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1. 发明授权

KR100673399B1 진공배기계용 다이어프램 밸브 有权
标题翻译：真空灭火系统用隔膜阀
公开(公告)号：KR100673399B1
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：KR1020057013029
申请日：2004-02-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 키타노마사후미 , 모리모토아키히로
IPC分类号： F16K31/145
CPC分类号： F16K7/16 , F16K51/02
摘要： 반도체 제조장치에 적용되는 진공배기계용 다이어프램 밸브에 있어서, 가스의 열분해에 의해 발생한 생성물의 퇴적부착에 의한 부재의 부식이나 생성물에 의한 막힘이나 시트리크의 발생을 방지하고, 나아가서는 진공배기계의 설비의 소형화와 이것에 의한 비용저감, 또한 진공배기시간의 단축을 위한 진공배기계의 배관의 소구경화에 대응할 수 있도록 한다.
구체적으로는, 유입로(6)와 유출로(7)와 이들 사이에 형성된 밸브시트(8)를 구비한 보디(12)와, 보디(12)에 설치되어 밸브시트(8)에 접촉ㆍ분리 가능한 다이어프램(3)과, 보디(2)에 설치되어 다이어프램(3)을 밸브시트(8)에 접촉ㆍ분리시키는 구동수단(4)을 구비한 다이어프램 밸브(1)에 있어서, 상기 보디(2)와 다이어프램(3)의 유체 접촉부분(25)에 소정 두께의 합성수지 피막(5)을 코팅한다.

2. 发明公开

KR1020040089635A 수분발생용 반응로의 백금 코팅 촉매층의 형성방법 失效
标题翻译：用于在反应器中形成用于产生水分的涂铂催化剂层的方法
公开(公告)号：KR1020040089635A
公开(公告)日：2004-10-21
申请号：KR1020047012636
申请日：2003-10-14
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 모리모토아키히로 , 키타노마사후미 , 미나미유키오 , 카와다코지
IPC分类号： B01J37/02 , B01J23/56
CPC分类号： B01J12/007 , B01J21/04 , B01J23/42 , B01J37/0225 , B01J37/0226 , B01J37/08 , C01B5/00
摘要： 본 발명은 수분발생용 반응로의 반응용 공간의 내벽면에, 균일한 두께이며 모재에 대한 고착력이 높고, 또한, 백금 피막의 보호기능이 높은 장벽 피막을 값싸고 또한 간단히 형성할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 수소와 산소를 고온연소를 시키지 않고 반응시켜 수분을 발생시키는 수분발생용 반응로에 있어서 수분발생용 반응로를 알루미늄함유 합금을 이용하여 형성하고, 상기 수분발생용 반응로의 내벽면에 알루미늄의 선택산화처리를 실시하여 산화알루미늄(Al
2 O
3 )을 주체로 하는 장벽 피막을 형성하고, 그 후 상기 장벽 피막의 상부에 백금 피막을 적층 고착하여 백금 코팅 촉매층을 형성한다.

3. 发明授权

KR101210342B1 진공 배기계용 밸브 有权
标题翻译：真空排气系统阀
公开(公告)号：KR101210342B1
公开(公告)日：2012-12-10
申请号：KR1020057014487
申请日：2004-02-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 키타노마사후미 , 모리모토아키히로
IPC分类号： F16K51/02
CPC分类号： F16K7/14 , F16K27/003 , F16K51/02
摘要： 진공배기계의설비의소형화와이것에의한비용저감및 진공배기시간의단축을위한진공배기계배관의소구경화에대응하여, 가스의분해에기인하는해리생성물의퇴적에의한내부의부식이나막힘, 시트리크등을방지할수 있도록한 밸브를제공하는것이다. 구체적으로는, 알루미늄부동태를진공배기계에사용되는밸브등의배관부품에사용하여, 베이킹시의온도상승에의한가스의분해를억제함으로써진공배기계의소구경화에적합한부품, 특히가스의분해에의해발생하는생성물의퇴적에의해부식이나막힘, 시트리크등이발생하지않도록한다.

4. 发明授权

KR100619154B1 수분발생용 반응로의 백금 코팅 촉매층의 형성방법 失效
标题翻译：用于生成水气的反应炉中形成铂涂层催化剂层的方法
公开(公告)号：KR100619154B1
公开(公告)日：2006-08-31
申请号：KR1020047012636
申请日：2003-10-14
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카주 , 모리모토아키히로 , 키타노마사후미 , 미나미유키오 , 카와다코지
IPC分类号： B01J37/02 , B01J23/56
CPC分类号： B01J12/007 , B01J21/04 , B01J23/42 , B01J37/0225 , B01J37/0226 , B01J37/08 , C01B5/00
摘要： 본 발명은 수분발생용 반응로의 반응용 공간의 내벽면에, 균일한 두께이며 모재에 대한 고착력이 높고, 또한, 백금 피막의 보호기능이 높은 장벽 피막을 값싸고 또한 간단히 형성할 수 있도록 하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해, 수소와 산소를 고온연소를 시키지 않고 반응시켜 수분을 발생시키는 수분발생용 반응로에 있어서 수분발생용 반응로를 알루미늄함유 합금을 이용하여 형성하고, 상기 수분발생용 반응로의 내벽면에 알루미늄의 선택산화처리를 실시하여 산화알루미늄(Al
2 O
3 )을 주체로 하는 장벽 피막을 형성하고, 그 후 상기 장벽 피막의 상부에 백금 피막을 적층 고착하여 백금 코팅 촉매층을 형성한다.

5. 发明公开

KR1020050101322A 진공 배기계용 밸브 有权
标题翻译：真空排气系统阀
公开(公告)号：KR1020050101322A
公开(公告)日：2005-10-21
申请号：KR1020057014487
申请日：2004-02-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 키타노마사후미 , 모리모토아키히로
IPC分类号： F16K51/02
CPC分类号： F16K7/14 , F16K27/003 , F16K51/02
摘要： A valve in accordance with the reduction in diameter of piping in a vacuum discharge system, the reduction realizing downsizing of apparatuses for a vacuum discharge system and resultant reduced costs and shortened time for vacuum discharge. In the valve, inside corrosion, clogging, seat leakage, etc. by accumulation of dissociated products produced by decomposition of gas can be prevented from occurring. Specifically, passive aluminum is used for piping components, such as the valve, adapted for a vacuum discharge system so as to control decomposition of gas caused by rise in temperature during baking, so that components suitable for the reduction in diameter sizes in the vacuum discharge system are provided. Corrosion, clogging, seat leakage, etc. caused by decomposition of gas are prevented from occurring.
摘要翻译：根据真空排放系统中的管道直径的减小的阀，减小了实现真空排放系统的装置的小型化并且导致降低的成本并缩短了真空排放的时间。在阀中，可以防止由气体分解产生的解离产物的积聚导致内部腐蚀，堵塞，阀座泄漏等。具体来说，被动铝被用于管道部件，例如适用于真空排放系统的阀门，以便控制在烘烤过程中温度升高引起的气体分解，使得适合于减小真空放电中直径尺寸的部件系统。防止由气体分解引起的腐蚀，堵塞，阀座泄漏等。

6. 发明公开

KR1020050095611A 진공배기계용 다이어프램 밸브 有权
标题翻译：真空灭火系统用隔膜阀
公开(公告)号：KR1020050095611A
公开(公告)日：2005-09-29
申请号：KR1020057013029
申请日：2004-02-09
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 오미 다다히로
发明人： 오미다다히로 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 키타노마사후미 , 모리모토아키히로
IPC分类号： F16K31/145
CPC分类号： F16K7/16 , F16K51/02
摘要： A diaphragm valve for a vacuum evacuation system applicable to a semiconductor manufacturing system. Corrosion of members due to deposition/adhesion of products produced by thermolysis of gas, clogging due to products, and seat leakage are prevented. This diaphragm valve leads to reduction in the scale of the vacuum evacuation system facility, reduction in cost, and reduction in diameter of piping of the vacuum evacuation system for the purpose of decrease in vacuum evacuation time. Specifically, the diaphragm valve (1) comprises a body (2) having an inlet passage (6), an outlet passage (7), and a valve seat (8) provided between the passages, a diaphragm (3) which is provided to the body (2) and can be separated from the valve seat (8) and brought into contact with the same, and drive means (4) provided to the body (2) and adapted to separate the diaphragm (3) from the valve seat (8) and to bring the diaphragm (3) into contact with the same. The portion (25) of the body (2) and the portion (25) of the diaphragm (3) both coming into contact with a fluid are coated with a synthetic resin coating (5) of predetermined thickness.
摘要翻译：一种适用于半导体制造系统的真空排气系统的隔膜阀。防止由于气体的热分解产生的产品的沉积/粘附引起的部件的腐蚀，产品堵塞和阀座泄漏。为了减少真空排气时间，该隔膜阀导致真空抽空系统设备的规模减小，成本降低，真空排气系统的管道直径减小。具体地说，隔膜阀（1）包括具有入口通道（6），出口通道（7）和设置在通道之间的阀座（8）的主体（2），隔膜（3）设置成主体（2）并且可以与阀座（8）分离并与其接触;以及驱动装置（4），其设置在主体（2）上并且适于将隔膜（3）与阀座（8）并使隔膜（3）与其接触。主体（2）的部分（25）和隔膜（3）的与流体接触的部分（25）都涂覆有预定厚度的合成树脂涂层（5）。

7. 发明授权

KR101366027B1 수분 발생용 반응로 失效
标题翻译：水分生成反应炉
公开(公告)号：KR101366027B1
公开(公告)日：2014-02-21
申请号：KR1020117018629
申请日：2010-04-22
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 오미타다히로 , 카와다코지 , 이케다노부카즈 , 모리모토아키히로 , 미나미유키오 , 히라오케이지 , 사카모토노부하루 , 키타노마사후미
IPC分类号： C01B5/00 , B01J19/24 , B01J12/00 , B01J23/63
CPC分类号： B01J23/63 , B01J12/007 , B01J23/42 , B01J35/023 , B01J37/0225 , B01J37/0244 , C01B5/00
摘要： 백금 촉매층을 갖는 반응로내에 수소 가스와 산소 가스를 공급하고, 촉매 반응시킴으로써 연소시키지 않고, 수소 가스와 산소 가스의 착화점보다 낮은 촉매 반응 온도에서 고순도의 수분을 발생시키는 수분 발생용 반응로에 있어서, 모재와 백금 촉매층 사이에 형성한 배리어층에 대하여, 백금 촉매층의 높은 부착력을 장기간 유지할 수 있는 수분 발생용 반응로를 제공한다.
가스 입구 및 수분 출구가 형성된 반응로 본체와, 상기 반응로 본체의 내벽면의 적어도 일부에 성막된 Y
2 O
3 배리어층과 상기 Y
2 O
3 배리어층상의 적어도 일부에 성막된 백금 촉매층을 갖는 것으로 했다. 상기 Y
2 O
3 배리어층의 막두께는 바람직하게는 50nm∼5㎛이다.

8. 发明公开

KR1020110114638A 수분 발생용 반응로 失效
标题翻译：水分生成反应炉
公开(公告)号：KR1020110114638A
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：KR1020117018629
申请日：2010-04-22
申请人： 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 오미타다히로 , 카와다코지 , 이케다노부카즈 , 모리모토아키히로 , 미나미유키오 , 히라오케이지 , 사카모토노부하루 , 키타노마사후미
IPC分类号： C01B5/00 , B01J19/24 , B01J12/00 , B01J23/63
CPC分类号： B01J23/63 , B01J12/007 , B01J23/42 , B01J35/023 , B01J37/0225 , B01J37/0244 , C01B5/00
摘要： 백금 촉매층을 갖는 반응로내에 수소 가스와 산소 가스를 공급하고, 촉매 반응시킴으로써 연소시키지 않고, 수소 가스와 산소 가스의 착화점보다 낮은 촉매 반응 온도에서 고순도의 수분을 발생시키는 수분 발생용 반응로에 있어서, 모재와 백금 촉매층 사이에 형성한 배리어층에 대하여, 백금 촉매층 높은 부착력을 장기간 유지할 수 있는 수분 발생용 반응로를 제공한다.
가스 입구 및 수분 출구가 형성된 반응로 본체와, 상기 반응로 본체의 내벽면의 적어도 일부에 성막된 Y
2 O
3 배리어층과 상기 Y
2 O
3 배리어층상의 적어도 일부에 성막된 백금 촉매층을 갖는 것으로 했다. 상기 Y
2 O
3 배리어층의 막두께는 바람직하게는 50nm∼5㎛이다.

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