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1. 发明专利

JP2011137826A Oscillating micro-mechanical sensor for angular velocity 审中-公开
标题翻译：振荡用于角速度的微机械传感器
公开(公告)号：JP2011137826A
公开(公告)日：2011-07-14
申请号：JP2011015626
申请日：2011-01-27
申请人： Vti Technologies Oy , ヴェーテーイーテクノロジーズオサケユキチュア
发明人： BLOMQVIST ANSSI
IPC分类号： G01C19/56 , H01L29/84
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact oscillating micro-mechanical sensor for angular velocity capable of highly-reliable and efficient measurement. SOLUTION: Seismic masses 1, 2 are connected to support areas by springs or by springs and firm auxiliary structures. Hereby, a degree of freedom on an axis of rotation which is perpendicular to the plane of a wafer formed by the seismic masses, and a degree of freedom on at least one axis of rotation which is parallel to the plane of the wafer are given to the seismic masses 1, 2. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于角速度的紧凑型振荡微机械传感器，能够进行高度可靠和高效的测量。
解决方案：地震质量1,2通过弹簧或弹簧和坚固的辅助结构连接到支撑区域。因此，给出垂直于由地震块形成的晶片的平面的旋转轴线的自由度和平行于晶片平面的至少一个旋转轴线的自由度地震质量1，2.版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2011022149A Capacitive acceleration sensor 审中-公开
标题翻译：电容加速传感器
公开(公告)号：JP2011022149A
公开(公告)日：2011-02-03
申请号：JP2010173006
申请日：2010-07-30
申请人： Vti Technologies Oy , ヴェーテーイーテクノロジーズオサケユキチュア
发明人： KUISMA HEIKKI , LAHDENPERA JUHA , MUTIKAINEN RISTO
IPC分类号： G01P15/125 , B81B3/00 , B81C1/00 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0013 , B81B2201/0235 , B81C1/0096 , B81C2201/112 , G01P15/08 , G01P15/0802
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved, more durable sensor structure, which withstands wear caused by overload situations better than earlier structures.
SOLUTION: This capacitive acceleration sensor includes a pair of electrodes composed of a movable electrode (4) and a stationary electrode (5), and, related to the pair of electrodes, an isolator protrusion (6) having a diamond-like DLC (Diamond-like Carbon) coating.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种改进的，更耐用的传感器结构，其耐受比过去结构更好的过载情况下的磨损。解决方案：该电容式加速度传感器包括由可动电极（4）和固定电极（5）组成的一对电极，并且与该对电极相关联，具有菱形的隔离突起（6） DLC（类金刚石碳）涂层。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2010514180A Encapsulation module, a method for its production, and its use 审中-公开
公开(公告)号：JP2010514180A
公开(公告)日：2010-04-30
申请号：JP2009542014
申请日：2007-12-14
申请人：コンチネンタル・テベス・アーゲー・ウント・コンパニー・オーハーゲー , ブイティーアイ・テクノロジーズ・オーワイVti Technologies Oy
发明人：クイスマ、ヘイッキ , トルッケリ、アルッティ , ハルトマン、ベルンハルト , ヒルザー、ローラント
IPC分类号： H01L23/52 , B81B3/00 , B81C3/00
CPC分类号： H01L23/055 , B81B2207/012 , B81B2207/095 , B81B2207/096 , B81B2207/097 , B81C1/0023 , B81C1/00301 , H01L2224/73204 , H01L2924/01019 , H01L2924/01079 , H01L2924/01322 , H01L2924/1433 , H01L2924/1461 , H01L2924/00
摘要： The method involves generating a base of a semiconductor material during a process of the formation of an electronic connector unit e.g. through contact (2). The electronic connector unit is arranged on the base of the semiconductor material. An insulated material mound is formed on the base of the semiconductor material by a structuring and/or etching process during the process of the formation of the electronic connector unit, where the insulated material mound represents a semiconductor electrode (3). An independent claim is also included for an encapsulation module for encapsulating a micromechanical structure and/or micromechanical arrangement.

4. 发明专利

JP2011149944A Vibrating micromechanical sensor for angular velocity 有权
标题翻译：振动微观传感器用于角速度
公开(公告)号：JP2011149944A
公开(公告)日：2011-08-04
申请号：JP2011015625
申请日：2011-01-27
申请人： Vti Technologies Oy , ヴェーテーイーテクノロジーズオサケユキチュア
发明人： BLOMQVIST ANSSI
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibrating micromechanical sensor which is highly reliable and capable of efficient measurement, and, in particular, which is compact, reliable and capable of efficient measurement.
SOLUTION: Seismic masses 1 and 2 are connected to a support area by means of springs or springs and stiff auxiliary structures, which give the seismic masses 1 and 2 a degree of freedom in relation to an axis of rotation perpendicular to a plane of a wafer formed by the seismic masses and a degree of freedom in relation to at least one axis of rotation parallel to the plane of the wafer.
COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供高度可靠并且能够高效测量的振动微机械传感器，特别是小型，可靠和能够高效测量的振动微机械传感器。解决方案：地震质量1和2通过弹簧或弹簧和刚性辅助结构连接到支撑区域，使得地震质量1和2相对于垂直于平面的旋转轴线具有一定的自由度由与地震质量形成的晶片和相对于平行于晶片平面的至少一个旋转轴线的自由度。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2011145298A Oscillating micromechanical sensor for angular velocity 审中-公开
标题翻译：振荡微机电传感器用于角速度
公开(公告)号：JP2011145298A
公开(公告)日：2011-07-28
申请号：JP2011015627
申请日：2011-01-27
申请人： Vti Technologies Oy , ヴェーテーイーテクノロジーズオサケユキチュア
发明人： BLOMQVIST ANSSI
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oscillating micromechanical sensor for an angular velocity, which achieves a highly reliable and efficient measurement. SOLUTION: Oscillation masses 1 and 2 are connected to a support area by a spring or a spring and a solid auxiliary structure. Thus, a degree of freedom relative to a rotating shaft vertical to a plane of a wafer formed by the oscillation masses and a degree of freedom relative to at least one rotating shaft parallel to the plane of the wafer are given to the oscillation masses 1 and 2. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供用于角速度的振荡微机械传感器，其实现高度可靠和有效的测量。解决方案：振荡块1和2通过弹簧或弹簧和固体辅助结构连接到支撑区域。因此，相对于垂直于由振动块形成的晶片的平面的旋转轴的自由度和相对于平行于晶片的平面的至少一个旋转轴的自由度被赋予振荡块1和 2.版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2011141281A Oscillating micromechanical sensor for angular velocity 审中-公开
标题翻译：振荡微机电传感器用于角速度
公开(公告)号：JP2011141281A
公开(公告)日：2011-07-21
申请号：JP2011015785
申请日：2011-01-27
申请人： Vti Technologies Oy , ヴェーテーイーテクノロジーズオサケユキチュア
发明人： BLOMQVIST ANSSI
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oscillating micromechanical sensor which is especially compact and which enables reliable and efficient measurements. SOLUTION: At least one pair of electrodes is provided in association with an edge of a seismic mass 45 and 46. The pair of electrodes together with a surface of the mass form two capacitances. One of the capacitances of the pair of electrodes increases and the other capacitance of the pair of electrodes decreases as a function of the angle of rotation in the primary motion of the mass. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种特别紧凑的振荡微机械传感器，可实现可靠和高效的测量。解决方案：至少一对电极与抗震块45和46的边缘相关联地设置。该对电极与质量的表面一起形成两个电容。一对电极中的一个电容增加，并且该对电极中的另一个电容作为质量的主运动中的旋转角度的函数而减小。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

7. 发明专利

TW201312921A 能量擷取／輪胎壓力、溫度及輪胎資料傳送器审中-公开
简体标题：能量截取／轮胎压力、温度及轮胎数据发送器
公开(公告)号：TW201312921A
公开(公告)日：2013-03-16
申请号：TW101122601
申请日：2012-06-25
申请人： VTI科技公司 , VTI TECHNOLOGIES OY , 豐田自動車股份有限公司 , TOYOTA MOTOR CORPORATION
发明人：庫斯馬海奇 , KUISMA, HEIKKI , 成田勝俊 , NARITA, KATSUTOSHI
IPC分类号： H02N11/00 , H02N2/18
CPC分类号： H02N2/18 , B60C23/041 , B60C23/0411 , H01L41/1136
摘要：本發明實施一種將能量從機械域轉換至電氣域的擷取器(12)。該擷取器包含至少一慣性體(6)、至少一樑桿(7、9)、對於該至少一樑桿(7、9)之一支撐體(8)以及傳感器裝置(10、16)，其中該至少一樑桿(7、9)將該慣性體(6)組構入一鐘擺結構之中，該鐘擺結構懸吊於該支撐體(8)，使得該樑桿(7、9)能夠依據該慣性體(6)之運動狀態的變化而彎曲，且被組構成與至少一傳感器裝置(10)交互運作，該等傳感器裝置被組構成因應該等樑桿(7、9)之運動狀態在該等傳感器裝置(10、16)的電氣狀態上產生改變。本發明同時亦顯示包含至少一實施擷取器之擷取器模組、矩陣以及擷取器系統。本發明同時亦顯示包含至少一實施擷取器之輪胎以及鞋類製品。
简体摘要：本发明实施一种将能量从机械域转换至电气域的截取器(12)。该截取器包含至少一惯性体(6)、至少一梁杆(7、9)、对于该至少一梁杆(7、9)之一支撑体(8)以及传感器设备(10、16)，其中该至少一梁杆(7、9)将该惯性体(6)组构入一钟摆结构之中，该钟摆结构悬吊于该支撑体(8)，使得该梁杆(7、9)能够依据该惯性体(6)之运动状态的变化而弯曲，且被组构成与至少一传感器设备(10)交互运作，该等传感器设备被组构成因应该等梁杆(7、9)之运动状态在该等传感器设备(10、16)的电气状态上产生改变。本发明同时亦显示包含至少一实施截取器之截取器模块、矩阵以及截取器系统。本发明同时亦显示包含至少一实施截取器之轮胎以及鞋类制品。

8. 发明申请

WO2009043967A1 VIBRATING MICROMECHANICAL SENSOR OF ANGULAR VELOCITY 审中-公开
标题翻译：振动微观传感器的角速度
公开(公告)号：WO2009043967A1
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/FI2008/050539
申请日：2008-09-29
申请人： VTI TECHNOLOGIES OY , KLEMETTI, Petri , NERA, Kaisa , LIPSANEN, Antti , BLOMQVIST, Anssi , TORKKELI, Altti
发明人： KLEMETTI, Petri , NERA, Kaisa , LIPSANEN, Antti , BLOMQVIST, Anssi , TORKKELI, Altti
IPC分类号： G01P3/02 , G01P15/097 , G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： The invention relates to measuring devices to be used in the measuring of angular velocity and, more precisely, to vibrating micromechanical sensors of angular velocity. In a sensor of angular velocity according to the invention, a mass is supported to the frame of the sensor component by means of an asymmetrical spring structure (1), (2), (3), (4), (22), (24) in such a way, that the coupling from one mode of motion to another, conveyed by the spring (1), (2), (3), (4), (22), (24), cancels or alleviates the coupling caused by the non-ideality due to the skewness in the springs or in their support. The structure of the sensor of angular velocity according to the invention enables reliable measuring with good performance, particularly in small vibrating micromechanical solutions for sensors of angular velocity.
摘要翻译：本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更确切地说，涉及角速度的振动微机械传感器。在根据本发明的角速度传感器中，通过不对称的弹簧结构（1），（2），（3），（4），（22），（22），弹簧（1），（2），（3），（4），（22），（24）传送的从一种运动模式到另一种运动模式的耦合可以抵消或减轻由于弹簧的偏斜或其支撑而由非理想性造成的耦合。根据本发明的角速度传感器的结构能够以良好的性能进行可靠的测量，特别是在角速度传感器的小型振动微机械解决方案中。

9. 发明申请

WO2009007498A1 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING THE PROGRESS OF A MOVING PERSON 审中-公开
标题翻译：用于测量移动人员进展的方法和装置
公开(公告)号：WO2009007498A1
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：PCT/FI2008/050355
申请日：2008-06-13
申请人： VTI TECHNOLOGIES OY , MERIHEINÄ, Ulf
发明人： MERIHEINÄ, Ulf
IPC分类号： G01P15/08 , G01C21/12 , A61B5/11
CPC分类号： A61B5/112 , A61B5/0002 , A61B5/1123 , A61B5/6804 , A61B5/725 , A61B2562/0219 , G01C21/10 , G01C22/006 , G01P3/50 , G01P15/00
摘要： The invention relates to measuring devices to be used in physical measuring, and more particularly, to a method and a device for measuring the progress of a moving person. In the solution according to the invention the quantities describing the progress of the moving person can be calculated based on vertical acceleration values of the body measured by means of an acceleration sensor, and on the measured time. The invention aims at providing a solution, better and simpler than prior solutions, for measuring the progress of a moving person, which solution is applicable for use in a multitude of measuring solutions for ways of locomotion of various types.
摘要翻译：本发明涉及用于物理测量的测量装置，更具体地，涉及一种用于测量移动人物的进度的方法和装置。在根据本发明的解决方案中，可以基于通过加速度传感器测量的身体的垂直加速度值和测量时间来计算描述移动人物进展的量。本发明旨在提供一种比以前的解决方案更好和更简单的解决方案，用于测量移动人员的进度，该解决方案适用于多种测量方案，用于各种类型的运动。

10. 发明申请

WO2006070060A1 OSCILLATING MICRO-MECHANICAL SENSOR OF ANGULAR VELOCITY 审中-公开
标题翻译：振荡微机械传感器的角速度
公开(公告)号：WO2006070060A1
公开(公告)日：2006-07-06
申请号：PCT/FI2005/000558
申请日：2005-12-30
申请人： VTI TECHNOLOGIES OY , BLOMQVIST, Anssi
发明人： BLOMQVIST, Anssi
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 , B81B3/00
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： The present invention relates to measuring devices used in measuring angular velocity and, more specifically, to oscillating micro-mechanical sensors of angular velocity. In the sensors of angular velocity according to the present invention, at least one pair of electrodes is provided in association with an edge of a seismic mass (1), (9), (10), (20), (30), (31), which pair of electrodes together with the surface of the mass (1), (9), (10), (20), (30), (31) form two capacitances such, that one of the capacitances of the pair of electrodes will increase and the other capacitance of the pair of electrodes will decrease as a function of the angle of rotation in the primary motion of the mass (1), (9), (10), (20), (30), (31). The structure of a sensor of angular velocity according to the present invention enables reliable and efficient measuring particularly in solutions for compact oscillating micro-mechanical sensors of angular velocity.
摘要翻译：本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地说，涉及角速度的振动微机械传感器。在根据本发明的角速度传感器中，至少一对电极与地震块（1），（9），（10），（20），（30），（10）， 31），与质量块（1），（9），（10），（20），（30），（31）的表面对的一对电极形成两个电容，使得一对电容（1），（9），（10），（20），（30），（30），（30）的主运动中的旋转角的函数将减小电极对的另一个电容，（31）。根据本发明的角速度传感器的结构使得能够可靠和有效地测量，特别是在角速度的紧凑型振动微机械传感器的解决方案中。

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