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1. 发明专利

JP5354850B2 Surface analysis for spectroscopic apparatus and methods of analysis 有权
公开(公告)号：JP5354850B2
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：JP2006293552
申请日：2006-10-30
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人：ロバートバーナードブライアン
IPC分类号： G01N23/227 , G01N23/225 , H01J37/22 , H01J37/252
CPC分类号： H01J37/29 , H01J37/228 , H01J37/252
摘要： A spectrometer (10) for sample surface analysis by irradiation of the surface by primary particles and a corresponding method of surface analysis spectroscopy. The spectrometer (10) provides sample viewing and secondary charged particle collection substantially normal to the sample surface. A collection chamber (22) comprises a secondary charged particle lens arrangement (20) to focus the emitted particles in a downstream direction along a first normal axis (24) and thereby to define a charged particle optical crossover location (25); and a light-reflecting optical element (50) downstream of the lens arrangement and arranged to receive image light (41) and reflect it away from a second normal axis (42) for providing a viewable image of the surface. The optical element (50) is positioned at, or near to, the crossover location (25) and comprises an opening (52) therethrough, such that the focused particles pass through the opening for downstream spectroscopic analysis substantially without obstruction by the optical element.

2. 发明专利

JP5301470B2 X-ray analysis equipment 有权
公开(公告)号：JP5301470B2
公开(公告)日：2013-09-25
申请号：JP2009552103
申请日：2008-02-28
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人：ラヴィセカーイェレペッディ , ピエール−イヴネグロ , ミシェルボンゾン
IPC分类号： G01N23/207 , G01N23/223 , G21K1/06
CPC分类号： G01N23/223 , G01N23/20 , G01N2223/076
摘要： An apparatus for carrying out both x-ray diffraction (XRD) and x-ray fluorescence (XRF) analysis of a crystalline sample. A sample holder is located within an evacuable chamber. An x-ray fluorescence source and separate x-ray diffraction source are mounted within the evacuable chamber. An XRF detection arrangement is also provided, for detecting secondary x-rays emitted from the surface of the crystalline sample as a result of illumination by x-rays from the said x-ray fluorescence source. An XRD detection arrangement is then provided for detecting x-rays of a characteristic wavelength which have been diffracted by the crystalline sample. A moveable XRD support assembly is provided, comprising a first part configured to mount the XRD source for relative movement between the XRD source and the sample holder, and a second part configured to mount the XRD detection arrangement for relative movement between the XRD detection arrangement and the sample holder.

3. 发明专利

JP4758345B2 Vacuum ultraviolet radiation detection apparatus and method 有权
公开(公告)号：JP4758345B2
公开(公告)日：2011-08-24
申请号：JP2006525715
申请日：2004-09-03
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人：アントニオカブラス , フランソワビンセント
IPC分类号： G01J1/42 , G01J3/02 , G01J3/443
CPC分类号： G01J1/429 , G01J3/443

4. 发明专利

JP2007048742A Inductively coupled plasma alignment apparatus and method 有权
标题翻译：电感耦合等离子体对准装置及方法
公开(公告)号：JP2007048742A
公开(公告)日：2007-02-22
申请号：JP2006172345
申请日：2006-06-22
申请人： Thermo Fisher Scientific Inc , サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人： MARRIOTT PHILIP , WHITECHURCH TIMOTHY A , BRADFORD JONATHAN H , STRINGER JIM
IPC分类号： H05H1/30 , G01N27/68
CPC分类号： H05H1/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an inductively coupled plasma (ICP) alignment apparatus that dispenses with the movement of a bulky and heavy RF electronic circuit, can suppress RF radiation, and has small adjustment width for impedance matching. SOLUTION: The ICP alignment apparatus comprises: a coil 10 for generating an ICP in a gas; a torch 20 passing at least partially through the coil 10; and an adjustment mechanism 80 for adjusting the position of the torch 20 to the coil 10 so that the arrangement of a torch axis 200 to a coil axis 100 changes. The adjustment mechanism 80 may adjust an angle and/or a distance between the axis of the coil 10 and the torch axis 200. The torch axis 200 may be held substantially parallel to the coil axis 100, while the adjustment mechanism adjusts a distance between the torch axis 200 and the coil axis 100. The coil 10 is preferably maintained substantially fixed in position with respect to a sampling aperture for sampling photons or ions originating from the inductively coupled plasma. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题为了获得省去笨重和重的RF电子电路的移动的电感耦合等离子体（ICP）对准装置，可以抑制RF辐射，并且具有小的调整宽度用于阻抗匹配。解决方案：ICP对准装置包括：用于在气体中产生ICP的线圈10; 通过至少部分地通过线圈10的手电筒20; 以及调节机构80，用于将焊炬20的位置调整到线圈10，使得焊炬轴线200到线圈轴线100的配置发生变化。调节机构80可以调节线圈10的轴线和割炬轴线200之间的角度和/或距离。焊枪轴线200可以被保持为基本上平行于线圈轴线100，而调节机构调节焊枪轴线200和线圈轴线100.线圈10优选地相对于采样孔基本固定在适当位置，用于采样源自感应耦合等离子体的光子或离子。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2010520467A X-ray analysis equipment 有权
公开(公告)号：JP2010520467A
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：JP2009552103
申请日：2008-02-28
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人：ラヴィセカーイェレペッディ , ピエール−イヴネグロ , ミシェルボンゾン
IPC分类号： G01N23/207 , G01N23/223 , G01T1/18 , G01T1/20 , G21K1/06
CPC分类号： G01N23/223 , G01N23/20 , G01N2223/076
摘要： An apparatus for carrying out both x-ray diffraction (XRD) and x-ray fluorescence (XRF) analysis of a crystalline sample. A sample holder is located within an evacuable chamber. An x-ray fluorescence source and separate x-ray diffraction source are mounted within the evacuable chamber. An XRF detection arrangement is also provided, for detecting secondary x-rays emitted from the surface of the crystalline sample as a result of illumination by x-rays from the said x-ray fluorescence source. An XRD detection arrangement is then provided for detecting x-rays of a characteristic wavelength which have been diffracted by the crystalline sample. A moveable XRD support assembly is provided, comprising a first part configured to mount the XRD source for relative movement between the XRD source and the sample holder, and a second part configured to mount the XRD detection arrangement for relative movement between the XRD detection arrangement and the sample holder.

7. 发明专利

JP4124776B2 Method of measuring the high-energy radiation beams using a pulse mode ionization chamber 有权
公开(公告)号：JP4124776B2
公开(公告)日：2008-07-23
申请号：JP2005100741
申请日：2005-03-31
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人：ジョセフイージン、アレクサンダー , マスタロフ、マイケル
IPC分类号： G01T1/185 , G01T3/00 , H01J47/02 , H01J47/12
CPC分类号： G01T3/008 , G01T1/185

8. 发明专利

JP2007529721A Spectral data expansion method 审中-公开
公开(公告)号：JP2007529721A
公开(公告)日：2007-10-25
申请号：JP2007503222
申请日：2005-02-25
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人：エドモンドハラズ , ジャン−マルクボーレン
IPC分类号： G01J3/02 , G01J3/45 , G01N21/62 , G01N27/62 , G06F17/14
CPC分类号： G06F17/141 , G01J3/0294 , G01J3/45
摘要：周波数、波長又は質量スペクトルデータを拡張する方法であって、周波数、波長又は質量スペクトルデータをフーリエ逆変換し、得られた逆変換データをゼロフィル（及び望みならアポダイズ）し、そしてフーリエ変換して、周波数、波長又は質量領域へと再変換する。この処理によって得られるスペクトルデータは、ピークの位置、形状及び高さをより正確に示すものとなる。

9. 发明专利

JP2007505301A Vacuum ultraviolet radiation detection apparatus and method 有权
公开(公告)号：JP2007505301A
公开(公告)日：2007-03-08
申请号：JP2006525715
申请日：2004-09-03
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人：アントニオカブラス , フランソワビンセント
IPC分类号： G01J1/42 , G01J3/02 , G01J3/443
CPC分类号： G01J1/429 , G01J3/443
摘要：真空紫外放射線検出装置１０は、チャンバ１２内に放射線検出器３０を含む。検出器３０は、放射線源３６から紫外放射線を受け取る。チャンバ１２は、乾式真空ポンプ１８によって、５Ｐａ以上の比較的低い真空まで排気される。チャンバ１２内の全圧力が１００〜１，０００Ｐａとなるように、ＵＶ透過ガスが、比較的低い流量（約０．１リットル／分）でガス供給部２６からチャンバ１２内に供給される。比較的安価なポンプをより低いガス流量と併せて使用することによって、大幅な費用節減が実現される。

10. 发明专利

JP4879485B2 How sample dilution equipment and sample dilution 有权
公开(公告)号：JP4879485B2
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：JP2004528676
申请日：2003-08-14
申请人：サーモフィッシャーサイエンティフィックインク
发明人：フィリップネイルシャウ , フィリップマリオット
IPC分类号： G01N27/62 , G01N1/00 , G01N1/10 , G01N1/38
CPC分类号： G01N1/38 , G01N1/10 , Y10T436/25625 , Y10T436/2575

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