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71. 发明公开

KR1020090003195A 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치 无效
标题翻译：泄漏检测方法和泄漏检测装置管道管线
公开(公告)号：KR1020090003195A
公开(公告)日：2009-01-09
申请号：KR1020087021273
申请日：2007-03-02
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 에스.이.에스 카부시키가이샤
发明人： 코우노기스케 , 혼이덴테루오 , 모리모토아키히로 , 야스모토나오후미 , 카와다코지 , 우에지유타카 , 이케다노부카즈 , 하타노마사유키 , 쿠라모치미치오 , 킨다이요시유키 , 나가노카즈히로 , 와다토시아키
IPC分类号： G01M3/26 , G01M3/00
CPC分类号： G01M3/2815
摘要： Enabled is to detect the content volume and leakage amount of a pipeline to be inspected, simply and promptly with a remarkably small inspecting device so that the propriety of the inspection result of the pipeline may be precisely judged with the leakage amount related to the content volume of the pipeline. In a leakage inspecting method for a pipe line, an inspecting gas is fed at a predetermined flow rate inward from one end opening of the inspected pipe line in a closed state, while the flow rate being detected by a flow meter and the pressure being detected by a pressure detector, and the temperature of the pipe line or the inspecting gas fed to the pipe line is detected by a temperature detector. The detected pressure value, the detected flow rate value and the detected temperature value are inputted to a processor so that the content volume VL of the inspected pipe line is calculated as VL = Feed Flow Rate Q x Pressure Time Period t / Pressure Rise P2, from the pressure time period t till the pressure rise P2 in the inspected pipe line becomes a set value and from the feed flow rate Q of the inspecting gas. Next, the leakage amount QL from the inspected pipe line is calculated as QL = Pressure Drop P2' x Pipe Line Content Volume VL / Pressure Drop Time t', from the pressure drop P2' after lapse of the predetermined pressure drop time t' after the inside of the inspected pipeline was pressurized to a predetermined value, and from the pipeline content volume VL calculated.
摘要翻译：启用是检查管道的内容量和泄漏量，简单快速地检查设备，使得管道检查结果的合适性可以用与内容相关的泄漏量精确判断的管道。在管线的泄漏检查方法中，以关闭状态从被检查管路的一个端部开口向内侧以规定的流量供给检查气体，同时由流量计检测流量并检测压力通过压力检测器，通过温度检测器检测供给到管路的管路或检查气体的温度。将检测到的压力值，检测流量值和检测到的温度值输入到处理器，使得被检查管路的内容积VL被计算为VL =进料流量Q x压力时间段t /压力上升P2，从加压时间t到检查管路中的压力上升P2成为设定值，并且从检查气体的供给流量Q开始。接下来，从经过预定管线的泄漏量QL计算出经过预定压力下降时间t'之后的压降P2'的QL =压降P2'×管线内容量VL /压降时间t' 被检查管道的内部被加压到预定值，并且从管道内容物体积VL计算。

72. 发明授权

KR100740914B1 차압식 유량계 및 차압식 유량 제어 장치 有权
标题翻译：差压式流量计和差压式流量计控制器
公开(公告)号：KR100740914B1
公开(公告)日：2007-07-20
申请号：KR1020057023572
申请日：2004-06-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 스기야마카즈히코 , 우노토미오 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 나카무라오사무 , 도히료우스케 , 마츠모토아츠시
IPC分类号： G01F1/42 , G01F1/50 , G01F7/00
CPC分类号： G01F1/50 , G01F1/42 , G05D7/0635
摘要： 차압식 유량계의 구조를 간소화하여 제조 비용의 인하를 도모함과 아울러, 100% ∼ 1%의 넓은 유량 범위에 걸쳐서 오차(E)가 (1%SP)이하의 고정밀도의 유량 계측을 리얼타임으로 또한 인라인 상태에서 행하도록 한다. 이를 위해, 오리피스, 오리피스 상류측의 압력(P
1 ) 검출기, 오리피스 하류측의 유체 압력(P
2 ) 검출기, 오리피스 상류측의 유체 온도(T) 검출기, 및 상기 각 검출기로부터의 검출 압력(P
1 , P
2 ) 및 검출 온도(T)를 이용하여 오리피스를 유통하는 유체 유량(Q)를 연산하는 제어 연산 회로로 이루어지는 차압식 유량계에 있어서, 상기 유체 유량(Q)을 (단, C
1 은 비례 정수, m 및 n은 정수)에 의해 연산한다.
차압식 유량계, 차압식 유량 제어 장치

73. 发明公开

KR1020070061373A 유체 제어 장치용 커플링 및 이를 이용한 유체 제어 장치 有权
标题翻译：用于流体控制装置和流体控制装置的耦合使用联轴器
公开(公告)号：KR1020070061373A
公开(公告)日：2007-06-13
申请号：KR1020060122087
申请日：2006-12-05
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 도쿠다이치로 , 야마지미치오 , 츠보타켄지 , 시노하라츠토므 , 이케다노브카즈
IPC分类号： F16B33/06 , F16B33/00
CPC分类号： F16L39/00 , Y10T137/87885
摘要： A coupling for a fluid control apparatus and a fluid control apparatus using the same are provided to remarkably lighten in comparison with a conventional coupling by employing light material to form the coupling. A coupling for a fluid control apparatus includes a connection member(23) and a channel member(24). The connection member has a groove at the center of the connection member. A device formation member is fixed by a male screw member for adhering the device formation part. The channel member has a channel path(12) and exists at the groove. The channel member is made of corrosion resistance substances. Specific gravity of the connection member is less than that of the channel member because the connection member is made of light specific gravity substances. A component member of the groove screw connected with the male screw member for adhering the device formation part is buried in the connection member. The component member of the groove and the channel member are made of stainless steel or stainless alloy. The connection member is made of aluminum.
摘要翻译：提供一种用于流体控制装置和使用该流体控制装置的流体控制装置的联接器，以便通过使用轻质材料来形成联接件而与传统的联接相比显着减轻。用于流体控制装置的联接器包括连接构件（23）和通道构件（24）。连接构件在连接构件的中心具有凹槽。装置形成构件由用于粘合装置形成部的外螺纹构件固定。通道构件具有通道路径（12）并且存在于凹槽处。通道构件由耐腐蚀物质制成。连接构件的比重小于通道构件的比重，因为连接构件由轻的比重物质制成。与用于粘合装置形成部的外螺纹构件连接的槽螺纹的构件被埋在连接构件中。槽和构件的构件由不锈钢或不锈钢制成。连接构件由铝制成。

74. 发明授权

KR100710627B1 유량제어장치를 구비한 가스공급설비로부터 쳄버로의가스분류공급장치 및 가스분류공급방법 有权
标题翻译：用于从流量调节装置的气体输送装置到室的分配和进料气体的装置
公开(公告)号：KR100710627B1
公开(公告)日：2007-04-24
申请号：KR1020057020342
申请日：2004-06-10
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 스기야마가즈히코 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 도히료우스케 , 우에노야마도요미
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
摘要： The present invention is for supplying a specified quantity Q of processing gas while dividing at a desired flow rate ratio Q 1 /Q 2 accurately and quickly from a gas supply facility equipped with a flow controller into a chamber. With the present invention, a total quantity Q=Q 1 +Q 2 of gas while dividing is supplied into a chamber C at a desired flow rate Q 1 and Q 2 through shower plates 3 and 4 fixed to the ends of branch supply lines GL 1 and GL 2 by providing open/close valves OV 1 and OV 2 with a plurality of branch supply lines GL 1 and GL 2 respectively to supply a specified quantity Q of gas G from a gas supply facility 1 equipped with a flow controller QCS into a chamber, and by utilizing a bypass line BL 1 on the downstream side of the afore-mentioned open/close valve OV 1 and branched from GL 1 , a bypass line BL 2 on the downstream side of the open/close valve OV 2 and branched from GL 2 , a pressure type division quantity controller FV connected to the bypass line BL 1 and the bypass line BL 2 , a pressure sensor PS 1 to measure pressure inside the branch supply line GL 1 , and a pressure sensor PS 2 to measure pressure inside the branch supply line GL 2 .

75. 发明公开

KR1020070020203A 내식 금속제 유체용 센서 및 이것을 이용한 유체 공급 기기 失效
标题翻译：使用相同的防静电金属和流体供应装置的流体传感器
公开(公告)号：KR1020070020203A
公开(公告)日：2007-02-20
申请号：KR1020067016133
申请日：2005-01-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 히라타카오루 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 도히료우수케
IPC分类号： G01F1/684 , G01F1/692 , G01F1/696 , G01L19/00
CPC分类号： G01L19/0023 , G01F1/6842 , G01F1/6845 , Y10T137/7761
摘要： A fluid sensor of an anticorrosive metal comprises a thermal mass flow sensor having an enhanced anticorrosiveness. The measurement accuracy is stable against pressure variation, the response is improved, the senor is free of particles, variation of product quality is prevented, and pressure measurement is possible. A fluid supply device using this fluid sensor is also disclosed. Specifically, the fluid sensor comprises an anticorrosive metal substrate (2), a mass flow sensor section (1) composed of a thin film forming a temperature sensor (3a) and a heater (3b) provided on the back side opposite to the front side of a fluid-contact body of the anticorrosive metal substrate (2), and a pressure sensor section (4) composed of a thin film forming a strain sensor element (4a) provided on the back side opposite to the front side of the fluid-contact body of the anticorrosive metal substrate (2). This fluid sensor is for measuring the mass flow and pressure of a fluid. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：防腐金属的流体传感器包括具有增强的防腐性的热质量流量传感器。测量精度对压力变化稳定，响应提高，传感器无颗粒，防止产品质量变化，可进行压力测量。还公开了使用该流体传感器的流体供应装置。具体地说，流体传感器包括防锈金属基体（2），由形成温度传感器（3a）的薄膜和设置在与前侧相反的背侧的加热器（3b）构成的质量流量传感器部分（1）和由形成应变传感器元件（4a）的薄膜构成的压力传感器部（4）的压力传感器部（4），所述应变传感器元件（4a）设置在与所述防腐蚀金属基板（2）的前侧相反的背侧，防锈金属基板（2）的接触体。该流体传感器用于测量流体的质量流量和压力。 ®KIPO＆WIPO 2007

76. 发明公开

KR1020070003824A 진공 단열 밸브 失效
标题翻译：真空热绝缘阀
公开(公告)号：KR1020070003824A
公开(公告)日：2007-01-05
申请号：KR1020067014501
申请日：2005-01-13
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 미나미유키오 , 츠보타켄지 , 시노하라쯔토무 , 야마지미치오 , 이케다노부카주 , 모리모토아키히로 , 카와다코지 , 나리아이토시로
IPC分类号： F16K51/00 , F16K51/02 , F16K27/00
CPC分类号： F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
摘要： A vacuum heat insulation valve that can be used in high-temperature conditions in a gas supply system and gas discharge system and that can be drastically reduced in size and made compact because of excellent heat insulating performance of the valve. A vacuum heat insulation valve constructed from a valve that has a valve body and an actuator and from a vacuum insulation box that receives the valve. The vacuum heat insulation box (S) is constructed from a rectangular lower vacuum jacket (S5) that has on its side face a tubular vacuum insulation piping receiving section (J) and whose upper face is opened, and from a rectangular upper vacuum jacket (S4) that is air-tightly fitted to the lower vacuum jacket (S5) from the above and whose lower face is opened. ® KIPO & WIPO 2007
摘要翻译：一种真空隔热阀，可在气体供应系统和气体放电系统的高温条件下使用，由于阀的绝热性能优异，可大大减小尺寸，并且紧凑。一种真空隔热阀，由具有阀体和致动器的阀构成，并由接纳该阀的真空绝热箱构成。真空保温箱（S）由矩形的下部真空套（S5）构成，其中，它的侧面是管状的真空绝热管道接收部分（J），其上表面打开，并且由矩形上部真空套 S4），其从上方气密地配合到下真空套（S5）并且其下表面打开。 ®KIPO＆WIPO 2007

77. 发明授权

KR100659987B1 유체 제어기 有权
标题翻译：流体控制器
公开(公告)号：KR100659987B1
公开(公告)日：2006-12-22
申请号：KR1019990020906
申请日：1999-06-07
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 니시무라류타로 , 히로세다카시
IPC分类号： F17D3/00
CPC分类号： F16K31/56 , F16K7/16
摘要： 유체 제어기는 수평축의 축선을 중심으로 요동하는 요동 부재와, 이 요동 부재의 하단부에 회전 가능하게 지지되고, 또 수평축의 축선과 평행한 축선을 갖는 한 쌍의 전동 롤러와, 보닛 상면에 형성되고, 또 전동 롤러를 이 전동 롤러의 축선과 직교하는 면 내에서 전동시키는 경사면과, 밸브 봉의 상단부와 결합하는 위치와 결합하지 않는 위치 사이를 이동할 수 있도록 요동 부재에 지지된 스토퍼를 포함한다. 요동 부재를 요동시킴으로써 경사면을 따라 전동 롤러를 전동시키고, 이에 따라서, 전동 롤러를 지지하는 요동 부재가 상하 이동하여 수평축을 상하 이동시킨다.

78. 发明授权

KR100583256B1 상단부재장착기준이되는구멍이제공된복수개의하단부재의고정방법및고정용지그 有权
标题翻译：每个具有参考孔的下层构件的多个固定方法，用于安装上部构件和固定夹具
公开(公告)号：KR100583256B1
公开(公告)日：2006-10-31
申请号：KR1019980042684
申请日：1998-10-13
申请人： 오미 다다히로 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 오미다다히로 , 야마지미치오 , 시노하라츠토무
IPC分类号： B25B11/00
摘要： 우선, 기준 구멍(l06)간 거리의 설정치와 같은 간격으로 좌우에 배열되는 돌기(82)가 하면에 설치된 직사각형 본체(8la)를 가지는 2개의 간격 유지 지그(81)를 사용하여, 각 하단 부재(31, 32, 33)의 전측의 기준 구멍(106)에 제1 간격 유지 지그(81)의 각 돌기(82)를, 그리고 후측의 기준 구멍(106)에 제2 간격 유지 지그(81)의 각 돌기(82)를 각각 끼워맞춘다. 이어서, 제1 간격 유지 지그(81)의 전측면, 제2 간격 유지 지그(81)의 후측면 및 양 간격 유지 지그(81)의 좌우 양측면에 각각 접하는 내측면이 설치된 사각틀형의 직각 유지 지그(84)를 2개의 간격 유지 지그(81)의 본체(8la)에 끼워맞춤으로써 직각도를 조정한다. 이 상태에서 나사 부재(ll0)를 체결하여 고정한다.

79. 发明授权

KR100619154B1 수분발생용 반응로의 백금 코팅 촉매층의 형성방법 失效
标题翻译：用于生成水气的反应炉中形成铂涂层催化剂层的方法
公开(公告)号：KR100619154B1
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：KR1020047012636
申请日：2003-10-14
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 모리모토아키히로 , 키타노마사후미 , 미나미유키오 , 카와다코지
IPC分类号： B01J37/02 , B01J23/56
CPC分类号： B01J12/007 , B01J21/04 , B01J23/42 , B01J37/0225 , B01J37/0226 , B01J37/08 , C01B5/00
摘要： 본 발명은 수분발생용 반응로의 반응용 공간의 내벽면에, 균일한 두께이며 모재에 대한 고착력이 높고, 또한, 백금 피막의 보호기능이 높은 장벽 피막을 값싸고 또한 간단히 형성할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 수소와 산소를 고온연소를 시키지 않고 반응시켜 수분을 발생시키는 수분발생용 반응로에 있어서 수분발생용 반응로를 알루미늄함유 합금을 이용하여 형성하고, 상기 수분발생용 반응로의 내벽면에 알루미늄의 선택산화처리를 실시하여 산화알루미늄(Al
2 O
3 )을 주체로 하는 장벽 피막을 형성하고, 그 후 상기 장벽 피막의 상부에 백금 피막을 적층 고착하여 백금 코팅 촉매층을 형성한다.

80. 发明公开

KR1020060085257A 유체통로의 폐쇄방법과 이것에 이용하는 워터 해머리스밸브장치 有权
标题翻译：关闭流体通道的方法和无水阀
公开(公告)号：KR1020060085257A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：KR1020067013154
申请日：2003-12-18
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 나가세마사아키 , 도히료스케 , 니시무라류타로
IPC分类号： G05D16/02
CPC分类号： F16K47/02 , F16K47/023 , F16L55/043 , Y10T137/0324 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/86461
摘要： A fluid passage is emergency-closed in a short time without causing water hammer by extremely simple device or operation. A water hammerless closing device comprises an actuator- operated valve provided in the fluid passage and an electro-pneumatic converter for supplying a two-step actuator working pressure Pa to the actuator-operated valve, a vibration sensor secured removably to the upstream-side pipe-line of the actuator-operated action valve, and a tuning box receiving a vibration detection signal Pr from the vibration sensor and delivering a control signal Sc for controlling the magnitude of the step working pressure Ps' of the two-step actuator working pressure Pa to the electro-pneumatic converter, and regulating the control signal Sc to deliver the two-step actuator working pressure Pa of the step working pressure Ps' for bringing the vibration detection signal Pr substantially to zero from the electro-pneumatic converter.
摘要翻译：流体通道在短时间内紧急关闭，而不会通过非常简单的装置或操作造成水锤。无水锤关闭装置包括设置在流体通道中的致动器操作阀和用于向致动器操作阀提供两步致动器工作压力Pa的电 - 气转换器，可拆卸地固定到上游侧管道的振动传感器执行器操作动作阀的线以及从振动传感器接收振动检测信号Pr的调谐箱，并输送用于控制两步致动器工作压力Pa的阶梯式工作压力Ps'的大小的控制信号Sc 并且调节控制信号Sc以提供步进工作压力Ps'的两步致动器工作压力Pa，以使振动检测信号Pr从电动气动转换器基本上达到零。

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