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1. 发明授权

KR102230283B1 유체 제어기의 이상 검지 장치, 이상 검지 시스템, 이상 검지 방법 및 유체 제어기 유닛 有权
公开(公告)号：KR102230283B1
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：KR1020197015918
申请日：2018-02-06
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 하라다아키히로 , 니시노고우지 , 도히료우스케 , 가와다고지 , 스기타가츠유키 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 시노하라츠토무 , 단노류타로 , 가와우치유토
IPC分类号： G01M3/26 , G08C17/02
摘要： [과제] 유체제어기에있어서, 유체의누출이적은경우에도누출을검지가능하게한다. 또한, 정보통신기술을활용함으로써, 떨어진장소에있는유체제어기나복수의유체제어기에서의유체의누출이상을감시하기쉬운것으로한다. [해결수단] 유체가유통가능한유로(211)와, 격리부재에의해유로(211)와격리된폐쇄공간(S)과, 폐쇄공간(S)과외부를연통가능한리크포트(LP)가마련된유체제어기(2)의이상을검지하는이상검지장치(1)는, 폐쇄공간(S) 내의압력을검출하는압력센서(11)와, 소정의정보처리를실행하는처리모듈과, 리크포트(LP)에압력센서(11)를착탈가능하게고정함과아울러, 고정상태에서리크포트(LP)를외부와차단하는착탈기구를가진다. 처리모듈은, 압력센서(11)에의해검출한검출값과소정의문턱값을비교함으로써, 유체제어기(2)의이상을판별하고, 유체제어기(2)의이상의판별결과를서버에송신한다.

2. 发明授权

KR102128293B1 인라인형 농도 계측 장치 有权
公开(公告)号：KR102128293B1
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：KR1020187023285
申请日：2015-07-23
申请人： 토쿠시마 대학 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 데구치요시히로 , 나가세마사아키 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 야쿠시진타다유키
IPC分类号： G01N21/03 , G01N21/05 , G01N21/15 , G01N21/27 , G01N21/3504

3. 发明授权

KR102027264B1 농도 측정 장치 有权
公开(公告)号：KR102027264B1
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：KR1020177032580
申请日：2016-08-09
申请人： 토쿠시마 대학 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 데구치요시히로 , 나가세마사아키 , 야마지미치오 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 카와시마마사요시 , 타나카카주테루
IPC分类号： G01N21/33 , G01N21/31 , G01N21/59 , G01N21/03

4. 发明授权

KR101852802B1 취성 파괴성 판재의 고정 구조 및 이것을 사용한 취성 파괴성 판재로 이루어지는 광 투과 창판의 고정 방법 有权
标题翻译：脆性断裂板的固定结构及由脆性断裂板制成的透光窗板的固定方法
公开(公告)号：KR101852802B1
公开(公告)日：2018-04-27
申请号：KR1020177030347
申请日：2014-04-25
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 나가세마사아키 , 도히료우스케 , 이케다노부카즈 , 니시노코우지 , 야마지미치오 , 야쿠시진타다유키
IPC分类号： G01N21/03 , G01N21/05 , G01N21/33 , G01N21/59 , H01L21/67
CPC分类号： G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J3/0205 , G01J5/0014 , G01J5/0875 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/33 , G02B1/02 , G02B7/007 , G02B27/022 , G02B27/028
摘要： 본발명은유기원료유체의공급계등에서사용하는농도계의구조의간소화, 소형화, 제품비용의인하를도모하고, 광투과창의투명도를일정하게유지하여안정된농도측정을할 수있음과아울러기밀밀성능이나내파티클성을높인농도계를제공한다. 본발명은검출기본체(2)와검출기본체의상면에설치된광 발신부(5a) 및검출기본체의하면에설치된광 검출부(5b)로이루어지는광 분석식원료유량농도검출기에있어서검출기본체(2)의상면및 하면에설치된유체통로(2b)에의해연통된오목부(17)와, 상기오목부(17) 내에장착한개스킷형시일(6)과, 개스킷형시일(6)과대향하여배치되고사파이어제광 투과창판(11a)을협착하여기밀하게감합고정한제 1 고정플랜지(14) 및제 2 고정플랜지(16)와, 제 2 고정플랜지(16) 내에설치된광 파이버(9) 및포토다이오드(10)와, 상기감합고정한양 고정플랜지(14, 16)를개스킷형시일(6)을통해검출기본체(2)의오복부(17) 내에기밀하게고정하는유지고정체(12)로구성된다.

5. 发明公开

KR1020170137134A 유체 커플링용 개스킷 및 유체 커플링 审中-实审
标题翻译：用于液力偶合器的垫圈和液力偶合器
公开(公告)号：KR1020170137134A
公开(公告)日：2017-12-12
申请号：KR1020177031856
申请日：2016-03-25
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
发明人： 이시바시게이스케 , 야쿠시진다다유키 , 다니카와츠요시 , 야마지미치오 , 오카베츠네유키
IPC分类号： F16J15/02 , F16J15/10 , F16L23/02
CPC分类号： F16J15/06 , F16J15/10 , F16L23/02
摘要： 개스킷(4)은, 제1 면시일을행하는두꺼운부분(21)과, 제2 면시일을행하는얇은부분(22)을구비한다. 유체커플링(1)의환형의개스킷수납용오목부(7)는, 개스킷(4)의두꺼운부분(21)을수용하기위한광폭부(23)와, 개스킷(4)의얇은부분(22)을수용하기위한협폭부(24)를구비한다.
摘要翻译：垫圈（4）具有用于执行第一表面密封的厚部分（21）和用于执行第二表面密封的薄部分（22）。流体联接器1的环形垫圈容纳凹槽7具有用于容纳垫圈4的厚部分21和垫圈4的薄部分22的宽部分23，和用于容纳小直径部分的变窄部分24。

6. 发明公开

KR1020170134742A 농도 측정 장치 审中-实审
标题翻译：浓度测量装置
公开(公告)号：KR1020170134742A
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020177032581
申请日：2016-08-09
申请人： 토쿠시마 대학 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 데구치요시히로 , 나가세마사아키 , 야마지미치오 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 카와시마마사요시 , 타나카카주테루
IPC分类号： G01N21/33 , G01N21/31 , G01N21/59 , G01N21/03 , G01N21/27
CPC分类号： G01N21/05 , G01N21/33 , G01N21/03 , G01N21/274 , G01N21/314 , G01N21/5907 , G01N2021/3148
摘要： 광입사창과광 출사창이대향배치된측정셀을통과하는투과광을검출함으로써상기측정셀 내의피측정유체의농도를측정하기위한농도측정장치이며, 상기광 입사창의반사광을검출하는반사광검출기를구비한다.
摘要翻译：以及反射光检测器，用于检测光入射窗的反射光，并且通过检测穿过光入射窗和光出射窗彼此相对的测量单元的透射光来测量测量单元中的待测流体的浓度。

7. 发明公开

KR1020170134741A 농도 측정 장치 审中-实审
标题翻译：浓度测量装置
公开(公告)号：KR1020170134741A
公开(公告)日：2017-12-06
申请号：KR1020177032580
申请日：2016-08-09
申请人： 토쿠시마 대학 , 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 데구치요시히로 , 나가세마사아키 , 야마지미치오 , 이케다노부카주 , 니시노코우지 , 카와시마마사요시 , 타나카카주테루
IPC分类号： G01N21/33 , G01N21/31 , G01N21/59 , G01N21/03
CPC分类号： G01N21/03 , G01N21/33 , G01N21/314 , G01N21/5907 , G01N2021/3148
摘要： 적어도하나의광원과, 피측정유체를넣기위한측정셀과, 상기광원의광을상기측정셀 내에입사하는입사광과상기측정셀 내에입사하지않는비입사광으로분기시키기위한분기기와, 상기입사광이상기측정셀을통과한투과광을검출하기위한투과광검출기와, 상기비입사광을검출하기위한비입사광검출기와, 상기비입사광검출기의검출신호를이용하여상기투과광검출기의검출신호를보정하는연산부를구비하는농도측정장치.
摘要翻译：分支单元，用于将光源的光分支成入射到测量单元的入射光和不入射到测量单元的入射光;以及分支单元，用于将入射光分支到测量光中，一种用于检测非入射光的非入射光检测器以及一种用于利用非入射光检测器的检测信号来校正透射光检测器的检测信号的算术单元，。

8. 发明公开

KR1020170103779A 광학적 가스 농도측정 방법 및 그 방법에 의한 가스 농도 모니터 방법 审中-实审
标题翻译：光学气体浓度测量方法及其气体浓度监测方法
公开(公告)号：KR1020170103779A
公开(公告)日：2017-09-13
申请号：KR1020177017288
申请日：2015-11-20
申请人： 가부시키가이샤 후지킨 , 고쿠리츠다이가쿠호진 도호쿠다이가쿠
发明人： 나가세마사아키 , 니시노코지 , 이케다노부카즈 , 야마지미치오 , 수가와시게토시 , 쿠로다리히토
IPC分类号： G01N21/31 , G01N21/27
CPC分类号： G01N21/27 , C23C16/18 , C23C16/52 , G01N21/314 , G01N21/3151 , G01N21/33 , G01N33/0027 , G01N2021/3155 , G01N2021/3159 , G01N2021/3181 , G01N2201/0627 , G01N2201/0696 , G01N2201/12 , H01L21/205
摘要： [과제] 간단한수단으로극미량영역의농도까지비파괴로정확또한신속하게소정의화학성분의농도를측정할수 있는농도측정방법, 및, 피측정대상중의화학성분의농도를정확·신속하게또한나노오더의극미량농도영역까지실시간으로측정할수 있고, 여러가지모양과형태에있어서구현화될수 있는만능성을구비하는농도측정방법을제공한다. [해결수단] 피측정대상에대해서의광흡수율이다른제1 파장의광과, 제2 파장의광을피측정대상에각각타임셰어링법으로조사하고, 각파장의광의해당조사에의해피측정대상을광학적으로통해오는각 파장의광을공통의수광센서에서수광하고, 해당수광에따라서상기수광센서로부터출력하는제1 파장의광에관한신호와제2 파장의광에관한신호의차동신호를형성하고, 해당차동신호에근거해서피측정대상에있어서의화학성분의농도를도출한다.
摘要翻译： [问题]一种简单的装置来校正非破坏性到跟踪区域，并迅速浓度测定方法，其可以测量的给定的化学组合物的浓度的浓度，并且，校正所测得的受试者中的化学成分，快速加入纳米级的浓度一个非常小的量提供给浓度区和被实时测量，并且仅提供了实现具有可能性的浓度测定方法，在不同的形状和形式。 [解决问题的手段] P与相对于被摄体的光吸收率进行测量和在每个时间股ringbeop到被测物体的光，并在其它第一波长的第二波长的光的调查，对于照射的光的各波长的快乐测量因此，光接收在光接收的光的传感器共同在每个波长，并自带经由到光接收光学形成信号的差分信号，并用于从所述光接收传感器输出的第1波长的光的第二波长的光信号并且基于差分信号来导出待测量对象中的化学成分的浓度。

9. 发明授权

KR101771338B1 유체 제어 장치 有权
标题翻译：流体控制装置
公开(公告)号：KR101771338B1
公开(公告)日：2017-08-24
申请号：KR1020157035544
申请日：2014-11-12
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 기타노다이치 , 시노하라츠토무 , 야쿠시진다다유키 , 나카타도모히로 , 다니카와츠요시 , 야마지미치오
IPC分类号： F16K7/12 , F16K7/14 , F16K27/00 , F16K27/02 , F16K41/12
CPC分类号： F16K7/14 , F15B13/0817 , F16K27/003
摘要： 본체(2)는, 통로블록(3)이복수배치됨으로써형성되어있다. 각통로블록(3)은, 메인가스통로(9)를형성하는통로로서, 제1 역 V자형통로(15)와, 제1 역 V자형통로(15)의정상부와제1 개폐밸브(4)의출구(4b)를연통(連通)하는제1 출구통로(16)를갖고있다. 각통로블록(3)은, 벤트가스통로(10)를형성하는통로로서, 제2 역 V자형통로(17)와, 제2 역 V자형통로(17)의정상부와제2 개폐밸브(5)의출구(5b)를연통하는제2 출구통로(18)를갖고있다. 각통로블록(3)은, 제1 서브가스유입통로(11)를형성하는통로로서, 제1 개폐밸브(4)의입구(4a)로통하는제1 입구통로(19)와, 공통입구통로(20)를갖고있다. 각통로블록(3)은, 제2 서브가스유입통로(12)를형성하는통로로서, 제2 개폐밸브(5)의입구(5a)로통하는제2 입구통로(21)와, 공통입구통로(20)에연속되는연통로(22)를갖고있다.
摘要翻译：主体2通过在通道块3中重复布置而形成。每个通道块3是形成主气体通道9的通道，并包括第一倒V形通道15，第一上V形通道15和第一开/闭阀4，并具有与第一出口通道4b的出口4b连通的第一出口通道16。每个通道块3是形成排气通道10的通道，并包括第二倒V形通道17，第二倒V形通道17的第二上开口，并且第二出口通道18与第二出口通道5b的出口5b连通。每个通道块3是用于形成第一副气体流入通道11的通道并且包括通向第一开闭阀4的入口4a的第一入口通道19，它有一个20）。每个通道块3是形成第二副气体流入通道12的通道并且包括通向第二开闭阀5的入口5a的第二入口通道21， 20相互通信。

10. 发明公开

KR1020160009652A 유체 제어 장치 有权
标题翻译：流体控制装置
公开(公告)号：KR1020160009652A
公开(公告)日：2016-01-26
申请号：KR1020157035544
申请日：2014-11-12
申请人： 가부시키가이샤 후지킨
发明人： 기타노다이치 , 시노하라츠토무 , 야쿠시진다다유키 , 나카타도모히로 , 다니카와츠요시 , 야마지미치오
IPC分类号： F16K7/12 , F16K7/14 , F16K27/00 , F16K27/02 , F16K41/12
CPC分类号： F16K7/14 , F15B13/0817 , F16K27/003
摘要： 본체(2)는, 통로블록(3)이복수배치됨으로써형성되어있다. 각통로블록(3)은, 메인가스통로(9)를형성하는통로로서, 제1 역 V자형통로(15)와, 제1 역 V자형통로(15)의정상부와제1 개폐밸브(4)의출구(4b)를연통(連通)하는제1 출구통로(16)를갖고있다. 각통로블록(3)은, 벤트가스통로(10)를형성하는통로로서, 제2 역 V자형통로(17)와, 제2 역 V자형통로(17)의정상부와제2 개폐밸브(5)의출구(5b)를연통하는제2 출구통로(18)를갖고있다. 각통로블록(3)은, 제1 서브가스유입통로(11)를형성하는통로로서, 제1 개폐밸브(4)의입구(4a)로통하는제1 입구통로(19)와, 공통입구통로(20)를갖고있다. 각통로블록(3)은, 제2 서브가스유입통로(12)를형성하는통로로서, 제2 개폐밸브(5)의입구(5a)로통하는제2 입구통로(21)와, 공통입구통로(20)에연속되는연통로(22)를갖고있다.
摘要翻译：作为形成主气体通道的通道，每个通道块3具有第一倒V通道，第一出口通道在第一倒V通道的顶点和第一开关阀的出口之间连通。作为形成通气气体通道的通道，每个通道块3具有第二倒V通道和第二出口通道，第二出口通道在第二倒V通道的顶点和第二开关阀的出口之间连通。作为形成第一副气体流入通道的通道，每个通道块具有通向第一开关阀的入口的第一入口通道和公共入口通道。作为形成第二副气体流入通道的通道，每个通道块具有通向第二开关阀的入口的第二入口通道和连续到公共入口通道的连通路径。

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