会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 68. 发明授权
    • Electron microscope and electron microscopy method
    • 电子显微镜和电子显微镜法
    • US5936244A
    • 1999-08-10
    • US973898
    • 1997-12-18
    • Yusuke YajimaYoshio TakahashiHiroshi SuzukiKatsuhiro Kuroda
    • Yusuke YajimaYoshio TakahashiHiroshi SuzukiKatsuhiro Kuroda
    • H01J37/26H01J37/244
    • H01J37/228H01J37/268H01J2237/2445H01J2237/2455
    • An electron microscope for observing a magnetization state of a specimen with high resolution and an electron microscopic method. The electron microscope comprises an electron beam irradiating device including a scanning coil 3 and an objective lens 4 to irradiate an electron beam 2 emitted from an electron source 1 on a desired part of a specimen 51, and a circularly polarized light detector including a quarter wave plate 8, a polarizer 9 and a photodetector 11 to detect circularly polarized light generated from the electron beam irradiated part of the specimen 51. Since the intensity of the circularly polarized light generated from the specimen irradiated with the electron beam depends on the direction of magnetization in the electron beam irradiated part and the detecting direction, the distribution of magnetization can be measured by observing a scanning image in the form of a luminance signal indicative of the intensity of the circularly polarized light while scanning the electron beam irradiated part on the surface of the specimen.
    • PCT No.PCT / JP95 / 01273 Sec。 371 1997年12月18日第 102(e)日期1997年12月18日PCT提交1995年6月26日PCT公布。 出版物WO97 / 01862 日期1997年1月16日用电子显微镜观察高分辨率的试样的磁化状态的电子显微镜。 电子显微镜包括电子束照射装置,其包括扫描线圈3和物镜4,以将从电子源1发射的电子束2照射在样本51的期望部分上,以及包括四分之一波的圆偏振光检测器 板8,偏振器9和光电检测器11,用于检测从样本51的电子束照射部分产生的圆偏振光。由于用电子束照射的样本产生的圆偏振光的强度取决于磁化方向 在电子束照射部分和检测方向上,可以通过观察表示圆偏振光的强度的亮度信号的形式的扫描图像,同时扫描表面上的电子束照射部分来测量磁化分布 标本。