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    • 64. 发明专利
    • 二段式螺桿壓縮機及其運轉方法
    • 二段式螺杆压缩机及其运转方法
    • TW201719020A
    • 2017-06-01
    • TW105125310
    • 2016-08-09
    • 神戶製鋼所股份有限公司KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
    • 壷井昇TSUBOI, NOBORU中村元NAKAMURA, HAJIME濱田克徳HAMADA, KATSUNORI
    • F04C18/16F04C23/02F04C28/08
    • F04C18/16F04C23/02F04C28/08H02P5/50
    • 二段式螺桿壓縮機(2),係具備:第一段壓縮機本體(4)、第二段壓縮機本體(6)、及控制裝置(8)。第一段壓縮機本體(4),係由可用第1變頻器(14)變更轉數的第1馬達(12)來驅動。第二段壓縮機本體(6),係由可用第2變頻器(20)來變更轉數的第2馬達(18)來驅動,且串連連接於第一段壓縮機本體(4)的下游側。控制裝置(8),係具有:第一段轉數決定部(25),其因應要求壓力而決定第一段轉數;第1變頻器控制部(26),其控制第1變頻器(14)來成為由第一段轉數決定部(25)所決定的第一段轉數;探索部(27),其在第二段轉數之中決定使第1馬達(12)及第2馬達(18)的總消耗電力最小化的最佳第二段轉數;以及第2變頻器控制部(28),其控制第2變頻器(20)來成為最佳第二段轉數。藉由該構造,可於二段式螺桿壓縮機(2),實現要求壓力且使總消耗電力最小化。
    • 二段式螺杆压缩机(2),系具备:第一段压缩机本体(4)、第二段压缩机本体(6)、及控制设备(8)。第一段压缩机本体(4),系由可用第1变频器(14)变更转数的第1马达(12)来驱动。第二段压缩机本体(6),系由可用第2变频器(20)来变更转数的第2马达(18)来驱动,且串连连接于第一段压缩机本体(4)的下游侧。控制设备(8),系具有:第一段转数决定部(25),其因应要求压力而决定第一段转数;第1变频器控制部(26),其控制第1变频器(14)来成为由第一段转数决定部(25)所决定的第一段转数;探索部(27),其在第二段转数之中决定使第1马达(12)及第2马达(18)的总消耗电力最小化的最佳第二段转数;以及第2变频器控制部(28),其控制第2变频器(20)来成为最佳第二段转数。借由该构造,可于二段式螺杆压缩机(2),实现要求压力且使总消耗电力最小化。
    • 70. 发明专利
    • 成膜裝置及成膜裝置的分隔壁構造體
    • 成膜设备及成膜设备的分隔壁构造体
    • TW201702421A
    • 2017-01-16
    • TW105109715
    • 2016-03-28
    • 神戶製鋼所股份有限公司KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
    • 瀬川利規SEGAWA, TOSHIKI大庭尚樹OHBA, NAOKI井亦輝IMATA, AKIRA
    • C23C16/455
    • 本發明提供一種成膜裝置及成膜裝置的分隔壁構造體,本發明的分隔壁構造體在成膜裝置的腔室的內部形成至少1個成膜區。分隔壁構造體具備周向限制部和一對分隔壁。周向限制部與分隔壁相連,使得該周向限制部與分隔壁的相對位置被固定。分隔壁的內側面在分隔壁被安裝於腔室時與成膜輥的外周面隔開間隙地相對向。周向限制部形成面向成膜輥外周面的成膜區。本發明的成膜裝置具備一對分隔壁,前述一對分隔壁被固定於腔室,在成膜輥的寬度方向的兩側配置於在與該成膜輥之間隔開間隙的位置,分隔壁具有朝向成膜輥的徑向外側的外側面和朝向成膜輥的徑向內側的內側面,擋板安裝在分隔壁的外側面上,分隔壁的內側面位於比成膜輥的外周面更靠成膜輥的徑向內側的位置。
    • 本发明提供一种成膜设备及成膜设备的分隔壁构造体,本发明的分隔壁构造体在成膜设备的腔室的内部形成至少1个成膜区。分隔壁构造体具备周向限制部和一对分隔壁。周向限制部与分隔壁相连,使得该周向限制部与分隔壁的相对位置被固定。分隔壁的内侧面在分隔壁被安装于腔室时与成膜辊的外周面隔开间隙地相对向。周向限制部形成面向成膜辊外周面的成膜区。本发明的成膜设备具备一对分隔壁,前述一对分隔壁被固定于腔室,在成膜辊的宽度方向的两侧配置于在与该成膜辊之间隔开间隙的位置,分隔壁具有朝向成膜辊的径向外侧的外侧面和朝向成膜辊的径向内侧的内侧面,挡板安装在分隔壁的外侧面上,分隔壁的内侧面位于比成膜辊的外周面更靠成膜辊的径向内侧的位置。