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1. 发明专利

JP6965305B2 両面研磨装置有权
公开(公告)号：JP6965305B2
公开(公告)日：2021-11-10
申请号：JP2019075648
申请日：2019-04-11
申请人：信越半導体株式会社 , 不二越機械工業株式会社
发明人：田中佑宜 , 丸田将史
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/08 , B24B37/12 , B24B37/14 , B24B37/005

2. 发明专利

JP2021134140A 酸化ガリウム結晶の製造装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021134140A
公开(公告)日：2021-09-13
申请号：JP2021031374
申请日：2021-03-01
申请人：不二越機械工業株式会社 , 国立大学法人信州大学 , 株式会社ノベルクリスタルテクノロジー
发明人：干川圭吾 , 小林拓実 , 大塚美雄 , 太子敏則
IPC分类号： C30B29/16 , F27B14/10 , F27B14/06 , F27B14/14 , F27D11/02 , C30B11/00
摘要：【課題】垂直ブリッジマン法による結晶育成を行う装置であって、大きなサイズで結晶品質の劣化要因となる結晶欠陥の少ない酸化ガリウム単結晶を得ることのできる構成を備えた酸化ガリウム結晶の製造装置を提供する。【解決手段】一実施の形態として、酸化ガリウムの原料を収容するためのるつぼ20と、るつぼ20を下方から支持するるつぼ支持体21と、るつぼ支持体21に下方から接続し、るつぼ20及びるつぼ支持体21を上下方向に移動可能に支持するるつぼ支持軸22と、るつぼ20、るつぼ支持体21、及びるつぼ支持軸22を囲む管状の炉心管10と、炉心管10を囲む管状の炉内管11と、炉心管10と炉内管11との間の空間に発熱部231が設置された抵抗加熱発熱体23と、を備え、炉心管10及び炉内管11の融点が1900℃以上であり、炉心管10のるつぼ20の真横に位置する部分の熱伝導率が炉内管11の熱伝導率よりも高い、酸化ガリウム結晶の製造装置1を提供する。【選択図】図1

3. 发明专利

JP6931845B2 ワーク研磨装置およびワーク研磨方法有权
公开(公告)号：JP6931845B2
公开(公告)日：2021-09-08
申请号：JP2017146132
申请日：2017-07-28
申请人：不二越機械工業株式会社 , 学校法人金沢工業大学
发明人：中村由夫 , 澁谷和孝 , 市川浩一郎 , 市川大造 , 諏訪部仁 , 石川憲一
IPC分类号： B24B57/02 , H01L21/304 , B24B37/00

4. 发明专利

JP6843423B2 口腔洗浄装置用のノズル装置有权
公开(公告)号：JP6843423B2
公开(公告)日：2021-03-17
申请号：JP2016184269
申请日：2016-09-21
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：小山晴道 , 菅野祐也
IPC分类号： A61C17/02

5. 发明专利

JP6839843B2 ウェーハへの接着剤塗布方法有权
公开(公告)号：JP6839843B2
公开(公告)日：2021-03-10
申请号：JP2017047000
申请日：2017-03-13
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：戸谷哲朗
IPC分类号： B05D1/40 , B05D3/00 , B05D7/24 , H01L21/304 , B24B37/30 , B05D7/00

6. 实用新型

JP3230551U ウェハ研磨装置有权
公开(公告)号：JP3230551U
公开(公告)日：2021-02-04
申请号：JP2020004991
申请日：2020-11-19
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：古谷和之
IPC分类号： H01L21/304 , B24B37/04
摘要：【課題】保持プレートの中心位置に貼付されるウェハに研磨不良が生じる課題と、保持プレート毎にウェハの仕上がり状態にばらつきが生じる課題との解決が可能なウェハ研磨装置を提供する。【解決手段】ウェハ研磨装置1は、保持プレート20に貼付されたウェハを、公転する定盤10に摺接させて研磨を行う装置であって、定盤10を公転面内で所定方向に揺動させる揺動機構16と、保持プレート20に荷重を印加すると共に自転力を付与するトップリング30と、トップリング30を回転駆動する駆動軸38と、駆動軸38を回転可能に吊下げ支持する支持部材62と、支持部材62を上下動させることによって駆動軸38およびトップリング30を上下動させる上下動機構52とを備え、駆動軸38は、下から上へ深溝玉軸受、間座、複列円すいころ軸受の順で配設された軸受機構を介して支持部材62に支持される構成である。【選択図】図1

7. 发明专利

JP6726910B2 酸化ガリウム結晶の製造装置および酸化ガリウム結晶の製造方法有权
公开(公告)号：JP6726910B2
公开(公告)日：2020-07-22
申请号：JP2016085153
申请日：2016-04-21
申请人：国立大学法人信州大学 , 不二越機械工業株式会社
发明人：干川圭吾 , 小林拓実 , 大葉悦子 , 柳澤潤
IPC分类号： C30B11/00 , C30B29/16

8. 发明专利

JP6655411B2 開封装置有权
公开(公告)号：JP6655411B2
公开(公告)日：2020-02-26
申请号：JP2016020357
申请日：2016-02-05
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：中村由夫 , 大塚美雄
IPC分类号： B65B69/00

9. 发明专利

JP2019121682A ウェーハ剥離装置およびウェーハ研磨装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019121682A
公开(公告)日：2019-07-22
申请号：JP2018000401
申请日：2018-01-05
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：小布施敦史
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/683
摘要：【課題】被研磨面を傷つける不具合を極力回避できるウェーハ剥離装置を提供する。【解決手段】内壁が下方に向けて窄まるテーパ面51aに形成されて、プレート13を、内壁によりガイドして底面上に位置決めして受け取り可能な第1の凹部51、および第1の凹部51の底面に凹設され、剥離された後のウェーハ14を内壁によって外周を位置決めして収容可能な第2の凹部52を有するトレー50と、トレー50内に水を供給する給水機構54と、ウェーハ14研磨後のプレート13を、ウェーハ14の被研磨面を下方に向けたまま、トレー50の第1の凹部51に搬入する搬送装置30と、トレー50に設けられ、トレー50の第1の凹部51内に搬入されたプレート13に貼付されているウェーハ14の外周部に水を噴出してウェーハ14を剥離し、剥離されたウェーハ14を第2の凹部52内の水中に落下させるノズル装置60を具備する。【選択図】図4

10. 发明专利

JP2018137366A ウェーハID読取り装置审中-公开
公开(公告)号：JP2018137366A
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：JP2017031459
申请日：2017-02-22
申请人：不二越機械工業株式会社
发明人：赤塩典彦 , 畔上浩史
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/02
摘要：【課題】ウェーハIDがウェーハのどちらの面の、どの部位に付されている場合であっても、当該ウェーハIDの読取りを行うことが可能となる小型で簡素な構造のウェーハID読取り装置を提供する。【解決手段】ウェーハWに付されたウェーハIDの読取りを行うウェーハID読取り装置であって、ウェーハWを載置させて支持するハンド20と、ハンド20を所定方向に移動させるハンド移動機構12と、ハンド20に支持されたウェーハWが移動する領域を挟み込むようにウェーハWの上面を読取る上部カメラ31とウェーハWの下面を読取る下部カメラ32とが所定間隔で対向して配設されたカメラユニット30とを備え、ハンド20は、少なくともウェーハWを支持する際に平面視においてウェーハと重なる支持部20Aが透明な材料を用いて形成されている。【選択図】図1

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