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71. 发明专利

JP5172331B2 Cantilever scanning probe microscope and a scanning probe microscope comprising it 有权
公开(公告)号：JP5172331B2
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：JP2007512847
申请日：2006-03-30
申请人：独立行政法人科学技術振興機構 , 株式会社日立ハイテクサイエンス
发明人：健一丸山 , 鈴木　　孝治 , 誠人伊與木
IPC分类号： G01Q60/22 , G01Q10/00 , G01Q60/02 , G01Q60/38 , G01Q60/60 , G01Q70/10 , G01Q70/14 , G01Q70/16
CPC分类号： G01Q60/06 , G01Q60/60

72. 发明专利

JP4613264B2 Surface characterization equipment 有权
公开(公告)号：JP4613264B2
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：JP2006270618
申请日：2006-10-02
申请人：アオイ電子株式会社 , 国立大学法人東京大学 , 国立大学法人香川大学
发明人：原橋口 , 博之藤田
IPC分类号： G01Q60/02 , G01Q30/02 , G01Q60/24 , G01Q60/32 , G01Q60/38 , G01Q60/40 , G01R1/073

73. 发明专利

JP2009511882A Inspection method of the measurement object, and equipment 审中-公开
公开(公告)号：JP2009511882A
公开(公告)日：2009-03-19
申请号：JP2008534858
申请日：2006-06-30
申请人：イェーペーカーインストゥルメンツアクチエンゲゼルシャフト
发明人：イエンケ，トルステン
IPC分类号： G01Q60/02 , G01Q10/00 , G01Q10/06 , G01Q30/02 , G01Q30/06 , G01Q60/18
CPC分类号： G01Q10/06 , G01Q30/025 , G01Q30/06
摘要：本発明は測定対象を検査するための方法に関するものであって、測定対象（２，１２）は、走査プローブ型測定デバイスの測定プローブ（１０）を使用する走査型プローブ顕微鏡法によって検査され、かつ上記測定対象（２，１２）における少なくとも１つの小区分（１）は、光学的測定系に関連する観察領域において当該光学的測定系によって光学的に検査され、走査型プローブ顕微鏡法による上記検査によってもたらされる、上記測定対象（２，１２）における少なくとも１つの上記小区分（１）による上記観察領域の範囲外への変位は、上記測定対象（２，１２）における少なくとも１つの上記変位した小区分（１）が、上記変位を特徴付けるデータ信号を処理する再調整デバイスによって上記観察領域内に再配置されるといった手法によって補正される方法。

74. 发明专利

JP2007078660A Apparatus for measuring electron emission distribution 有权
标题翻译：用于测量电子发射分布的装置
公开(公告)号：JP2007078660A
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：JP2005270889
申请日：2005-09-16
申请人： Univ Of Tsukuba , 国立大学法人筑波大学
发明人： SASAKI MASAHIRO , SATO TAKANOBU , SAIDA MORIHIKO
IPC分类号： G01B7/34 , G01Q10/04 , G01Q10/06 , G01Q30/02 , G01Q30/04 , G01Q60/00 , G01Q60/02 , G01Q60/10 , G01Q60/12
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus for measuring an electron emission distribution capable of also measuring a high dissolving power electron emission distribution in a scanning tunnel microscope. SOLUTION: The apparatus includes a probe 6, a piezoelectric element for moving the probe 6 with respect to a sample 7, a bias voltage applying circuit for applying bias voltage to the sample 7, a preamplifier 10 for converting the tunnel current flowing across the probe 6 and the sample 7 to voltage and STM control circuits 3 successively provided on the output side of the preamplifier 10. A sample holding circuit 22 is provided between the preamplifier 10 and the STM control circuits 3 not only to measure (form) an STM image but also to measure (form) the electron emission distribution image. COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于测量扫描隧道显微镜中也可测量高溶解度电子发射分布的电子发射分布的装置。解决方案：该装置包括探针6，用于相对于样品7移动探针6的压电元件，向样品7施加偏置电压的偏置电压施加电路，用于转换隧道电流流过的前置放大器10 跨越探针6和样品7到连续提供在前置放大器10的输出侧的电压和STM控制电路3.样品保持电路22设置在前置放大器10和STM控制电路3之间，不仅测量（形式） STM图像，但也用于测量（形成）电子发射分布图像。版权所有（C）2007，JPO＆INPIT

75. 发明专利

JP3819230B2 Multi-probe scanning probe microscope apparatus and the sample surface evaluation method using the same 有权
公开(公告)号：JP3819230B2
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：JP2000332452
申请日：2000-10-31
申请人：シャープ株式会社
发明人：亮一増田 , 文利安尾 , 裕子岡▲崎▼ , 加代子森 , あきつ鮎川
IPC分类号： G01B21/30 , G01N1/28 , G01Q10/02 , G01Q30/02 , G01Q60/02 , G01Q80/00
CPC分类号： G01Q70/06 , G01Q10/06

76. 发明专利

JP2734728B2 失效
公开(公告)号：JP2734728B2
公开(公告)日：1998-04-02
申请号：JP5963290
申请日：1990-03-09
申请人： NIKON KK
发明人： FUJII TOORU
IPC分类号： G01B21/20 , G01N3/56 , G01N19/02 , G01N37/00 , G01Q20/00 , G01Q60/02 , G01Q60/24 , G01Q60/26

77. 发明授权

US09395388B2 Methods, systems, and computer readable media for dual resonance frequency enhanced electrostatic force microscopy 有权
标题翻译：用于双共振频率增强静电力显微镜的方法，系统和计算机可读介质
公开(公告)号：US09395388B2
公开(公告)日：2016-07-19
申请号：US14428510
申请日：2013-09-16
申请人： The University of North Carolina at Chapel Hill
发明人： Dong Wu , Dorothy Erie
IPC分类号： G01Q60/02 , B82Y35/00 , G01Q60/30 , G01N19/00 , G01N27/60 , G01Q60/32 , G01Q60/36 , G01Q60/40
CPC分类号： G01Q60/02 , G01N19/00 , G01N27/60 , G01Q60/30 , G01Q60/32 , G01Q60/36 , G01Q60/40
摘要： The subject matter described herein includes methods, systems, and computer readable media for dual resonance frequency enhanced electrostatic force microscopy. One method includes applying an alternating current (AC) bias and a direct current (DC) bias to an atomic force microscopy cantilever, wherein the AC bias has a frequency greater than a fundamental resonance frequency of the cantilever. The method further includes mechanically vibrating the cantilever at a frequency different from the frequency of the AC bias. The method further includes physically and electrostatically scanning a sample in the same pass using the cantilever while vibrating the cantilever and applying the AC and DC biases to the cantilever, and generating a topology image of the sample from the physical scanning and an electrostatic image of charged material under or on a surface of the sample from the electrostatic scanning.
摘要翻译：本文描述的主题包括用于双共振频率增强静电力显微镜的方法，系统和计算机可读介质。一种方法包括将交流（AC）偏压和直流（DC）偏压施加到原子力显微镜悬臂，其中AC偏压具有大于悬臂的基本共振频率的频率。该方法还包括以与AC偏压的频率不同的频率机械振动悬臂。该方法还包括在振动悬臂的同时使用悬臂物体和静电扫描样品，并将AC和DC偏压施加到悬臂，以及从物理扫描和静电图像产生样品的拓扑图像来自静电扫描的样品表面下或表面上的材料。

78. 发明授权

US6046972A Method and producing probe with minute aperture, scanning near-field optical microscope using the probe and recording and/or reproducing apparatus using the probe 失效
标题翻译：使用微孔的方法和产生探针，使用探针扫描近场光学显微镜，并使用探针进行记录和/或再现装置
公开(公告)号：US6046972A
公开(公告)日：2000-04-04
申请号：US825129
申请日：1997-03-27
申请人： Ryo Kuroda , Yasuhiro Shimada
发明人： Ryo Kuroda , Yasuhiro Shimada
IPC分类号： G01B11/30 , G01N37/00 , G01Q10/06 , G01Q30/02 , G01Q60/02 , G01Q60/16 , G01Q60/18 , G01Q60/22 , G01Q60/38 , G01Q60/56 , G01Q70/06 , G01Q80/00 , G02B6/122 , G11B7/005 , G11B7/12 , G11B7/14 , G11B7/22 , G11B9/00 , G11B9/14 , G11B11/00 , G11B11/03 , G11B7/00
CPC分类号： G01Q60/22 , B82Y20/00 , B82Y35/00 , G01Q70/06 , G02B6/122 , G11B11/03 , G11B7/005 , G11B7/12 , G11B7/14 , G11B7/22 , G11B9/14 , G11B9/1409 , B82Y10/00 , G01Q80/00 , Y10S977/862
摘要： In a method of manufacturing a probe with a minute aperture, the probe is coated with conductive material, a tip of the probe is brought into contact with a conductive substrate and a voltage is applied between the probe and the substrate to remove the coating material at the tip of the probe and form the minute aperture at the tip of the probe. The thus-fabricated probe can be used in a scanning near-field optical microscope for observing an object on the basis of a change in intensity of near-field light and an information recording and/or reproducing apparatus for reproducing information recorded in a record medium by using near-field light.
摘要翻译：在制造具有微小孔径的探针的方法中，探针用导电材料涂覆，探针的尖端与导电基底接触，并且在探针和基底之间施加电压以除去涂层材料探针的尖端，并在探针的尖端形成微小的孔。这样制造的探针可以用于扫描近场光学显微镜，用于基于近场光强度的变化来观察物体，以及用于再现记录在记录介质中的信息的信息记录和/或再现装置通过使用近场光。

79. 发明授权

US5388323A Method of forming a probe for an atomic force microscope 失效
标题翻译：形成原子力显微镜探针的方法
公开(公告)号：US5388323A
公开(公告)日：1995-02-14
申请号：US263117
申请日：1994-06-21
申请人： Theresa J. Hopson , Ronald N. Legge , Juan P. Carrejo
发明人： Theresa J. Hopson , Ronald N. Legge , Juan P. Carrejo
IPC分类号： G01Q60/40 , G01N25/72 , G01Q30/08 , G01Q60/02 , G01Q60/38 , G01Q60/42 , G01Q60/58 , G01Q70/06 , G01R3/00 , G01K1/14
CPC分类号： G01Q60/38 , B82Y35/00 , G01N25/72 , G01Q60/02 , G01Q60/58 , Y10S977/867 , Y10T29/49007
摘要： A probe (10,30,40) for forming images of surfaces (11) facilitates simultaneous formation of both thermal and atomic force microsocopy images. The probe (10,30,40) includes a heat sensing assembly (15) that has a heat sensing element (19,38,42). An electrically isolating and thermally conductive tip (22,48) projects from the heat sensing assembly. The probe (10) also has a reflective element (24) that is positioned between a first end of the heat sensing assembly (15) and the electrically isolating and thermally conductive tip (22).
摘要翻译：用于形成表面（11）的图像的探针（10,30,40）有助于同时形成热和原子力微透镜图像。探针（10,30,40）包括具有热传感元件（19,38,42）的热敏组件（15）。电绝缘和导热尖端（22,48）从热敏组件突出。探针（10）还具有位于热敏组件（15）的第一端和电绝缘和导热尖端（22）之间的反射元件（24）。

80. 发明授权

US5356218A Probe for providing surface images 失效
标题翻译：提供表面图像的探头
公开(公告)号：US5356218A
公开(公告)日：1994-10-18
申请号：US55887
申请日：1993-05-04
申请人： Theresa J. Hopson , Ronald N. Legge , Juan P. Carrejo
发明人： Theresa J. Hopson , Ronald N. Legge , Juan P. Carrejo
IPC分类号： G01Q60/40 , G01N25/72 , G01Q30/08 , G01Q60/02 , G01Q60/38 , G01Q60/42 , G01Q60/58 , G01Q70/06 , G01J5/02 , G01J5/12
CPC分类号： G01Q60/38 , B82Y35/00 , G01N25/72 , G01Q60/02 , G01Q60/58 , Y10S977/867 , Y10T29/49007
摘要： A probe (10,30,40) for forming images of surfaces (11) facilitates simultaneous formation of both thermal and atomic force microsocopy images. The probe (10,30,40) includes a heat sensing assembly (15) that has a heat sensing element (19,38,42). An electrically isolating and thermally conductive tip (22,48) projects from the heat sensing assembly. The probe (10) also has a reflective element (24) that is positioned between a first end of the heat sensing assembly (15) and the electrically isolating and thermally conductive tip (22).
摘要翻译：用于形成表面（11）的图像的探针（10,30,40）有助于同时形成热和原子力微透镜图像。探针（10,30,40）包括具有热传感元件（19,38,42）的热敏组件（15）。电绝缘和导热尖端（22,48）从热敏组件突出。探针（10）还具有位于热敏组件（15）的第一端和电绝缘和导热尖端（22）之间的反射元件（24）。

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