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    • 2. 发明专利
    • 封じ込め装置
    • JP2021092353A
    • 2021-06-17
    • JP2019223498
    • 2019-12-11
    • ヤマト科学株式会社
    • 本間 浩幸
    • F27D7/06F27B17/00F26B21/00F26B9/06
    • 【課題】作業者が開閉扉を開けた際にも、処理空間内の雰囲気ガスが外部に漏れ出るのを防ぐことができ、曝露に対する高い安全性を確保可能な封じ込め装置を提供する。 【解決手段】封じ込め装置としての乾燥機1は、加熱処理物MDを収容するための処理空間SPを有する本体部2と、本体部2の前面開口部を開閉可能に閉鎖する開閉扉3と、本体部2内の雰囲気ガスを、送風経路14を構成する排気経路142の排気部11を介して、本体部2の外部に排気する排気ファン145と、排気ファン145の前段部に配置されたHEPAフィルタHFを有するフィルタ部144と、開閉扉3の開操作の検知に伴って、給気経路141から処理空間SP内への雰囲気ガスの給気を遮断し、フィルタ部144を通過した後の雰囲気ガスが、排気経路142の排気部11より排気されるように切り替えるダンパー部147と、を備える。 【選択図】図4