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    • 44. 发明公开
    • Multi-Mode-Metall-Ionenquelle mit der Struktur einer Hohlkathoden-Sputter-Ionenquelle mit radialer Ionenextraktion
    • 多模式 - 金属离子注入装置 - 电极 - 离子注入器离子注入
    • EP1450389A2
    • 2004-08-25
    • EP04001306.2
    • 2004-01-22
    • Gesellschaft für Schwerionenforschung mbH
    • Müller, Michael, Dr.Janik, Jan, Prof. Ing.
    • H01J27/18H01J27/20H01J41/10
    • H01J37/08H01J27/04H01J27/18H01J41/04
    • Eine Multi-Mode-Metall-Ionenquelle mit der Struktur einer Hohlkathoden-Sputter-Ionenquelle mit radialer Ionenextraktion wird wahlweise als Gas-Penning-Ionenquelle (PIG) oder Sputter-Penning-Ionenquelle oder Hohlkathoden-Ionenquelle (HCD) betrieben. Die Elektrodenanordnung der Ionenquelle sitzt im Bereich des Spiegelfeldes zwischen zwei Magnetpolen. Die hohlzylindrische, gekühlte Antikathode hat drei axialen Spalte, der mittlere ist für die radiale Ionenextraktion, in die beiden äußeren ragen je eine Sputterelektrode innenbündig.
      Eine Schalteinrichtung mit vier Schaltern beaufschlagt die Sputterelektroden und die Antikathode wahlweise mit einem vorgesehenen elektrischen Potential.
      Die Einrichtung zur Erzeugung des Magnetfelds ist derart gestaltet ist, dass zur Erzielung höherer Feldstärken in der Mittelebene des Luftspaltes, in Richtung der Extraktionsachse gesehen, das Längen- zu Breitenverhältnis der Polschuhfläche zur Erzeugung ausreichender Plasmadichte auf der Entladungsachse zur Initiierung des Elektronenpendeleffekts der Penningentladung
    • 多模式金属离子源包括用于在电磁体的气隙中产生对称磁镜场的单元,布置在镜面区域中的电极布置,设置在阴极(1)之间的两个冷却阳极(2) 设置在阳极之间的中空圆柱形冷却的反阴极(6),另外的溅射电极(4),提取电极(7)和开关装置。 优选地,用于制造磁镜的单元被构造成使得产生镜面场的极靴的横截面为矩形到椭圆形。 用于制造磁性镜的单元的铁芯由形成镜子的碳芯或两个碳芯组成。 在极靴和电极装置之间布置电介质。
    • 45. 发明公开
    • MASS SPECTROMETER AND MASS SPECTROMETRY METHOD
    • 质谱和质谱法
    • EP3107114A1
    • 2016-12-21
    • EP14881512.9
    • 2014-02-10
    • Shimadzu Corporation
    • FUJITA, Shinjiro
    • H01J41/10G01N27/62H01J49/26
    • H01J49/165G01N30/7266G01N30/8631G01N30/8651H01J49/0031H01J49/107H01J49/168H01J49/24H01J49/4215
    • Provided is a mass spectrometer characterized by: an ionization source including an ESI probe (201), an ESI power source (24), a corona needle (202) and an APCI power source (24); an ionization condition storage section (41) for storing a plurality of ionization conditions related to the liquid sample, set by an analysis operator, with the ionization conditions differing from each other in the value of the ESI voltage or/and the value of the APCI voltage; a mass spectrometry executer (43) for conducting a mass spectrometry for an ion generated from the liquid sample using each of the plurality of ionization conditions; and a mass spectrometry result selector (44) for selecting, for each of the one or plurality of components, a mass spectrometry result in which the ion is detected with a suitable level of intensity for an analysis, from the mass spectrometry results respectively obtained for the plurality of ionization conditions.
    • 提供了一种质谱仪,其特征在于:包括ESI探针(201),ESI电源(24),电晕针(202)和APCI电源(24)的电离源; 电离条件存储部(41),用于存储由分析操作员设定的与液体试样有关的多个电离条件,其中ESI电压的值或/和APCI的值彼此不同 电压; 质谱执行器(43),用于使用多个电离条件中的每一个对液体样品产生的离子进行质谱分析; 以及质量分析结果选择器(44),其根据分别获得的质谱结果,针对所述一个或多个分量中的每个分量,选择以适合的强度水平检测所述离子的质谱结果 多个电离条件。
    • 49. 发明公开
    • Electrode configuration and pressure measuring apparatus
    • Elektrodenanordnung und Druckmessvorrichtung
    • EP1698878A1
    • 2006-09-06
    • EP05004855.2
    • 2005-03-04
    • Inficon GmbH
    • Knapp, WolframWüest, Martin
    • G01L21/30G01L21/32G01L21/34H01J1/30H01J1/304H01J41/00H01J41/02H01J41/04H01J41/06H01J41/08H01J41/10H01J19/00H01J19/02H01J19/04H01J19/10H01J19/24H01J19/14H01J19/68H01J41/14H01J41/16
    • G01L21/32G01L21/12H01J1/3042H01J41/04
    • An electron-emitting cathode (6) consists of an electricaly conducting emitter layer (7) attached to a side wall (2) and a gate (9) which is fixed at a mall distance inside a concave emitter surface of the emitter layer (7). The cathode (6) surrounds a reaction area (3) containing a cylindrical grid-like anode (5) and a central ion collector (4) which consists of a straight axial filament. An ion collector current (I IC ) reflecting the densitiy of the gas in the reaction region (3) is measured by a current meter (11) while a gate voltage (Vc) is kept between the ground voltage of the emitter layer (7) and a higher anode voltage (V A ) and is regulated in such a way that an anode current (T A ) is kept constant. The emitter layer (7) may comprise an array of metal, e.g., nickel or molybdenum tips or consist essentially of a semiconductor material like silicon, preferably coated by, e.g., carbide, diamond-like carbon or molybdenum, or of carbon nanotubes or it may be a roughened surface portion of the side wall surface. The gate (9) may be a grid or it may be made up of patches of metal film covering spacers distributed over the emitter area or a metal film covering an electron permeable layer placed on the emitter surface.
    • 电子发射阴极(6)由连接到侧壁(2)的电气传导发射极层(7)和在发射极层(7)的凹面发射器表面内的商场距离处固定的栅极(9)组成 )。 阴极(6)围绕包含圆柱形栅状阳极(5)的反应区域(3)和由直轴向丝线组成的中心离子收集器(4)。 通过电流计(11)测量反映反应区域(3)中气体密度的离子集电极电流(I IC),同时在栅极电压(Vc)保持在发射极层(7)的接地电压之间, 和较高的阳极电压(VA),并且以使得阳极电流(TA)保持恒定的方式被调节。 发射极层(7)可以包括金属阵列,例如镍或钼尖端,或者基本上由诸如硅的半导体材料组成,优选地由碳化物,类金刚石碳或钼或碳纳米管或碳​​纳米管涂覆 可以是侧壁表面的粗糙表面部分。 栅极(9)可以是栅格,或者它可以由分布在发射区上的金属膜覆盖隔离物的贴片或覆盖放置在发射器表面上的电子渗透层的金属膜构成。