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71. 发明公开

KR1020110043422A 박막형 열전 에너지변환 모듈 제조 방법 有权
标题翻译：制造薄膜热电能转换模块的方法
公开(公告)号：KR1020110043422A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：KR1020100075959
申请日：2010-08-06
申请人： 한국기계연구원
发明人： 한승우 , 박현성 , 현승민 , 김정엽 , 장봉균
IPC分类号： H01L35/34 , H01L35/02
CPC分类号： H01L35/34 , H01L35/16 , H01L35/18 , H01L35/32
摘要： PURPOSE: A method for manufacturing a thin film thermoelectric energy conversion module is provided to prevent the deterioration of thermoelectric performance by depositing metal compound. CONSTITUTION: A first semiconductor pattern(160a) is formed on an exposed electrode layer. A nickel layer(170) is formed on the first semiconductor pattern through a deposition process. A tin layer(180) is formed on the nickel layer through the deposition process. A first pattern is formed by removing a second photo resist pattern and a lift off resistor. A second pattern with the second semiconductor pattern is formed. The first semiconductor pattern is opposite to the second semiconductor pattern. A thermoelectric energy conversion module is formed by bonding the tin layer on the upper side of the electrode layer of the first pattern.
摘要翻译：目的：提供一种制造薄膜热电能转换模块的方法，以通过沉积金属化合物来防止热电性能的劣化。构成：在暴露的电极层上形成第一半导体图案（160a）。通过沉积工艺在第一半导体图案上形成镍层（170）。通过沉积工艺在镍层上形成锡层（180）。通过去除第二光致抗蚀剂图案和剥离电阻器形成第一图案。形成具有第二半导体图案的第二图案。第一半导体图案与第二半导体图案相反。通过将第一图案的电极层的上侧上的锡层接合而形成热电能转换模块。

72. 发明授权

KR101022017B1 계층화 구조물 제조 장치 有权
标题翻译：用于制造层次结构的装置
公开(公告)号：KR101022017B1
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：KR1020080096815
申请日：2008-10-01
申请人： 한국기계연구원
发明人： 김재현 , 이학주 , 현승민 , 한승우 , 최병익
IPC分类号： H01L21/677
CPC分类号： H01L21/6836 , B29C47/067 , B29C2043/463 , H01L24/80 , H01L24/83 , H01L24/95 , H01L25/0652 , H01L2221/68359 , H01L2221/68368 , H01L2224/27312 , H01L2224/7565 , H01L2224/83192 , H01L2224/838 , H01L2224/95145 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01019 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01057 , H01L2924/01082 , H01L2924/1461 , Y10T156/1195 , Y10T156/1705 , Y10T156/1744 , H01L2924/00
摘要： 본 발명은 고성능의 미소유닛을 유연한 기판 상에 계층적으로 형성할 수 있는 대량 생산 제조장치인 계층화 구조물 제조 장치에 관한 것이다.
이를 위한 본 발명의 계층화 구조물 제조 장치는, 단단한 재질의 더미기판(dummy substrate) 상에 구비된 미소유닛을 릴리스(release)하여 유연한 재질의 타겟기판(target substrate) 상에 적층하기 위한 계층화 구조물 제조 장치에 있어서, 상기 더미기판을 지지하여 평면이송시키는 이송스테이지; 및 상기 더미기판과 상기 타겟기판이 서로 압착되도록 상기 타겟기판을 감아 롤링시킴에 따라 상기 더미기판의 미소유닛이 상기 타겟기판에 적층되게 하는 메인롤러;를 포함하여 구성된다.
계층화, 구조물, 적층, 유연, 플렉서블

73. 发明公开

KR1020100026366A ＯＬＥＤ 시편 시험장치 失效
标题翻译： OLED测试装置的测试装置
公开(公告)号：KR1020100026366A
公开(公告)日：2010-03-10
申请号：KR1020080085342
申请日：2008-08-29
申请人： 한국기계연구원
发明人： 현승민 , 한승우 , 배종성 , 김재현 , 이학주 , 이응숙
IPC分类号： G01N3/20 , G01N27/04 , G01N27/00
CPC分类号： G01N3/20 , G01N27/04 , G01N2203/0023 , G01N2203/0278
摘要： PURPOSE: A testing device for an OLED test piece is provided to measure optical and electrical properties depending on mechanical deformation of an OLED test piece. CONSTITUTION: A testing device for an OLED test piece comprises a tester(20), an electrical source measuring machine(50), a light sensor(30), and a control box(40). The tester applies mechanical deformation to a test piece(10) by clamping both sides of the test piece. The electrical source measuring machine applies electric current and voltage to the test piece. The electrical source measuring machine measures electrical resistance and a short circuit of a luminous element. The light sensor receives light irradiated from the test piece, and measures optical properties of the test piece. The control box is electrically connected to the tester, the electrical source measuring machine, and the light sensor.
摘要翻译：目的：提供用于OLED测试件的测试装置，以根据OLED测试件的机械变形测量光学和电学性能。构成：用于OLED测试件的测试装置包括测试器（20），电源测量机（50），光传感器（30）和控制箱（40）。测试仪通过夹紧测试件的两侧对测试件（10）施加机械变形。电源测量机对试片施加电流和电压。电源测量机测量发光元件的电阻和短路。光传感器接收从试片照射的光，并测量试片的光学特性。控制箱电连接到测试仪，电源测量机和光传感器。

74. 发明公开

KR1020090123128A 도금 장비용 웨이퍼 지그 有权
标题翻译：用于镀层的装置
公开(公告)号：KR1020090123128A
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：KR1020080049052
申请日：2008-05-27
申请人： 한국기계연구원 , 재단법인 서울테크노파크
发明人： 한승우 , 박현성 , 김재현 , 김성동 , 안효석 , 장동영
IPC分类号： C25D17/06 , C25D17/00 , H01L21/68
CPC分类号： C25D17/06 , C25D7/12 , H01L21/687
摘要： PURPOSE: A wafer jig for a plating device is provided to facilitate dissolution of a cover and a base plate by inserting a sealing member, which seals the rear parts of the base plate and the cover, into an inner sealing groove. CONSTITUTION: A wafer jig for a plating device comprises a circular head, a base plate, a ring plate, a dummy plate, a circular cover(6), a first sealing member, a second sealing member, and a plurality of electrode pins. The base plate is mounted on the upper part of the circular head. The ring plate is mounted on the upper part of the base plate. The dummy plate is inserted into the upper part of the ring plate and has a shape corresponding to the wafer. The circular cover is coupled with the head and an opening part is formed in the circular cover to open the wafer. The first sealing member seals the gap between the front circumference of the base plate and the cover. The second sealing member seals the gap between the inner circumference of the opening part of the cover and the front side of the front circumference of the wafer. A plurality of electrode pins are contacted with the border between the wafer and the ring plate. A plurality of protruded parts are formed on the lower part of the circular cover. The fastening member coupled on the protruded parts by the rotation is formed on the circumference.
摘要翻译：目的：提供一种用于电镀装置的晶片夹具，以便通过将密封构件（其将基板和盖的后部部分密封）密封到内密封槽中来便于盖和基板的溶解。构成：用于电镀装置的晶片夹具包括圆头，基板，环板，虚拟板，圆形盖（6），第一密封构件，第二密封构件和多个电极引脚。基板安装在圆头的上部。环板安装在基板的上部。虚拟板被插入到环板的上部，并且具有与晶片相对应的形状。圆形盖与头部联接，并且在圆形盖中形成开口部分以打开晶片。第一密封构件密封基板的前周与盖之间的间隙。第二密封构件密封盖的开口部的内周与晶片的前周的前侧之间的间隙。多个电极引脚与晶片与环形板之间的边界接触。在圆形罩的下部形成有多个突出部。通过旋转而联接在突出部上的紧固构件形成在圆周上。

75. 发明公开

KR1020090109851A 도금 장비용 웨이퍼 지그 有权
标题翻译：用于镀层的装置
公开(公告)号：KR1020090109851A
公开(公告)日：2009-10-21
申请号：KR1020080035289
申请日：2008-04-16
申请人： 한국기계연구원 , 재단법인 서울테크노파크
发明人： 한승우 , 박현성 , 김재현 , 김성동 , 안효석 , 장동영
IPC分类号： C25D17/06 , H01L21/673
CPC分类号： C25D17/06 , C25D7/12 , H01L21/687
摘要： PURPOSE: A wafer jig for plating apparatus is provided to improve practicality and by changeably mounting and applying wafer of the various thicknesses. CONSTITUTION: A wafer jig for plating apparatus comprises a head, a base plate, a ring plate, a dummy plate, a cover(6), a first sealing member, a second sealing member and an electrode pin. The ring plate is mounted in front of the base plate, the electrified with the base plate and has a hole defining a wafer loading area. The dummy plate is inserted in the hole of the ring plate to load a wafer. The first sealing member seals up the frontal surface circumference of the base plate and the inside of the cover. The second sealing member seals up the opening inner circumference of the cover and the frontal surface circumference frontal surface of the wafer. The electrode pin is contacted to the wafer and ring plate border and mounted on the inside of the second sealing member of the cover.
摘要翻译：目的：提供电镀装置的晶片夹具，以提高实用性，并且可变地安装和应用各种厚度的晶片。构成：用于电镀装置的晶片夹具包括头，基板，环板，虚拟板，盖（6），第一密封构件，第二密封构件和电极引脚。环板安装在基板的前面，与基板通电，并具有限定晶片装载区域的孔。将虚拟板插入环形板的孔中以加载晶片。第一密封构件密封基板的正面周边和盖的内侧。第二密封构件密封盖的开口内周和晶片的前表面周向前表面。电极针与晶片和环板边界接触并安装在盖的第二密封构件的内侧。

76. 发明公开

KR1020080102020A 공작기계 오일쿨러 성능 평가 시험장치 失效
标题翻译：油冷机器工具评估试验装置
公开(公告)号：KR1020080102020A
公开(公告)日：2008-11-24
申请号：KR1020070048289
申请日：2007-05-17
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이승우 , 한승우 , 이후상
IPC分类号： B23Q11/10 , B23Q11/00
摘要： An evaluation test apparatus for machine tools of an oil cooler is provided to evaluate performance of an oil cooler by equipping with a number of sensors. An evaluation test apparatus for machine tools of an oil cooler comprises an oil tank(10) in which a heater(11) is embedded to maintain heating state proper to operation condition of machine tools; a pump(441) and a motor(442) forcing oil in an oil tank to circulate, connected to a circulating pipe(20) through the oil tank; an oil cooler(40) in which a heat exchange cycle, consisting of an evaporator(411), a compressor(412), a condenser(413), a decompressor(414), is embedded, and in which a number of temperature sensor measuring temperature of oil entering and exiting inside and outside; and a central control part(30) evaluating performance of the oil cooler by controlling a heater of the oil cooler according to operation condition of machine tools.
摘要翻译：提供一种用于油冷却器的机床的评估测试装置，以通过装备多个传感器来评估油冷却器的性能。一种用于油冷却器的机床的评价试验装置，其特征在于，包括：油箱（10），其嵌入有加热器（11），以保持适合于机床的运转状态的加热状态; 泵（441）和电动机（442），使油箱中的油循环通过油箱与循环管道（20）连接; 其中嵌入由蒸发器（411），压缩机（412），冷凝器（413），减压器（414）组成的热交换循环的油冷却器（40），其中多个温度传感器测量进出内外油的温度; 以及中央控制部（30），其通过根据机床的运转条件控制油冷却器的加热器来评价油冷却器的性能。

77. 发明公开

KR1020080073591A 개선된 수광부를 갖는 다관절의 변형률 측정 장치 无效
标题翻译：具有改进接收成员的多功能ISDG
公开(公告)号：KR1020080073591A
公开(公告)日：2008-08-11
申请号：KR1020070012377
申请日：2007-02-06
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이학주 , 한승우 , 오충석 , 이상주 , 전승범
IPC分类号： G01B11/02 , G01B21/02 , G01B11/00 , B82Y35/00
摘要： A multi-articulated ISDG(Interferometric Strain/Displacement Gage) with an improved photodetector is provided to adjust a translation of first and second Z-axis positioners, an X-axis positioner, and a Y-axis positioner. First and second z-axis positioners(21,22) are mounted on a post and moved in a vertical direction with a translational. A light irradiating part(30) is mounted on the first z-axis positioner to irradiate a laser beam to a maker of a test sample. An X-axis positioner(24) is coupled to the end portion of a Y-axis rotationer(23). A Y-axis positioner(25) is coupled to the end portion to perform a translation in a Y axis. A Y-Z fine positioner(26) is coupled to the end of the Y axis positioner so that fine adjustment is achieved with respect to a plane formed by Y and Z axes.
摘要翻译：提供具有改进的光电检测器的多关节ISDG（干涉应变/位移计），以调节第一和第二Z轴定位器，X轴定位器和Y轴定位器的平移。第一和第二z轴定位器（21,22）安装在柱上并且在垂直方向上以平移方式移动。光照射部件（30）安装在第一z轴定位器上以将激光束照射到测试样品的制造商。 X轴定位器（24）联接到Y轴旋转器（23）的端部。 Y轴定位器（25）连接到端部以在Y轴上进行平移。 Y轴Z定位器（26）联接到Y轴定位器的端部，从而相对于由Y轴和Z轴形成的平面实现微调。

78. 发明公开

KR1020060078681A 주사 탐침 현미경의 보정장치 및 방법 失效
标题翻译：校准装置和扫描探针显微镜的方法
公开(公告)号：KR1020060078681A
公开(公告)日：2006-07-05
申请号：KR1020040116993
申请日：2004-12-30
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이학주 , 김재현 , 허신 , 한승우 , 조기호 , 안현균 , 오충석
IPC分类号： G01Q40/00
CPC分类号： G01Q40/02 , G01Q20/02 , H01J37/28
摘要： 본 발명은, 팁이 마련된 SPM 캔틸레버를 스캐너가 변위시키고, 위치 감응 검출기가 상기 SPM 캔틸레버에서 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하도록 구성된 채 나노 구조물의 측정 및 조작에 이용되는 주사 탐침 현미경에 관한 것으로서, 종래의 SPM 장비에 쉽게 호환이 가능하면서(compatible) 손쉽게 그리고 정밀하게 SPM 캔틸레버의 강성 보정을 가능케 하는 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 본 발명에 주사 탐침 현미경의 보정장치는, 적어도 일 방향의 강성이 미리 결정되어지되, 상기 강성이 상기 SPM 캔틸레버에 의한 하중에 의해 일 방향으로 변위될 수 있도록 정해지는 보정용 구조물과, 상기 SPM 캔틸레버에 반사된 레이저광을 이용해 상기 SPM 캔틸레버의 변위량을 측정하는 위치 감응 검출기와, 자체의 변위량와 SPM 캔틸레버의 변위량 간의 차에 의해 상기 보정용 구조물의 변위량을 결정해주는 스캐너를 포함한다.
SPM, 캔틸레버, 팁, 보정, 강성, 위치 감응 검출기, 스캐너

79. 发明授权

KR100567847B1 압입시험기를 이용한 박막의 물성측정 방법 失效
标题翻译：使用印张测量薄膜性能的方法
公开(公告)号：KR100567847B1
公开(公告)日：2006-04-05
申请号：KR1020030035137
申请日：2003-05-31
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이학주 , 김재현 , 허신 , 한승우 , 최병익
IPC分类号： G01N3/40 , B82Y35/00
摘要： 본 발명은 재료 물성 측정 기술에서 모재(substrate)의 영향없이 압입시험기를 이용하여 박막 자체의 물성을 측정하는 방법에 관한 것으로서, 모재 위에 박막을 증착시키는 단계와, 상기 모재의 일부분을 원형 또는 사각형 형상으로 제거하는 단계와, 상기 박막에 압입 시험을 수행하여 변위와 하중을 정밀하게 측정하는 단계와, 상기 측정된 변위와 하중 데이터를 이론식에 적용하여 박막의 물성을 도출하는 단계를 포함하여 구성되므로, 박막을 이용하는 반도체 공정, 바이오 산업, 나노 공정, 공작 기계 제조 등에 손쉬운 박막의 물성 측정 방법을 제공하며, 박막 공정을 기반으로 하는 각종 제품의 설계, 신뢰성 평가 및 제품의 질 향상에 도움을 주는 압입시험기를 이용한 박막의 물성측정 방법을 제공하는 효과가 있다.
압입, 모재, 박막(thin film, membrane), 물성, 측정, 하중,

80. 发明授权

KR100549281B1 압입시험을 통한 나노박막의 두께측정방법 失效
标题翻译：使用压痕试验测量纳米尺寸薄膜厚度的方法
公开(公告)号：KR100549281B1
公开(公告)日：2006-02-03
申请号：KR1020030043842
申请日：2003-06-30
申请人： 한국기계연구원
发明人： 이학주 , 허신 , 고순규 , 김재현 , 한승우 , 최병익
IPC分类号： G01B5/06 , B82Y35/00
摘要： 본 발명은 박막 제조 공정 기술에 필수적인 박막측정방법에 관한 것으로, 복잡한 시편 준비 과정을 거치지 않더라도 압입시험만으로 박막의 두께를 측정하는 방법을 제공하기 위한 것이다. 본 발명은, 절단공정과 같은 복잡한 시편 준비 과정을 거치지 않고, 압입시험을 포함하는 일련의 측정 및 결과 분석 단계를 수행함으로서 달성되어지는데, 첫째, 모재위에 박막이 올려진 형상으로 이루어진 샘플(Sample)에 압입 시험을 수행하는 단계와; 압입 시험중에 박막의 두께 방향으로 발생하는 변위와 하중을 정밀하게 측정하는 단계와; 측정된 변위값과 하중값을 통해 단순화된 모델식과 측정식들을 적용하여 박막의 두께를 판단하는 단계로 수행하게 된다.
압입시험, 박막, 두께측정, 나노, 박막제조,

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