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    • 61. 发明公开
    • Verfahren zum Herstellen einer Isolationsstruktur in einem Halbleiterkörper
    • 在半导体本体中制造的隔离结构的方法。
    • EP0009097A1
    • 1980-04-02
    • EP79102643.8
    • 1979-07-25
    • International Business Machines Corporation
    • Brock, Geoffrey Edgar
    • H01L21/76H01L21/306H01L21/24
    • H01L21/24H01L21/306H01L21/76245Y10S438/923
    • Bei dem Verfahren zur Herstellung einer Isolationsstruktur (9) in einem Halbleiterkörper (1), welche sich von einer Oberfläche des Halbleiterkörpers (1) in diesen hinein erstreckt, wird auf einer Oberfläche des Halbleiterkörpers (1) ein dem Querschnitt der Isolationsstruktur (9) parallel zu dieser Oberfläche entsprechendes Muster (6, 8) aus einem Metall erzeugt. Dann wird erhitzt, bis sich eine metallreiche Schmelze des Halbleitermaterials bildet. Anschließend läßt man die dem Halbleiterkörper (1) zugewandte Oberfläche der Schmelze unter Umwandlung von weiterem Halbleitermaterial in die metallreiche Schmelze in den Halbleiterkörper (1) hineinwandern, indem ein positiver Temperaturgradient in der gewünschten Wanderungsrichtung erzeugt wird.
      Die bei dem Migrationsprozeß entstehenden hochdotierten Halbleiterbereiche werden anodisch unter Bildung von porösem Halbleitermaterial geätzt und schließlich wird unter Bildung von porösem Siliciumdioxid oxidiert. Das entstandene dielektrische Material ist homogen. Die erzeugte Isolationsstruktur (9) wird insbesondere dazu verwendet, um Halbleiterbereiche dielektrisch voneinander zu isolieren.
    • 在生产中在半导体本体中的绝缘结构(9)的制造方法(1)从半导体本体的表面突出(1)延伸到后者中,半导体主体(1),该绝缘结构的横截面(9)平行的表面上的 在此表面对应的图案(6,8)产生的由金属构成。 然后,将其加热,直到它形成半导体材料的富金属熔体。 然后使所述半导体主体(1)的面对熔融,另外的半导体材料的转换在富含金属的熔体,进入半导体主体(1)插入迁移由正温度梯度在期望的迁移方向上产生。 在迁移过程中发生的费用,高掺杂的半导体区域是阳极蚀刻,以形成多孔半导体材料,最后氧化,以形成多孔质二氧化硅。 将得到的介电材料是均匀的。 产生的(9)的绝缘结构是特别用于分离半导体区域dieiektrisch彼此。