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    • 88. 发明专利
    • 基板把持手及基板搬送裝置
    • 基板把持手及基板搬送设备
    • TW201742723A
    • 2017-12-16
    • TW106106144
    • 2017-02-23
    • 川崎重工業股份有限公司KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
    • 福島崇行FUKUSHIMA, TAKAYUKI
    • B25J15/08B65G49/07H01L21/677
    • B25J15/08B65G49/07H01L21/677
    • 基板把持手,具備:基座板,規定有從基端側往前端側延伸之中心線、基板之中心位於該中心線上之把持位置;設置於前述基座板之前述前端側之至少一個固定爪,可與位於前述把持位置之前述基板之邊緣卡合;可動爪,具有可對位於前述把持位置之前述基板之邊緣作用之作用部,且於比前述把持位置更靠近前述基端側處於前述中心線上往返移動;推動器,具有可對比垂直姿勢之前述基板之中心更下方之邊緣作用之作用部,且於比前述把持位置更靠近前述基端側處與前述中心線平行地往返移動;致動器,使前述可動爪及前述推動器一體地往返移動。以藉由朝向前述前端側進行往動之前述推動器對垂直姿勢之前述基板作用而前述基板抬高至前述把持位置後,藉由進行往動之前述可動爪對前述基板作用而藉由前述可動爪及前述固定爪之協動把持前述基板之方式,前述推動器之作用部位於比前述可動爪之作用部更靠近前述前端側處。
    • 基板把持手,具备:基座板,规定有从基端侧往前端侧延伸之中心线、基板之中心位于该中心在线之把持位置;设置于前述基座板之前述前端侧之至少一个固定爪,可与位于前述把持位置之前述基板之边缘卡合;可动爪,具有可对位于前述把持位置之前述基板之边缘作用之作用部,且于比前述把持位置更靠近前述基端侧处于前述中心在线往返移动;推动器,具有可对比垂直姿势之前述基板之中心更下方之边缘作用之作用部,且于比前述把持位置更靠近前述基端侧处与前述中心线平行地往返移动;致动器,使前述可动爪及前述推动器一体地往返移动。以借由朝向前述前端侧进行往动之前述推动器对垂直姿势之前述基板作用而前述基板抬高至前述把持位置后,借由进行往动之前述可动爪对前述基板作用而借由前述可动爪及前述固定爪之协动把持前述基板之方式,前述推动器之作用部位于比前述可动爪之作用部更靠近前述前端侧处。
    • 89. 发明专利
    • 基板搬送手及機器人
    • 基板搬送手及机器人
    • TW201742178A
    • 2017-12-01
    • TW106106143
    • 2017-02-23
    • 川崎重工業股份有限公司KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
    • 芝田武士SHIBATA, TAKESHI
    • H01L21/677B65G43/08B65G49/07B25J15/02
    • B65G49/07H01L21/677
    • 基板搬送手,具備:外殼;薄板狀之葉片,其基端部結合於前述外殼;前方導引部,設於前述葉片之前端部,具有離前述葉片之高度彼此相異之基板之第一支持部及第二支持部;第一後方導引部,設於前述葉片之基端部,具有離前述葉片之高度與前述前方導引部之前述第一支持部一致之部分;第二後方導引部,設於前述葉片之基端側,具有離前述葉片之高度與前述前方導引部之前述第二支持部一致之部分;驅動裝置,設置於前述外殼內,具有對支持於前述葉片之基板進退移動之輸出端,並使與該輸出端結合之前述第二後方導引部在不與前述葉片於該葉片之垂線方向重疊之區域移動。
    • 基板搬送手,具备:外壳;薄板状之叶片,其基端部结合于前述外壳;前方导引部,设于前述叶片之前端部,具有离前述叶片之高度彼此相异之基板之第一支持部及第二支持部;第一后方导引部,设于前述叶片之基端部,具有离前述叶片之高度与前述前方导引部之前述第一支持部一致之部分;第二后方导引部,设于前述叶片之基端侧,具有离前述叶片之高度与前述前方导引部之前述第二支持部一致之部分;驱动设备,设置于前述外壳内,具有对支持于前述叶片之基板进退移动之输出端,并使与该输出端结合之前述第二后方导引部在不与前述叶片于该叶片之垂线方向重叠之区域移动。