수 있다.
摘要翻译：本发明涉及一种在使用超临界液体使用于氨硼烷之后再生脱氢氨硼烷（聚硼氮烯）的方法。在本发明中，作为使用超临界液体的简单方法进行氨硼烷再生方法，具有优异的加工效率和再生产率。再生氨硼烷的方法可以减轻常规的氨硼烷再生过程中的低再生产率和复杂工艺的工艺效率低的问题。此外，再生氨硼烷的方法可有效地重用昂贵的氨硼烷，因此可用于氢气储存材料和燃料电池领域。用于再生氨甲烷的方法包括以下步骤：使用后的脱氢氨硼烷聚亚烷基二醇与醇反应以使聚亚烷基二醇结晶; 并通过用超临界流体还原结晶的聚二亚烷基来获得再生的氨硼烷。

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